基于模式理论光栅椭偏参数反演的数值模拟

将一种广泛用于求解系统优化问题的方法———正单纯形法 ,求解光栅的椭偏方程。首先 ,利用求解光栅的傅立叶模式理论对TE和TM波的复反射系数进行求解 ,然后计算出其相应的椭偏参数 (Δ ,Ψ) ,并在该值的基础上加入不同偏差的随机高斯噪声 ,将加入噪声后的值(Δm,Ψm)作为模拟测量值 ,最后使用优化算法进行反演。通过对几种常用面形光栅椭偏参数的数值模拟 ,一方面表明傅立叶模式理论计算光栅的椭偏参数不仅精度高 ,而且速度快 ;另一方面表明利用正单纯形法得到的光栅参数值很接近于正演时假设的参数值 。

用透射光谱法测光栅参数的数值模拟

本文基于光栅的严格理论,提出结合透射光谱和优化算法来测量光栅参数的新方法,首先,利用傅立叶模式理论和反射透射系数递推算法(RTCM) ,计算出在2 0 0 -90 0nm波段内的理论透射光谱图,通过在上面叠加不同偏差的高斯噪声来模拟光栅的实际测量曲线,接着在模拟曲线上任取若干个点作为实验测量值,最后利用优化算法进行反演搜索,找到待测光栅的结构参数。文中我们选择了三种类型的光栅对该法进行数值上的模拟,其结果是成功的。该法可能会给光栅参数的测量指明一条新的途径。

三角形面形亚波长光栅的衍射特性研究

运用等效介质法 (EMT)和基于严格电磁场理论的傅立叶模式理论 (FMT)分别讨论了三角形浮雕型的亚波长位相光栅的衍射特性 ,并对以上两种方法的数值模拟结果进行了比较研究。发现了等效介质法的局限性 。