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基底元素表面富集与扩散阻档层
被引量:
1
1
作者
刘友婴
李望
展振宗
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
1994年第4期243-245,共3页
根据An-Ag系统以及An-Cu系统的扩散系数计算,提出了扩散阻挡层模型。利用这个模型对Au-Ag系统进行有关实验,得利了较好的验证。
关键词
元素表面富集
扩散系数
扩散阻档层
电负性
下载PDF
职称材料
题名
基底元素表面富集与扩散阻档层
被引量:
1
1
作者
刘友婴
李望
展振宗
机构
天津南开大学电子科学系
天津理化工程研究院
出处
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
1994年第4期243-245,共3页
文摘
根据An-Ag系统以及An-Cu系统的扩散系数计算,提出了扩散阻挡层模型。利用这个模型对Au-Ag系统进行有关实验,得利了较好的验证。
关键词
元素表面富集
扩散系数
扩散阻档层
电负性
Keywords
Element surface enrichment,Diffusion coefficient, Diffusion barrier,Electronegativity, Vaporization heat
分类号
O652.6 [理学—分析化学]
TN104.1 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基底元素表面富集与扩散阻档层
刘友婴
李望
展振宗
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
1994
1
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职称材料
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引证文献
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