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基于图像区域像素二阶中心矩的集成电路芯片图像拼接技术
被引量:
1
1
作者
梁忠伟
叶邦彦
+1 位作者
徐兰英
彭锐涛
《现代制造工程》
CSCD
2007年第7期97-101,共5页
在集成电路芯片光学检测中,完整而准确地获取芯片形貌的图像非常重要。针对集成电路芯片表面形貌图像获取的要求,首先讨论集成电路芯片图像放大采集系统构成及工作原理,并研究图像拼接在精密芯片图像检测中的必要性及重要性,针对集成芯...
在集成电路芯片光学检测中,完整而准确地获取芯片形貌的图像非常重要。针对集成电路芯片表面形貌图像获取的要求,首先讨论集成电路芯片图像放大采集系统构成及工作原理,并研究图像拼接在精密芯片图像检测中的必要性及重要性,针对集成芯片的微观表面图像特征处理的要求,提出集成电路芯片的区域像素二阶中心矩图像拼接技术,通过建立图像区域像素的二阶中心矩进行匹配点的准确搜索,随后进行芯片精密显微图像的拼接。编程实验证明,采用本方法可获得集成电路芯片表面的清晰图像,并使芯片的微观形貌和细小缺陷等细节能得到很好的展现。
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关键词
芯片检测
精密显微图像
像素二阶中心矩
模板匹配
下载PDF
职称材料
题名
基于图像区域像素二阶中心矩的集成电路芯片图像拼接技术
被引量:
1
1
作者
梁忠伟
叶邦彦
徐兰英
彭锐涛
机构
华南理工大学机械工程学院
出处
《现代制造工程》
CSCD
2007年第7期97-101,共5页
文摘
在集成电路芯片光学检测中,完整而准确地获取芯片形貌的图像非常重要。针对集成电路芯片表面形貌图像获取的要求,首先讨论集成电路芯片图像放大采集系统构成及工作原理,并研究图像拼接在精密芯片图像检测中的必要性及重要性,针对集成芯片的微观表面图像特征处理的要求,提出集成电路芯片的区域像素二阶中心矩图像拼接技术,通过建立图像区域像素的二阶中心矩进行匹配点的准确搜索,随后进行芯片精密显微图像的拼接。编程实验证明,采用本方法可获得集成电路芯片表面的清晰图像,并使芯片的微观形貌和细小缺陷等细节能得到很好的展现。
关键词
芯片检测
精密显微图像
像素二阶中心矩
模板匹配
Keywords
IC chip detecting
Accurate microscopic image
Pixel secondary centre moment
Template matching
分类号
TP391 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于图像区域像素二阶中心矩的集成电路芯片图像拼接技术
梁忠伟
叶邦彦
徐兰英
彭锐涛
《现代制造工程》
CSCD
2007
1
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