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贵金属纳米颗粒催化刻蚀硅表面微纳结构现状
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作者 刘海 白一鸣 +3 位作者 陈诺夫 延玲玲 高征 牟潇野 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2015年第7期452-459,473,共9页
简述了目前一些贵金属纳米颗粒催化刻蚀Si表面微纳结构的研究工作,并叙述了催化刻蚀反应的主要过程。在系统介绍催化刻蚀化学反应机理的基础上,对催化刻蚀的阴极、阳极反应进行了细致的探讨。根据不同的阳极和阴极反应方程式,讨论了不... 简述了目前一些贵金属纳米颗粒催化刻蚀Si表面微纳结构的研究工作,并叙述了催化刻蚀反应的主要过程。在系统介绍催化刻蚀化学反应机理的基础上,对催化刻蚀的阴极、阳极反应进行了细致的探讨。根据不同的阳极和阴极反应方程式,讨论了不同的中间产物以及不同中间产物在反应中的作用机理。然后介绍了贵金属纳米颗粒的物理法和化学法两种制备方法。结合目前国内外研究进展,讨论了贵金属纳米颗粒种类、尺寸以及溶液成分比例对硅表面微纳结构的影响。最后对贵金属纳米颗粒催化刻蚀硅表面微纳陷光结构的未来前景进行了展望。 展开更多
关键词 贵金属纳米颗粒 催化刻蚀 微纳结构 硅衬底 反射率
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双氧水在铜纳米粒子催化刻蚀n型单晶硅中的影响研究 被引量:1
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作者 洪世豪 郑达敏 +3 位作者 马亮 李绍元 陈秀华 马文会 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期257-264,共8页
目的在反应速率温和的前提下,在n型单晶硅片表面制备低反射率的纳米倒金字塔绒面,研究H_(2)O_(2)浓度对铜纳米颗粒的沉积及刻蚀行为的影响。方法利用铜纳米粒子催化刻蚀方法对金刚线切割n型单晶硅进行表面织构化处理,利用扫描电子显微... 目的在反应速率温和的前提下,在n型单晶硅片表面制备低反射率的纳米倒金字塔绒面,研究H_(2)O_(2)浓度对铜纳米颗粒的沉积及刻蚀行为的影响。方法利用铜纳米粒子催化刻蚀方法对金刚线切割n型单晶硅进行表面织构化处理,利用扫描电子显微镜观察制绒后硅片表面微观形貌,利用紫外-可见分光光度计测试并计算硅片表面反射率,并分析铜催化刻蚀形貌和刻蚀速率随温度、H_(2)O_(2)浓度的变化情况,讨论铜催化刻蚀过程中倒金字塔的形成机理以及H_(2)O_(2)浓度对硅片表面刻蚀形貌的影响规律。结果双氧水浓度通过控制铜纳米颗粒在硅片表面的沉积-氧化平衡,来影响铜颗粒的沉积状态,并最终影响刻蚀过程。随着H_(2)O_(2)浓度的提高,刻蚀速率先升高、后降低,最后趋于平稳。同时,刻蚀过程将产生四个阶段的结构演化。结论H_(2)O_(2)在铜催化化学刻蚀过程中起着重要作用,调节H_(2)O_(2)浓度可控制铜纳米颗粒的沉积-氧化平衡,进而在硅片表面形成形貌均匀且反射率低的倒金字塔结构。40℃下,H_(2)O_(2)浓度为1.6 mol/L时,可在金刚线切割n型单晶硅片上成功制备出均匀的倒金字塔结构,表面反射率降低至6.4%,且反应速率温和(0.23μm/min),硅片减薄量低(3.5μm)。 展开更多
关键词 铜纳米颗粒 刻蚀速率 反射率 倒金字塔 催化化学刻蚀
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交替刻蚀制备有序锯齿形硅纳米线阵列及其光学性能研究
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作者 何霄 邹宇新 +3 位作者 邱佳佳 杨玺 李绍元 马文会 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期167-170,183,共5页
采用金属催化化学刻蚀法(MCCE),以金属Ag为催化剂,在HF与H_2O_2体系中通过交替刻蚀在P(111)硅衬底上制备出锯齿形硅纳米线阵列。利用扫描电子显微镜对硅纳米线的形貌进行了表征,研究了HF浓度与H_2O_2浓度对纳米线刻蚀方向的调控作用。... 采用金属催化化学刻蚀法(MCCE),以金属Ag为催化剂,在HF与H_2O_2体系中通过交替刻蚀在P(111)硅衬底上制备出锯齿形硅纳米线阵列。利用扫描电子显微镜对硅纳米线的形貌进行了表征,研究了HF浓度与H_2O_2浓度对纳米线刻蚀方向的调控作用。选取不同的HF与H_2O_2浓度配比,分别对硅基底各向同性刻蚀与各向异性刻蚀进行调控,使得刻蚀方向对溶液浓度的变化能够快速响应。在溶液Ⅰ([HF]=2.3mol/L,[H_2O_2]=0.4mol/L)与溶液Ⅱ([HF]=9.2mol/L,[H_2O_2]=0.04mol/L)中交替刻蚀,制备出刻蚀方向高度可控的大规模锯齿形硅纳米线。利用紫外-可见分光光度计对锯齿形硅纳米线的减反射性能进行研究,结果表明,其表现出优异的减反特性,最低反射率为5.9%。纳米线形貌的高度可控性使其在微电子器件领域也具有巨大的应用前景。 展开更多
关键词 金属催化化学刻蚀 交替刻蚀 各向同性 各向异性 锯齿形硅纳米线
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形貌可控银纳米粒子制备及其在太阳能电池中的应用 被引量:7
