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基于空域的光学动像传递函数数学模型建立方法研究
被引量:
2
1
作者
潘鸿飞
《国外电子测量技术》
2012年第2期47-50,共4页
从调制传递函数的研究出发,分析了动像传递函数模型建立对应的运动状态,提出了基于基于空域的动像传递函数数学模型建立方法,建立了动像传递函数的曲线,并对动像传递函数曲线的物理意义进行了详细分析,该研究可以应用于光学制导武器动...
从调制传递函数的研究出发,分析了动像传递函数模型建立对应的运动状态,提出了基于基于空域的动像传递函数数学模型建立方法,建立了动像传递函数的曲线,并对动像传递函数曲线的物理意义进行了详细分析,该研究可以应用于光学制导武器动态等效测试等方面。
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关键词
动
像传递函数
空域模型
概率密度
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职称材料
XUV成像系统中像传递函数研究用的Si刻蚀膜
2
作者
周斌
孙骐
+4 位作者
韩明
熊斌
吴广明
黄耀东
沈军
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期47-50,共4页
研制具有网格或条状图形的Si刻蚀膜靶,用于XUV系统中像传递函数的研究。在自截止腐蚀 工艺制备Si平面薄膜的基础上,结合离子束刻蚀工艺,获得刻蚀深度为1.0μm左右,网格尺寸为25μm×25 μm,或条状线宽为5μm的Si刻蚀膜;测量...
研制具有网格或条状图形的Si刻蚀膜靶,用于XUV系统中像传递函数的研究。在自截止腐蚀 工艺制备Si平面薄膜的基础上,结合离子束刻蚀工艺,获得刻蚀深度为1.0μm左右,网格尺寸为25μm×25 μm,或条状线宽为5μm的Si刻蚀膜;测量了Si刻蚀膜的形貌和刻蚀深度;研究了离子束刻蚀参数对图形形貌 的影响。并介绍采用两种靶型获得的像传递函数信息。
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关键词
像传递函数
离子束刻蚀
Si刻蚀膜
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职称材料
题名
基于空域的光学动像传递函数数学模型建立方法研究
被引量:
2
1
作者
潘鸿飞
机构
[
出处
《国外电子测量技术》
2012年第2期47-50,共4页
文摘
从调制传递函数的研究出发,分析了动像传递函数模型建立对应的运动状态,提出了基于基于空域的动像传递函数数学模型建立方法,建立了动像传递函数的曲线,并对动像传递函数曲线的物理意义进行了详细分析,该研究可以应用于光学制导武器动态等效测试等方面。
关键词
动
像传递函数
空域模型
概率密度
Keywords
transfer function of motive image
space model
probability density
分类号
TN2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
XUV成像系统中像传递函数研究用的Si刻蚀膜
2
作者
周斌
孙骐
韩明
熊斌
吴广明
黄耀东
沈军
机构
同济大学波耳固体物理研究所
中国科学院上海冶金所传感器国家重点联合实验室
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期47-50,共4页
基金
国家863计划项目资助课题
同济大学理科发展基金资助课题
文摘
研制具有网格或条状图形的Si刻蚀膜靶,用于XUV系统中像传递函数的研究。在自截止腐蚀 工艺制备Si平面薄膜的基础上,结合离子束刻蚀工艺,获得刻蚀深度为1.0μm左右,网格尺寸为25μm×25 μm,或条状线宽为5μm的Si刻蚀膜;测量了Si刻蚀膜的形貌和刻蚀深度;研究了离子束刻蚀参数对图形形貌 的影响。并介绍采用两种靶型获得的像传递函数信息。
关键词
像传递函数
离子束刻蚀
Si刻蚀膜
Keywords
Charge coupled devices
Etching
High power lasers
Morphology
Optical transfer function
Scanning electron microscopy
分类号
O472 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
基于空域的光学动像传递函数数学模型建立方法研究
潘鸿飞
《国外电子测量技术》
2012
2
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职称材料
2
XUV成像系统中像传递函数研究用的Si刻蚀膜
周斌
孙骐
韩明
熊斌
吴广明
黄耀东
沈军
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
0
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职称材料
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