偏视场用三反系统消杂光设计及仿真

分析了偏视场用三反系统的杂散光特性,根据遮光罩设计的基本原则,介绍了利用计算机仿真技术进行消杂散光设计和评价的原理。系统为特殊的矩形视场,且在y方向视场偏轴,为此,设计了盒形外壁与锥形内壁相结合的外遮光罩结构,并在CAD中进行建模,采用内部挡光片为方形并且梯度排列的结构。在λ=0.25μm,方位角为0°和90°时分别对0.5～80之间共16个离轴角度进行光线追迹,最后通过计算得到了系统PST曲线。由曲线可以看出,系统PST整体上是下降的,且在离轴角25°时达到10-8量级。计算杂光系数为3.59%,完全满足要求。实验结果证明了设计的可行性,为应用提供了依据。