法兰氦质谱检漏技术

改进并设计加工了法兰检漏专用吸枪和喷枪。研究和提出了充压真空法与氦罩法对法兰整体检漏的方法,利用法兰多道密封结构形成的环状空腔作为检漏真空室,进一步提高了法兰检漏的灵敏度与可靠性。