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椭偏仪的原理和应用
被引量:
12
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作者
余平
张晋敏
《合肥学院学报(自然科学版)》
2007年第1期87-90,共4页
椭偏术是一种利用线偏振光经样品反射后转变为椭圆偏振光这一性质以获得样品的光学常数的光谱测量方法.椭偏仪主要用来测量薄膜材料或块体材料的光学参数和厚度的仪器.
关键词
椭
偏
仪
光学参数
薄膜
偏振drude模型
下载PDF
职称材料
题名
椭偏仪的原理和应用
被引量:
12
1
作者
余平
张晋敏
机构
贵州大学计算机科学与工程学院
出处
《合肥学院学报(自然科学版)》
2007年第1期87-90,共4页
基金
贵州省大学生创业基金项目(701059101)资助
文摘
椭偏术是一种利用线偏振光经样品反射后转变为椭圆偏振光这一性质以获得样品的光学常数的光谱测量方法.椭偏仪主要用来测量薄膜材料或块体材料的光学参数和厚度的仪器.
关键词
椭
偏
仪
光学参数
薄膜
偏振drude模型
Keywords
spectroscopic ellipsometry
optical constant spectra
thin film
polarization
drude
model
分类号
O433.1 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
椭偏仪的原理和应用
余平
张晋敏
《合肥学院学报(自然科学版)》
2007
12
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职称材料
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