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作者 余航 丁夕然 +1 位作者 白帆 李美成 《中国科技论文》 CAS 北大核心 2012年第2期135-141,共7页
形貌可控的银纳米粒子展现出诸多新奇的特性,在许多领域获得了广泛应用。在太阳能电池中,人们利用银纳米粒子作金属催化剂制备了硅基太阳能电池表面减反结构,同时形状各异的银纳米结构也可以用于制备电极的银浆。在应用过程中,银纳米粒... 形貌可控的银纳米粒子展现出诸多新奇的特性,在许多领域获得了广泛应用。在太阳能电池中,人们利用银纳米粒子作金属催化剂制备了硅基太阳能电池表面减反结构,同时形状各异的银纳米结构也可以用于制备电极的银浆。在应用过程中,银纳米粒子的尺寸和形貌是影响各种性能的重要因素。概述了银纳米粒子的种类,介绍了银纳米粒子的制备方法,并探讨银纳米粒子的形貌对相关性能的影响,进一步论述了其在太阳能电池领域的应用及发展前景。 展开更多
关键词 太阳能电池 纳米粒子 形态 催化刻蚀
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高效多晶黑硅电池的产线技术 被引量:6
5
作者 韩长安 邹帅 +4 位作者 李建江 曹芳 王栩生 章灵军 苏晓东 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期2164-2169,共6页
在产线工艺的基础上,研发金属催化化学刻蚀技术,制备出具有微米/纳米复合绒面结构的多晶黑硅太阳电池。通过对黑硅纳米结构的修正刻蚀,实现电池光学性能和电学性能的同步提高;通过系统的优化,黑硅电池的性能特圳是其短路电流提高r... 在产线工艺的基础上,研发金属催化化学刻蚀技术,制备出具有微米/纳米复合绒面结构的多晶黑硅太阳电池。通过对黑硅纳米结构的修正刻蚀,实现电池光学性能和电学性能的同步提高;通过系统的优化,黑硅电池的性能特圳是其短路电流提高rI50~300mA,这主要得益于电池蓝光响应特性的改善。 展开更多
关键词 多晶黑硅电池 金属催化化学刻蚀技术 纳米绒面 光电转换效率
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单晶硅片表面微纳复合结构制备及光特性研究
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作者 刘勇武 杜俊霖 +1 位作者 吴卓鹏 孟凡英 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第11期1-4,共4页
采用金属辅助化学刻蚀方法(MACE),在常规碱溶液制备的金字塔表面制备表面形貌良好、反射率低的硅纳米线微结构。详细探究Ag辅助刻蚀的反应过程和反应机理,基于FDTD Solutions仿真软件模拟分析,微米金字塔-纳米线复合结构在减少宽波段和... 采用金属辅助化学刻蚀方法(MACE),在常规碱溶液制备的金字塔表面制备表面形貌良好、反射率低的硅纳米线微结构。详细探究Ag辅助刻蚀的反应过程和反应机理,基于FDTD Solutions仿真软件模拟分析,微米金字塔-纳米线复合结构在减少宽波段和广角度范围的反射率方面比金字塔结构更具有优异性,并在实验上进行相关验证分析,此外对纳米线的刻蚀速率和生长方向也进行研究。 展开更多
关键词 太阳电池 单晶硅片 湿法刻蚀 纳米线 金属催化刻蚀 反射率
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硅纳米线尖端阵列的制备及其场发射性能研究 被引量:1
7
作者 蒋一岚 袁晓东 +6 位作者 廖威 陈静 张传超 张丽娟 王海军 栾晓雨 叶亚云 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期165-168,共4页
将银镜反应与金属催化化学刻蚀相结合,在室温附近成功地制备出了硅纳米线尖端阵列,其长度为4~7μm,中间部分的直径在100~300nm之间。该方法操作简单、高效、无毒、可控以及低成本,且不需要高温、复杂的设备,对环境也没有特殊要求。性能... 将银镜反应与金属催化化学刻蚀相结合,在室温附近成功地制备出了硅纳米线尖端阵列,其长度为4~7μm,中间部分的直径在100~300nm之间。该方法操作简单、高效、无毒、可控以及低成本,且不需要高温、复杂的设备,对环境也没有特殊要求。性能测试结果显示:该硅纳米材料能够有效实现电子发射,开启电场约为2.7V/μm(电流密度10μA/cm2处);硅纳米尖端阵列的场增强因子约为692,可应用在场发射器件之上。 展开更多
关键词 硅纳米尖端阵列 银镜反应 金属催化化学刻蚀 场发射
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硅纳米线的制备及其光学性能的研究 被引量:3
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作者 陈亚婷 王金良 +2 位作者 陈泽升 秦韶阳 薄乾红 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期1998-2002,2010,共6页
通过金属催化化学刻蚀的方法中的两步法制备出了具有阵列结构的硅纳米线,研究了不同刻蚀条件对硅纳米线形貌的影响,分析了形成不同形貌的原因。测定了不同条件下制备的硅纳米线的光吸收性能,总结了影响光吸收性能的因素和原因,根据硅纳... 通过金属催化化学刻蚀的方法中的两步法制备出了具有阵列结构的硅纳米线,研究了不同刻蚀条件对硅纳米线形貌的影响,分析了形成不同形貌的原因。测定了不同条件下制备的硅纳米线的光吸收性能,总结了影响光吸收性能的因素和原因,根据硅纳米线的光吸收图求出了硅纳米线的禁带宽度,说明了硅纳米线已经具备不同于硅片的性能。 展开更多
