期刊文献+
共找到9篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
材料折射率非均匀性对极小像差光学系统像质的影响 被引量:5
1
作者 杨添星 黄玮 +2 位作者 尚红波 许伟才 赵菲菲 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第11期181-186,共6页
为了分析光学材料折射率非均匀性对极小像差光学系统成像质量的影响,从而指导系统的进一步优化设计,提出一种三维仿真和光线追迹方法。该方法是在Zemax中通过自定义的程序,构建材料折射率均匀性的三维分布,设置光线追迹的步长,并控制整... 为了分析光学材料折射率非均匀性对极小像差光学系统成像质量的影响,从而指导系统的进一步优化设计,提出一种三维仿真和光线追迹方法。该方法是在Zemax中通过自定义的程序,构建材料折射率均匀性的三维分布,设置光线追迹的步长,并控制整个光线追迹的过程,以提高仿真分析的精度。利用所提出的三维仿真和光线追迹方法,对一个数值孔径为0.7、工作波长为632.8nm、波像差均方根(RMS)值为1.5nm的小像差光学系统进行了仿真分析。结果表明,相比于传统的二维处理方法,提出的方法仿真精度有较大提高。 展开更多
关键词 光学设计 极小像差光学系统 非均匀性 ZERNIKE多项式 光线追迹
原文传递
基于光学传递函数的光学系统频谱分析 被引量:1
2
作者 范士民 《山东师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2010年第2期58-60,共3页
光信息处理是60年代发展起来的一个新的研究方向,而现在师范类院校有关光信息处理内容的介绍中大部分都是由实验入手没有从根本上解释光学系统的频谱分析.结合光信息处理教学实际,应用光学传递函数解释相干光和非相干光学系统在衍射... 光信息处理是60年代发展起来的一个新的研究方向,而现在师范类院校有关光信息处理内容的介绍中大部分都是由实验入手没有从根本上解释光学系统的频谱分析.结合光信息处理教学实际,应用光学传递函数解释相干光和非相干光学系统在衍射受限光学系统、像差光学系统和有限视场光学系统中的频谱分析,发现应用光学传递函数解释光学频谱分析能够更有效培养理科生逻辑推理能力. 展开更多
关键词 频谱分析 光学传递函数 衍射受限系统 像差光学系统
下载PDF
新型离轴反射变焦距光学系统的多视场检测方法 被引量:2
3
作者 周继德 常军 +2 位作者 牛亚军 谢桂娟 王希 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期186-192,共7页
基于对离轴反射变焦距光学系统进行计算机辅助装调研究,需要检测离轴反射变焦距系统各个视场的波像差,除零度视场外,获得包括其他视场的波像差有助于提高计算机辅助装调的准确性,但是目前已有的波像差检测方法往往只能获得系统零度视场... 基于对离轴反射变焦距光学系统进行计算机辅助装调研究,需要检测离轴反射变焦距系统各个视场的波像差,除零度视场外,获得包括其他视场的波像差有助于提高计算机辅助装调的准确性,但是目前已有的波像差检测方法往往只能获得系统零度视场的波像差.本文针对这个难题提出了一种检测离轴反射变焦距光学系统各个视场波像差的方法,并应用于离轴三反变焦距光学系统的各视场波像差仿真检测.该方法在传统自准直干涉法的基础上进行改进,关键在于采用变形镜代替扫描的平面镜,并采用夏克-哈特曼波前传感器代替干涉仪,配合精确标定的激光器光源阵列,可以实现对离轴三反变焦距光学系统的多视场波像差同时检测.由理论分析和仿真模拟得出,该系统在视场(0°,3°),(0°,4.2°),(0°,5.5°),(0°,7°),(0°,9.8°),(0°,14°)处经过变形镜补偿后的剩余波像差的RMS值分别为0.00039λ,0.00075λ,0.0024λ,0.00017λ,0.00053λ,0.0057λ,分析仿真结果表明此检测方案是可行的,且适用于离轴反射变焦距系统的计算机辅助装调技术的研究. 展开更多
关键词 光学系统像差检测 计算机辅助装调 夏克-哈特曼波前传感器 离轴反射变焦距系统
下载PDF
像差对激光制导目标方位探测精度的影响 被引量:10
4
作者 魏文俭 秦石乔 +1 位作者 李华 张宝东 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第S1期142-143,146,共3页
激光半主动寻的制导武器在现代战争中发挥了重大的作用。在研究和分析四象限探测器探测目标方位的工作原理和实质的基础上,通过研究和分析激光半主动寻的制导武器的光学系统由于像差的存在导致目标方位探测误差的机理,得出一些重要结论... 激光半主动寻的制导武器在现代战争中发挥了重大的作用。在研究和分析四象限探测器探测目标方位的工作原理和实质的基础上,通过研究和分析激光半主动寻的制导武器的光学系统由于像差的存在导致目标方位探测误差的机理,得出一些重要结论。同时,根据一套实际光学系统参数,计算出了由于像差引起的目标地面偏差的数据曲线。本文为激光半主动寻的制导武器的光学系统设计以及其目标方位探测精度分析提供了重要的参考依据。 展开更多
关键词 几何光学 光学系统像差 四象限探测器 激光半主动寻的制导
下载PDF
光学系统像差与光场干涉对激光参量测量精度的影响 被引量:4
5
