光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计

为了找出耦合误差产生的根源,探讨了柔性偏心机构设计方法.首先,给出了机构组成和工作原理;然后,基于柔度矩阵法对机构建模,分别推导了桥式位移放大机构、导向机构、连接机构的柔度;最后,综合得到机构的整体柔度.分析结果表明柔度矩阵法得到的输出柔度理论值和有限元法得到的结果误差为8.126%,机构的一阶固有频率为73.78Hz.在40N的驱动力范围内,机构可以实现66.466μm的行程,透镜和机构上的最大应力分别为0.0711 MPa和235.22 MPa,Y/Z/RX/RY/RZ耦合误差和X向行程的比分别为0.0543%、0.0082%、1.218×10-8rad/μm、1.870×10-7rad/μm、6.073×10-7rad/μm.调节后镜片面形PV值优于24nm,RMS值优于5nm,并且主要为像散.通过合理的柔度设计,机构接近完全解耦,揭示了不合理的机构刚度是产生调节耦合误差的根源.

偏心调节阀

偏心调节阀专利号：９５２３７１５７．Ｘ偏心调节阀是一种广泛应用于民用供水，化工防腐的中低压阀门。与其它阀门相比，它具有：１、结构简单（由３个主要零件组成），性能可靠，比用同类材料制出的其它阀门使用寿命可提高３～１０倍。２、操作方便，开关不大于１２００...

可调汽蚀文氏管调节精度影响因素的动态仿真

面向工程应用研究了可调汽蚀文氏管调节精度的影响因素,采用FLUENT中的Schnerr-Sauer混合流体空穴模型,对设计的可调汽蚀文氏管流量线性度、内部流动特性进行了动态条件下的数值模拟,并研究了偏心和反向运动对调节精度的影响。结果表明:可调汽蚀文氏管由于调节锥初始运动阶段并未进入喉部,导致汽蚀段长度增加从而降低精度;流量线性度在运动初期受节流面影响而降低,百分比流量在12%~70%范围内线性度最好,精度最高;流量变化速率对汽蚀文氏管调节精度影响在5%以内;调节锥偏心0.02 mm和0.05 mm时对汽蚀区长度调节精度影响在20%以内,而0.10 mm偏心时提高至40%,此时渐扩段汽蚀区产生偏移,压力分布不均,上侧增大而下侧降低,从而导致压力振荡;不同偏心值对喉部流量调节精度影响均在4%以内;调节锥反向运动会由于初始汽蚀段长度过短导致汽蚀特性减弱,汽蚀区变化速率减缓,流量调节精度影响在3%以内。

调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响

针对深紫外光刻投影物镜的像质补偿要求,对偏心调节时的透镜进行受力分析,基于柔度矩阵法设计了一种柔性多弹片透镜支撑结构,研究了透镜面形随调节力的变化规律,采用有限元法分析了调节力与透镜面形峰谷(PV)值、均方根(RMS)值和Fringe Zernike多项式系数之间的关系。计算结果表明:调节时通过降低调节力的大小,可以控制面形劣化程度。采用具有吸收调节力功能的柔性支撑结构后,在50N的驱动力偏心调节时,透镜上表面面形PV值和RMS值分别为2.704nm和0.528nm,透镜下表面面形PV值和RMS值分别为2.984nm和0.571nm。透镜面形的PV值、RMS值及Fringe Zernike多项式系数随调节力线性变化,但是调节力不会改变各种像差的性质,它引入的透镜像差主要为像散。

偏心质量可调节惯性激振器设计与分析

为了使惯性激振器的激振力在运动中也可以实现调节,满足特定的振动机械需求,设计了一种通过气压来调节偏心质量的惯性激振器。论文提出了设计思路,进行了结构设计,建立了分析计算模型。更进一步,论文建立了离心惯性力与转速、气压以及两者共同作用下的相互关系,得出了分析方程和变化曲线。论文的研究成果可以对设计生产部门有指导作用。