关键词 硅纳米线 金属催化化学刻蚀 光吸收
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湿化学法制备硅纳米线阵列及其光电化学产氢性能分析 被引量:2
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作者 廖明佳 乔雷 +5 位作者 肖鹏 张云怀 陈刚才 周志恩 贺小兰 揭芳芳 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2015年第3期439-445,共7页
为了探究不同方法条件下制备的硅纳米线阵列电极产氢性能异同,文中分别采用了两步金属辅助催化无电刻蚀法、一步金属辅助催化无电刻蚀法以及阳极氧化法来制备硅纳米线阵列用作为光电分解水电池光阴极材料。通过FESEM、XRD和UVVis-IR DR... 为了探究不同方法条件下制备的硅纳米线阵列电极产氢性能异同,文中分别采用了两步金属辅助催化无电刻蚀法、一步金属辅助催化无电刻蚀法以及阳极氧化法来制备硅纳米线阵列用作为光电分解水电池光阴极材料。通过FESEM、XRD和UVVis-IR DRS等手段对实验样品的形貌、晶型、减反性表征,发现相比于其他2种方法所得硅纳米线样品,两步金属辅助催化无电刻蚀法制备的硅纳米线结构晶型保持更好,表面缺陷更少。光电化学测试表明两步金属辅助催化无电刻蚀法制备的硅纳米线光电化学性能表现最优,其光电流密度值是一步法的4倍,阳极氧化法的40倍;转移电荷电阻仅是一步法制备的硅纳米线阵列阻值的1/3,阳极氧化法制备的1/1 000。 展开更多
关键词 硅纳米线阵列 金属辅助催化无电刻蚀 光电化学产氢
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硅太阳能电池表面纳米线阵列的光学特性研究 被引量:1
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作者 黄晓刚 王进 +1 位作者 高慧芳 张启 《光电子技术》 CAS 2016年第2期78-83,共6页
为增强晶体硅太阳能电池的光利用率,提高光电转换效率,研究了硅纳米线(Silicon nanowires,SiNWs)阵列的光学特性。首先运用时域有限差分(Finite-Difference Time-Domain,FDTD)方法对硅纳米线阵列在300~1100nm波段的吸收率进行了模... 为增强晶体硅太阳能电池的光利用率,提高光电转换效率,研究了硅纳米线(Silicon nanowires,SiNWs)阵列的光学特性。首先运用时域有限差分(Finite-Difference Time-Domain,FDTD)方法对硅纳米线阵列在300~1100nm波段的吸收率进行了模拟计算,并对硅纳米线阵列的光吸收效率进行了优化计算。结果表明,当硅纳米线阵列的周期为600nm,填充比为0.7时硅纳米线阵列的光吸收效率最大,可达32.93%。然后采用金属催化化学刻蚀(Metal Assisted Chemical Etching,MACE)的方法,于室温、室压条件下在单晶硅表面制备了不同结构的硅纳米线阵列,并测试了其反射率R,并对实验结果进行了分析,表明硅纳米线阵列相对于单晶硅薄膜,其减反射增强吸收的效果明显。因此,在硅表面制备这种具有特殊形貌的微结构不仅能降低太阳电池的制造成本,同时还能大幅降低晶体硅表面的光反射,增强光吸收,提高电池的光电转换效率。 展开更多
关键词 硅纳米线阵列 光吸收效率 时域有限差分法 金属催化硅化学刻蚀
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晶体硅太阳电池表面纳米线阵列减反射特性研究 被引量:6
11
作者 梁磊 徐琴芳 +3 位作者 忽满利 孙浩 向光华 周利斌 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期335-341,共7页
为增强晶体硅太阳电池的光利用率,提高光电转换效率,研究了硅纳米线阵列的光学散射性质.运用严格耦合波理论对硅纳米线阵列在310—1127nm波段的反射率进行了模拟计算,用田口方法对硅纳米线阵列的表面传输效率进行了优化.结果表明,当硅... 为增强晶体硅太阳电池的光利用率,提高光电转换效率,研究了硅纳米线阵列的光学散射性质.运用严格耦合波理论对硅纳米线阵列在310—1127nm波段的反射率进行了模拟计算,用田口方法对硅纳米线阵列的表面传输效率进行了优化.结果表明,当硅纳米线阵列的周期为50nm,占空比为0.6,高度约1000nm时减反射效果最佳;该结构在上述波段的平均反射率约为2%,且在较大入射角度范围保持不变.采用金属催化化学腐蚀法,于室温、室压条件下在单晶硅表面制备周期为60nm,占空比为0.53,高度为500nm的硅纳米线阵列结构,其反射率的实验测试结果与计算模拟值相符,在上述波段的平均反射率为4%—5%,相对于单晶硅35%左右的反射率,减反射效果明显.这种减反射微结构能够在降低太阳电池成本的同时有效减小单晶硅表面的光反射损失,提高光电转换效率. 展开更多
关键词 减反射 硅纳米线阵列 严格耦合波理论 金属催化硅化学刻蚀
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Surface Na2CO3 etching induced activity enhancement of 2D BiOI photocatalyst working under visible light 被引量:4