作者 高雪松 高春清 +2 位作者 于竞 李家泽 魏光辉 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期841-844,共4页
研究了采用面阵CCD探测器测量光束参量的技术问题,研制了一套高精度激光参量测量系统,对其光学系统像差与光场干涉原因进行了理论分析,实验测量了连续抽运1064nm固体模式发生器产生的基模厄米高斯光束,分析对比了其输出光束带有干涉条... 研究了采用面阵CCD探测器测量光束参量的技术问题,研制了一套高精度激光参量测量系统,对其光学系统像差与光场干涉原因进行了理论分析,实验测量了连续抽运1064nm固体模式发生器产生的基模厄米高斯光束,分析对比了其输出光束带有干涉条纹时对测量精度的影响,对光学系统的设计提出了具体技术要求,为同类装置的研制提供了参考依据。 展开更多
关键词 光束参量 光学系统像差 光场干涉 模式发生器 M^2因子 面阵CCD
原文传递
投影物镜小比率模型的计算机辅助装调 被引量:10
6
作者 赵阳 巩岩 《中国光学》 EI CAS 2012年第4期394-400,共7页
针对小比率模型光学系统光学元件数量较多,无法用每个补偿量去补偿对应失调量的问题,提出利用计算机辅助装调方法,通过建立系统的灵敏度矩阵找出偏心失调量和倾斜失调量的内在联系来缩小补偿量的选择范围。根据失调量敏感度的分析,提出... 针对小比率模型光学系统光学元件数量较多,无法用每个补偿量去补偿对应失调量的问题,提出利用计算机辅助装调方法,通过建立系统的灵敏度矩阵找出偏心失调量和倾斜失调量的内在联系来缩小补偿量的选择范围。根据失调量敏感度的分析,提出了只用4个补偿量补偿系统波像差的想法,并对所选补偿参量的补偿效果进行仿真,以此近一步验证想法的可行性。光学系统初装完成后,将实际测得的系统波像差以36项Fringe Zernike多项式的形式代入灵敏度矩阵,计算得到补偿参量的补偿值和移动方向,用驱动器实现像质补偿。实验结果表明:系统波像差(RMS)由50.864 nm提高到25.993 nm,优于技术指标要求,证明了所选的4个补偿量的正确性和有效性。 展开更多
关键词 计算机辅助装调 像差光学系统 灵敏度矩阵 FRINGE ZERNIKE多项式
下载PDF
Opto-mechanical-thermal integration analysis of Doppler asymmetric spatial heterodyne interferometer
7
作者 WANG Jin-jiang JIANG Lun +3 位作者 TONG Shou-feng PEI Hui-yi CUI Yong GUO Ming-hang 《中国光学(中英文)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期1489-1511,共23页
In order to improve the detection accuracy of Doppler asymmetric spatial heterodyne(DASH)interferometer in harsh temperatures,an opto-mechanical-thermal integration analysis is carried out.Firstly,the correlation betw... In order to improve the detection accuracy of Doppler asymmetric spatial heterodyne(DASH)interferometer in harsh temperatures,an opto-mechanical-thermal integration analysis is carried out.Firstly,the correlation between the interference phase and temperature is established according to the working principle and the phase algorithm of the interferometer.Secondly,the optical mechanical thermal analysis model and thermal deformation data acquisition model are designed.The deformation data of the interference module and the imaging optical system at different temperatures are given by temperature load simulation analysis,and the phase error caused by thermal deformation is obtained by fitting.Finally,based on the wind speed error caused by thermal deformation of each component,a reasonable temperature control scheme is proposed.The results show that the interference