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兆声功率密度对同轴兆声辅助喷射电沉积镍的影响
1
作者
翟科
周丰
+3 位作者
梁勇康
马仕豪
李腾楠
杜立群
《电镀与涂饰》
CAS
北大核心
2024年第1期1-6,共6页
[目的]金属微器件在电沉积过程中往往会产生较大的残余应力,对微器件的尺寸精度、力学性能和良率产生不利影响。[方法]为降低镀层的残余应力,在喷射电沉积镍过程中施加同轴兆声辅助。研究了兆声功率密度对Ni镀层形貌、表面粗糙度、显微...
[目的]金属微器件在电沉积过程中往往会产生较大的残余应力,对微器件的尺寸精度、力学性能和良率产生不利影响。[方法]为降低镀层的残余应力,在喷射电沉积镍过程中施加同轴兆声辅助。研究了兆声功率密度对Ni镀层形貌、表面粗糙度、显微硬度和残余应力的影响。[结果]施加同轴兆声辅助后,所得Ni镀层的宏观和微观形貌都有所变差,表面粗糙度略微增大,显微硬度变化不大,但残余应力显著降低。当兆声功率密度为10 W/cm2时,Ni镀层的残余应力最低,比无兆声辅助时所得Ni镀层低了37.75%。[结论]在电沉积过程中施加兆声辅助能够有效降低镀层的残余应力。
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关键词
微器件
喷射电沉积
镍
残余应力
兆声辅助
功率密度
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职称材料
同轴兆声辅助射流电解加工工艺研究
2
作者
翟科
李腾楠
+2 位作者
马仕豪
梁勇康
杜立群
《电加工与模具》
北大核心
2024年第1期42-45,64,共5页
针对电解加工的杂散问题,提出了同轴兆声辅助射流电解加工方法,利用该方法对304不锈钢的电解加工过程进行理论分析与实验研究。分析结果表明,兆声辅助不仅能增强电解液流速,使阳极被加工区域的电解液不断更新,还能促进反应气体排出,从...
针对电解加工的杂散问题,提出了同轴兆声辅助射流电解加工方法,利用该方法对304不锈钢的电解加工过程进行理论分析与实验研究。分析结果表明,兆声辅助不仅能增强电解液流速,使阳极被加工区域的电解液不断更新,还能促进反应气体排出,从而提高电解加工精度与加工效率。研究结果表明,固定电解液流量0.9 L/min、电解电压50 V时,22 W兆声功率下的电解圆形凹坑的深径比为0.173,相比无兆声下提高12.34%,同时也进一步提升了沟槽刻蚀深宽比,验证了兆声辅助射流电解的有效性。
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关键词
射流电解加工
兆声辅助
深径比
凹坑刻蚀
沟槽刻蚀
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职称材料
光学元件兆声辅助化学刻蚀工艺参数优化
被引量:
3
3
作者
王洪祥
李成福
+3 位作者
周岩
袁志刚
徐曦
钟波
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第11期123-127,共5页
对传统的静态刻蚀方法进行了改进,提出了一种光学元件兆声辅助化学刻蚀新方法,并对传统静态刻蚀与兆声辅助化学刻蚀效果进行了对比分析,综合考虑刻蚀液的配比、刻蚀时间、添加活性剂种类和功率对光学元件激光损伤阈值的影响,通过正交设...
