共焦扫描显微镜及其在生物医学研究中的应用

浙江共焦扫描显微镜是一种使用光学共轭焦点技术，利用光扫描对样品进行动态测量的显微装置，与传统的光学显微镜相比，它具有较高的分辨率，较大的像对林度并可以三维成像。本文介绍了共焦扫描显微镜的基本工作原理以及其在生物医学领域中的应用。

光刻胶等效扩散长度对0.13μm工艺窗口的影响

介绍了如何通过测量得出的等效扩散长度和光刻机的照明条件来对任何光刻工艺的线宽均匀性进行评估。展示了在0.13μm及以下工艺中等效扩散对能量裕度和掩模版误差因子的影响的研究结果。

辐射与发光 光源与照明光学

TL506 2004053239 合肥光源慢加速过程中高频系统的调节=RF system adjustment in ramping process of HLS[刊,中]/王琳(中国科学技术大学国家同步辐射实验室。安徽,合肥(230029)),徐宏亮…∥强激光与粒子束。—2004,16(1)。