module occupies the main cause,the temperature must be controlled within(20±0.05)℃,and the temperature control should be carried out for the temperature sensitive parts,and the wind speed error caused by the part is 3.8 m/s.The thermal drift between the magnification of the imaging optical system and the thermal drift of the relative position between the imaging optical system and the detector should occupy the secondary cause,which should be controlled within(20±2)℃,and the wind speed error caused by the part is 3.05 m/s.In summary,the wind measurement error caused by interference module,imaging optical system,and the relative position between the imaging optical system and the detector can be controlled within 6.85 m/s.The analysis and temperature control schemes presented in this paper can provide theoretical basis for DASH interferometer engineering applications. 展开更多
关键词 Doppler asymmetric spatial heterodyne interferometer interference module imaging optical system opto-mechanical thermal integration analysis phase error temperature control
下载PDF
光纤相移点衍射干涉仪关键技术 被引量:5
8
作者 张宇 金春水 +1 位作者 马冬梅 王丽萍 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第1期254-259,共6页
为了实现光学系统波像差的高精度检测,引入了改进的光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的关键部件包括激光光源及光纤的参数进行了选择和分析。经测试,激光光源功率稳定性约为1%(10 min),光斑尺寸在实现最佳耦合效率允... 为了实现光学系统波像差的高精度检测,引入了改进的光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的关键部件包括激光光源及光纤的参数进行了选择和分析。经测试,激光光源功率稳定性约为1%(10 min),光斑尺寸在实现最佳耦合效率允许范围内,光束位置稳定度约为6μm,相干长度为1 cm左右,都在测试精度允许范围内;选择了纤芯直径为3.5μm的单模不保偏光纤,对光纤端面镀半反半透金属膜,实现了较高的条纹对比度和光能利用率,并设计了波前参考源,方便了光纤端面的抛光、镀膜及装卡。最后,利用选择的部件搭建了光纤相移点衍射干涉仪实验装置,为最终能够实现光学系统波像差的高精度检测提供了前期的准备。 展开更多
关键词 高精度检测 光纤相移点衍射干涉仪 光学系统像差 激光光源 光纤
下载PDF
双光纤相移点衍射干涉仪装调技术 被引量:3
9
作者 张宇 金春水 +1 位作者 马冬梅 王丽萍 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第1期145-150,共6页
为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的装调方案进行了精密的设计。解决了各个元器件的精确定位问题,保证了进入光纤之前的测试光和参考光严格垂直,实现了耦... 为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的装调方案进行了精密的设计。解决了各个元器件的精确定位问题,保证了进入光纤之前的测试光和参考光严格垂直,实现了耦合系统与光纤之间最大的耦合效率和干涉条纹最大的条纹对比度,为最终能够实现极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测提供了前期准备。装调完毕后,利用实验装置对某一光学系统进行了测量,使用十三步相移算法还原被检光学系统波像差,得到了较好的结果,测试结果为:PV值为37.82 nm,RMS值为7.83 nm。 展开更多
关键词 装调技术 双光纤相移点衍射干涉仪 光学系统像差 光学检测
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部