对传统的静态刻蚀方法进行了改进,提出了一种光学元件兆声辅助化学刻蚀新方法,并对传统静态刻蚀与兆声辅助化学刻蚀效果进行了对比分析,综合考虑刻蚀液的配比、刻蚀时间、添加活性剂种类和功率对光学元件激光损伤阈值的影响,通过正交设计实验优选出最佳的兆声辅助化学刻蚀工艺参数。结果表明:兆声清洗对各类杂质的去除效果要明显好于手工擦洗,兆声辅助化学刻蚀比传统的静态刻蚀有更高的刻蚀速率,在兆声的作用下刻蚀液能够进入到传统静态刻蚀难以进入的微裂纹中,对微裂纹等缺陷的刻蚀效果更为明显,能够将熔石英元件激光损伤阈值进一步提高。
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关键词
化学刻蚀
亚表面缺陷
激光损伤阈值
熔石英元件
兆声辅助
刻蚀
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职称材料
基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究
4
作者
杜立群
赵文君
+3 位作者
翟科
杜成权
魏壮壮
姬学超
《电加工与模具》
2019年第4期44-48,68,共6页
微电铸已成为制作金属微器件的关键技术之一,然而微电铸层中过大的残余应力会给微器件的尺寸精度与使用寿命带来极大的影响。针对一款悬臂型后座保险锁微器件在电铸阶段出现的变形现象进行分析,基于纳米压痕技术,以有、无兆声辅助电铸...
微电铸已成为制作金属微器件的关键技术之一,然而微电铸层中过大的残余应力会给微器件的尺寸精度与使用寿命带来极大的影响。针对一款悬臂型后座保险锁微器件在电铸阶段出现的变形现象进行分析,基于纳米压痕技术,以有、无兆声辅助电铸微器件为被测样片开展了应力测试实验,讨论了纳米压痕技术中两种常用的计算模型对应力测试结果的影响。结果表明:兆声辅助电铸器件中的残余应力相对无兆声辅助电铸器件减小了57.84%,验证了兆声辅助电铸能有效减小铸层中残余内应力,并从声流和稳态空化两种理论解释了兆声辅助电铸过程中铸层残余内应力减小的原因。
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关键词
纳米压痕法
兆声辅助
电铸
微电铸器件
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职称材料
大面积金属网板模具的制造
被引量:
1
5
作者
杜立群
肖海涛
+4 位作者
张希
温义奎
于洋
关发龙
钟波
《模具制造》
2021年第4期66-69,共4页
利用UV-LIGA工艺制造了一款总体尺寸为60×60mm×300μm.深宽比为6、开孔率高达93%的金属铢网板模具。该网板具有面积大、厚度大及开孔率高等特点。在电铸过程中,为降低大面积网板铸层中的残余应力,采用了兆声辅助微电铸的方法...
利用UV-LIGA工艺制造了一款总体尺寸为60×60mm×300μm.深宽比为6、开孔率高达93%的金属铢网板模具。该网板具有面积大、厚度大及开孔率高等特点。在电铸过程中,为降低大面积网板铸层中的残余应力,采用了兆声辅助微电铸的方法。去胶释放后微细网板结构未出现翘曲变形、分层等问题,满足使用要求。本文研究表明:兆声辅助微电铸方法是制造大面积、大厚度、低应力金属微器件的一种有效方法。
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关键词
金属网板
UV-LIGA
兆声辅助
残余应力
微电铸
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职称材料
题名
兆声功率密度对同轴兆声辅助喷射电沉积镍的影响
1
作者
翟科
周丰
梁勇康
马仕豪
李腾楠
杜立群
机构
河北大学质量技术监督学院
大连理工大学高性能精密制造国家重点实验室
出处
《电镀与涂饰》
CAS
北大核心
2024年第1期1-6,共6页
基金
国家重点研发计划(2022YFB4601602)
河北省自然科学基金(E2022201028)。
文摘
[目的]金属微器件在电沉积过程中往往会产生较大的残余应力,对微器件的尺寸精度、力学性能和良率产生不利影响。[方法]为降低镀层的残余应力,在喷射电沉积镍过程中施加同轴兆声辅助。研究了兆声功率密度对Ni镀层形貌、表面粗糙度、显微硬度和残余应力的影响。[结果]施加同轴兆声辅助后,所得Ni镀层的宏观和微观形貌都有所变差,表面粗糙度略微增大,显微硬度变化不大,但残余应力显著降低。当兆声功率密度为10 W/cm2时,Ni镀层的残余应力最低,比无兆声辅助时所得Ni镀层低了37.75%。[结论]在电沉积过程中施加兆声辅助能够有效降低镀层的残余应力。