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作者 Lei Liang Jing Cao +1 位作者 Haili Lin Shifu Chen 《Science Bulletin》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第8期546-553,共8页
The visible light photocatalytic activity of two-dimensional (2D) BiOl microplates was intensively enhanced through simply dipping in Na2CO3 solutions at room temperature. The X-ray powder diffrac- tion (XRD) and ... The visible light photocatalytic activity of two-dimensional (2D) BiOl microplates was intensively enhanced through simply dipping in Na2CO3 solutions at room temperature. The X-ray powder diffrac- tion (XRD) and scanning electron microscopy (SEM) investigations suggest that little amount of (BiO)2CO3 phase was formed on the surface of 2D BiOI via the in situ chemical conversion. The concen- tration of Na2CO3 solutions affected the structure, morphology, light absorption and surface element component of 2D BiOl. The surface loaded (BiO)2CO3 mainly trapped the photoinduced electrons of BiOI, improved the separation efficiency of photocharges and finally raised the photocatalytic activity of BiOl under visible light (λ 〉 420 nm). Furthermore, the product of the as-prepared (BiO)2CO3/BiOI displayed excellent stability in the repeated experiment. This study provides a facile way to improve the photocatalytic activity of BiOX (X = CI, Br, I) by means of surface treatment with Na2CO3 solutions. 展开更多
关键词 2D BiOI In situ conversion PHOTOCATALYSIS Surface charge separation
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Defect engineered 2D mesoporous Mo-Co-O nanosheets with crystalline-amorphous composite structure for efficient oxygen evolution 被引量:3
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作者 Chuansheng He Xiaochen Hu +6 位作者 Jia Wang Lingzheng Bu Changhong Zhan Bingyan Xu Leigang Li Yunchao Li Xiaoqing Huang 《Science China Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第12期3470-3478,共9页
Two-dimensional(2D)mesoporous metal-oxide(hydroxide)nanomaterials with defects are promising towards the realization of efficient electrocatalysis.Herein,we report a facile and effective one-pot solvothermal route to ... Two-dimensional(2D)mesoporous metal-oxide(hydroxide)nanomaterials with defects are promising towards the realization of efficient electrocatalysis.Herein,we report a facile and effective one-pot solvothermal route to synthesize mesoporous Mo_(x)-Co-O hybrid nanosheets(NSs)which is composed of crystalline Mo_(4)O_(11) and amorphous cobalt