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消除数字光刻像素栅格衍射影响的研究
被引量:
9
1
作者
郭小伟
杜惊雷
+1 位作者
陈铭勇
杜春雷
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期462-466,共5页
提出用优化成像系统设计参量的方法有效消除基于数字微镜阵列的栅格结构及其衍射对微结构成像质量的影响.模拟结果表明,当照明光源的波长为0.365μm,系统的数值孔径为0.3左右,缩小倍率为10-20×时,栅格像的可见度在0.1以下...
提出用优化成像系统设计参量的方法有效消除基于数字微镜阵列的栅格结构及其衍射对微结构成像质量的影响.模拟结果表明,当照明光源的波长为0.365μm,系统的数值孔径为0.3左右,缩小倍率为10-20×时,栅格像的可见度在0.1以下,DMD的栅格结构对成像质量的影响大幅降低;对微透镜的成像分析发现,合理的成像系统结构参量能有效地减少栅格的影响.如果结合DMD显示图形的可编程特点,优化图形的结构或灰度,则能在像面获得较理想的曝光量分布,达到快速加工二维和三维微结构的目的.实验结果证实了优化系统参量可有效消除DMD栅格的影响.
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关键词
数字光刻
像素栅格
优化系统参量
成像质量
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职称材料
基于像素间孤波的图像处理模型分析
2
作者
朱自民
刘荣强
+1 位作者
刘芬芬
曹有为
《北京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期2335-2339,共5页
通过对数字图像像素栅格之间非线性影响的研究,建立了像素间非线性影响的一维和二维时间演化方程模型,通过对方程模型的分析可知图像在空间上是离散的,图像像素之间的作用关系是非线性连续的,且方程具有解析性的孤波解.模型重点研究像...
通过对数字图像像素栅格之间非线性影响的研究,建立了像素间非线性影响的一维和二维时间演化方程模型,通过对方程模型的分析可知图像在空间上是离散的,图像像素之间的作用关系是非线性连续的,且方程具有解析性的孤波解.模型重点研究像素孤波的两个孤波之间的相互作用,给出了像素孤波的二孤波解,利用像素孤波的相互作用来研究模型的性能,发现像素孤波相互作用后仍能保持自身性质不变,因此可用像素孤波代替像素本身.同时发现像素孤波在相互作用时其幅值是两者的非线性叠加,可以作为影响的结果;并且像素孤波相互作用时其相位会发生特定的改变,可以将其映射为像素之间相互影响的方向信息.通过实验表明,模型可以用在图像滤波中,平滑度并不最优但是图像细节得到更多保留.
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关键词
像素栅格
非线性微分-差分方程
孤波算法
多尺度图像孤波
图像滤波
下载PDF
职称材料
基于空间统计的河北省降水量分布特征研究
3
作者
路焱森
《内蒙古水利》
2020年第10期14-16,共3页
文章采用描述性统计与空间统计学方法,量化研究了省域降水量空间分布特征,可为生态环境建模提供数据基础。
关键词
降水量
空间分布
栅格
像素
空间统计
原文传递
题名
消除数字光刻像素栅格衍射影响的研究
被引量:
9
1
作者
郭小伟
杜惊雷
陈铭勇
杜春雷
机构
四川大学物理学院
中国科学院光电技术研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期462-466,共5页
基金
国家自然科学基金(60376021)
微细加工国家重点实验基金资助
文摘
提出用优化成像系统设计参量的方法有效消除基于数字微镜阵列的栅格结构及其衍射对微结构成像质量的影响.模拟结果表明,当照明光源的波长为0.365μm,系统的数值孔径为0.3左右,缩小倍率为10-20×时,栅格像的可见度在0.1以下,DMD的栅格结构对成像质量的影响大幅降低;对微透镜的成像分析发现,合理的成像系统结构参量能有效地减少栅格的影响.如果结合DMD显示图形的可编程特点,优化图形的结构或灰度,则能在像面获得较理想的曝光量分布,达到快速加工二维和三维微结构的目的.实验结果证实了优化系统参量可有效消除DMD栅格的影响.
关键词
数字光刻
像素栅格
优化系统参量
成像质量
Keywords
Digital photolithography
Pixel structure
Optimization of imaging parameters
Imaging quality
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于像素间孤波的图像处理模型分析
2
作者
朱自民
刘荣强
刘芬芬
曹有为
机构
哈尔滨工业大学机电工程学院
东北林业大学机电工程学院
出处
《北京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期2335-2339,共5页
文摘
通过对数字图像像素栅格之间非线性影响的研究,建立了像素间非线性影响的一维和二维时间演化方程模型,通过对方程模型的分析可知图像在空间上是离散的,图像像素之间的作用关系是非线性连续的,且方程具有解析性的孤波解.模型重点研究像素孤波的两个孤波之间的相互作用,给出了像素孤波的二孤波解,利用像素孤波的相互作用来研究模型的性能,发现像素孤波相互作用后仍能保持自身性质不变,因此可用像素孤波代替像素本身.同时发现像素孤波在相互作用时其幅值是两者的非线性叠加,可以作为影响的结果;并且像素孤波相互作用时其相位会发生特定的改变,可以将其映射为像素之间相互影响的方向信息.通过实验表明,模型可以用在图像滤波中,平滑度并不最优但是图像细节得到更多保留.
关键词
像素栅格
非线性微分-差分方程
孤波算法
多尺度图像孤波
图像滤波
Keywords
pixel grid
nonlinear differential difference equations
solitary wave algorithm
multi-scale image solitary wave
image filtering
分类号
V243.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
TB553 [理学—声学]
下载PDF
职称材料
题名
基于空间统计的河北省降水量分布特征研究
3
作者
路焱森
机构
秦皇岛水文勘测研究中心
出处
《内蒙古水利》
2020年第10期14-16,共3页
文摘
文章采用描述性统计与空间统计学方法,量化研究了省域降水量空间分布特征,可为生态环境建模提供数据基础。
关键词
降水量
空间分布
栅格
像素
空间统计
分类号
P426.6 [天文地球—大气科学及气象学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
消除数字光刻像素栅格衍射影响的研究
郭小伟
杜惊雷
陈铭勇
杜春雷
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
9
下载PDF
职称材料
2
基于像素间孤波的图像处理模型分析
朱自民
刘荣强
刘芬芬
曹有为
《北京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
下载PDF
职称材料
3
基于空间统计的河北省降水量分布特征研究
路焱森
《内蒙古水利》
2020
0
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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