新型密封偏心自适应调节方法与减振实验研究

针对转子偏心引起的密封流体激振问题,设计了一种新型偏心自适应调节密封结构。该结构可自适应地减小转子偏心量,抑制密封流体激振。对其抑振机理进行探究,得出当偏心自调结构的固有频率和转子密封系统的激励频率一致时,其抑振效果最好;随着两者差值增大,其抑振效果变弱。以水作为密封介质,测量了不同弹簧刚度下偏心自调结构的固有频率,并改变转子转频,对其抑振规律进行实验研究。结果表明该结构固有频率随弹簧刚度增大而增大,但与激励频率差别较大,振动降幅只在10%~20%。将偏心自调结构浸于水,测量其固有频率,对其抑振规律进行实验研究。结果表明浸在水中时该结构固有频率值依然随弹簧刚度增大而增大,但比在空气中时减小了约40%,更加接近激励频率,抑制效果显著,振动降幅最大可达41.27%。

偏心旋转调节球阀扭矩曲线研究

在实际应用中,因为没有可供参考的阀门扭矩曲线,通常都是按照执行机构输出最小扭矩大于阀门所需最大扭矩原则,选择执行机构。选择过大的执行机构,一方面造成了资源浪费,另一方面对阀杆寿命有一定影响。本文通过对理论分析,同时借助于CFD软件仿真计算出各个开度下的动水力矩,得出偏心旋转调节球阀的扭矩曲线。尤其在高压差工况下,动水力矩在阀球动作过程中对扭矩影响很大。

浅析QYJ200-160型气压摇架

分析了以独立气囊为加压元件的QYJ200-160型气压摇架的结构特点,重点从独立气囊、加压组件、锁紧组件、固紧机构和气路供应及其控制系统几个方面详细对该气压摇架的结构进行了分析,并分析了棉型细纱牵伸的型式及技术特征,其直压式加压组件加压准确、互不干扰、调节方便;采用四连杆式后锁紧机构,"哈夫"式握持空心方形支管轴的紧固机构,锁紧可靠、操作轻便;摇架体高度偏心调节轴和活塞阀门式的气路控制系统,结构新颖。说明该摇架外形美观、性能优良,适合国情,体现了牵伸摇架的发展方向。

涂布机背面施水系统的结构及调整

结合项目设计和生产实践,对涂布机中的背面施水系统的结构及调整要点作了较为细致的分析和说明,并给出了调整方法。

井口密封装置专用工具的发明制作

针对游梁式抽油机井口的密封装置(指井口防喷偏心密封装置这种型号的装置)更换盘根时都要卸去井口偏心调节螺丝,给油井的日常维护中增加了较多的工作程序,延长了工作时间,影响了油井的正常生产,减少了油井原油产量。通过在现场的多次实践,发明了一种针对这种装置的专用工具,减少了更换油井盘根过程的工作步骤。

论马鞍型管接头气割专机的使用价值

为了在锅炉制造中提高马鞍型管接头的加工精确度和生产效率,通过设计并制造马鞍型管接头气割专机和运用轨迹近似合成法,介绍了马鞍型管接头气割专机的基本结构、工作原理、操作要领和应用成效,论述了其在锅炉制造过程中的使用价值。

大型铝合金筒节轧制过程圆度控制及影响因素分析

针对大型6061铝合金筒节轧制过程中的圆度变化机理和影响因素进行了研究。首先在Gleeble-3800热模拟实验机上进行热模拟实验,获得6061铝合金材料的真应力-真应变曲线。其次基于有限元方法建立了大型6061铝合金筒节轧制过程模型,通过与自建模型计算结果和模拟实验结果进行对比,验证了有限元模型的可靠性。然后基于有限元模型分析了固定导向、定向导向和圆弧导向3种不同控制模式下铝合金筒节的圆度误差,结果表明定向导向辊控制方式效果最佳;分析了轧制速度、轧制温度和轧辊偏心距对筒节圆度误差的影响,结果表明:随着转速增大,筒节圆度误差逐渐增大;温度对筒节的圆度误差影响不大;偏心距调整对整个筒节轧制过程的圆度误差控制效果一般,但轧制过程中对筒节的不同位置,通过在线调节轧辊偏心距可以达到实时调节筒节圆度的目的。

安装大型水泵轴承体对心不准的解决方法

针对制水厂离心清水泵中频繁出现的轴承保持架损坏进行了原因分析,将深沟球轴承换成调心滚子轴承,改造后机组运行良好。