hydroxide.Due to the corrosion of 1-octylamine at high temperatures,abundant mesoporous holes are created in situ over the Mo_(x)-Co-O hybrid NSs during the solvothermal process,which is beneficial to increasing the electrochemical surface area.The dimension of the Mox-Co-O NSs,size of mesoporous and the concentration of defects can be easily modulated by controlling the molar ratio of Mo/Co.Electrochemical measurements reveal that the 2D mesoporous Mo_(x)-Co-O NSs show an excellent activity for the oxygen evolution reaction with the highest catalytic activity of η_(10)=276 mV at 10 mA cm^(−2)in 1 mol L^(−1)KOH.Enhanced adsorption of intermediates and abundant oxygen vacancies achieved by appropriate Mo doping are the two main factors that contribute to the excellent catalytic activity of Mo_(0.2)-Co-O NSs.This work,with the construction of 2D metal-oxide(hydroxide)crystallineamorphous nanomaterials possessing abundant holes,oxygen vacancies and enhanced adsorption of intermediates,provides important insight on the design of more efficient catalysts. 展开更多
关键词 MESOPOROUS oxygen vacancy AMORPHOUS NANOSHEET oxygen evolution reaction
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A comparative electrochemical investigation of silicon nanowires formation via metal-catalyzed electroless etching
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作者 LIU Lin 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第2期362-368,共7页
In this study, the electrochemical behavior of monocrystalline bare Si and Ag-coated Si in hydrofluoric acid (HF) solutions with and without hydrogen peroxide (H202) was systematically tested with an electrochemic... In this study, the electrochemical behavior of monocrystalline bare Si and Ag-coated Si in hydrofluoric acid (HF) solutions with and without hydrogen peroxide (H202) was systematically tested with an electrochemical technique. By analyzing the po- larization curves, the corrosion processes were quantified and the etchants which govern the formation of silicon nanowires (SiNWs) were determined. It was discovered that both H202 and Ag enhanced the reduction reactions, irrespective of the con- ductivity type and doping concentration of Si. It is believed that the formation of SiNWs via Metal-Catalyzed Electroless Etching is a process controlled by cathodic reduction reactions. 展开更多
关键词 silicon nanowires polarization curve ELECTROCHEMISTRY
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