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题名基于光刻阈值模型的光栅精度预测及补偿
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作者
任东旭
李彬
孔明旭
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机构
中原工学院机电学院
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出处
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2020年第7期77-80,共4页
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基金
国家自然科学基金(51905558,51975599)
中国纺织工业联合会科技指导项目(2019069)
河南省高等学校重点科研项目(20A460032)。
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文摘
光栅尺制造过程的预测及补偿是提升其精度的主要方法之一。文章提出了一种基于光刻阈值模型的光栅尺精度预测及补偿方法,采用矩形栅距傅里叶基波法,研究光栅尺计算光刻阈值模型及关键参数对光刻精度的影响;通过利用Matlab软件建立计算光刻能量三维模型,对比分析光刻焦平面能量阈值界面,实现光栅尺精度的预测;通过仿真及试验分析焦平面能量幅值、相位参数,关联并调整直线运动系统定位误差、光刻曝光能量相关参数的补偿方法,当阈值平面角度θ=0时,理想状态情况下可以通过直接补偿方式完全补偿,多线均匀化间接补偿可以将光栅条纹误差提高97.3%,为高精度光栅尺的光刻和补偿方法的计算提供了理论依据。
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关键词
光刻阈值模型
傅里叶基波法
光栅尺精度预测
栅距误差补偿
多步重复
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Keywords
photolithography threshold model
fourier fundamental method
linear grating accuracy prediction
pitch error compensation
multi-repeated
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分类号
TH162
[机械工程—机械制造及自动化]
TG506
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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