关键词
微器件
喷射电沉积
镍
残余应力
兆声辅助
功率密度
Keywords
microdevice
jet electrodeposition
nickel
residual stress
megasonic agitation assistance
power density
分类号
TQ153.12 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
同轴兆声辅助射流电解加工工艺研究
2
作者
翟科
李腾楠
马仕豪
梁勇康
杜立群
机构
河北大学质量技术监督学院
大连理工大学机械工程学院
出处
《电加工与模具》
北大核心
2024年第1期42-45,64,共5页
基金
国家重点研发计划项目(2022YFB4601602)
河北省自然科学基金项目(E2022201028)。
文摘
针对电解加工的杂散问题,提出了同轴兆声辅助射流电解加工方法,利用该方法对304不锈钢的电解加工过程进行理论分析与实验研究。分析结果表明,兆声辅助不仅能增强电解液流速,使阳极被加工区域的电解液不断更新,还能促进反应气体排出,从而提高电解加工精度与加工效率。研究结果表明,固定电解液流量0.9 L/min、电解电压50 V时,22 W兆声功率下的电解圆形凹坑的深径比为0.173,相比无兆声下提高12.34%,同时也进一步提升了沟槽刻蚀深宽比,验证了兆声辅助射流电解的有效性。
关键词
射流电解加工
兆声辅助
深径比
凹坑刻蚀
沟槽刻蚀
Keywords
jet ECM
megasonic assisted
depth to diameter ratio
pit etching
groove etching
分类号
TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
光学元件兆声辅助化学刻蚀工艺参数优化
被引量:
3
3
作者
王洪祥
李成福
周岩
袁志刚
徐曦
钟波
机构
哈尔滨工业大学机电工程学院
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第11期123-127,共5页
基金
国家自然科学基金项目(51475106)
国家自然科学基金委员会与中国工程物理研究院联合基金项目(U1230110)
超精密加工技术重点实验室开放基金项目(KF14007)
文摘
对传统的静态刻蚀方法进行了改进,提出了一种光学元件兆声辅助化学刻蚀新方法,并对传统静态刻蚀与兆声辅助化学刻蚀效果进行了对比分析,综合考虑刻蚀液的配比、刻蚀时间、添加活性剂种类和功率对光学元件激光损伤阈值的影响,通过正交设计实验优选出最佳的兆声辅助化学刻蚀工艺参数。结果表明:兆声清洗对各类杂质的去除效果要明显好于手工擦洗,兆声辅助化学刻蚀比传统的静态刻蚀有更高的刻蚀速率,在兆声的作用下刻蚀液能够进入到传统静态刻蚀难以进入的微裂纹中,对微裂纹等缺陷的刻蚀效果更为明显,能够将熔石英元件激光损伤阈值进一步提高。
关键词
化学刻蚀
亚表面缺陷
激光损伤阈值
熔石英元件
兆声辅助
刻蚀
Keywords
chemical etching
subsurface defects
laser damage threshold
fused silica optics
megasonic assisted etching
分类号
TG580 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究
4
作者
杜立群
赵文君
翟科
杜成权
魏壮壮
姬学超
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室
出处
《电加工与模具》
2019年第4期44-48,68,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(51975103,51475245)
文摘
微电铸已成为制作金属微器件的关键技术之一,然而微电铸层中过大的残余应力会给微器件的尺寸精度与使用寿命带来极大的影响。针对一款悬臂型后座保险锁微器件在电铸阶段出现的变形现象进行分析,基于纳米压痕技术,以有、无兆声辅助电铸微器件为被测样片开展了应力测试实验,讨论了纳米压痕技术中两种常用的计算模型对应力测试结果的影响。结果表明:兆声辅助电铸器件中的残余应力相对无兆声辅助电铸器件减小了57.84%,验证了兆声辅助电铸能有效减小铸层中残余内应力,并从声流和稳态空化两种理论解释了兆声辅助电铸过程中铸层残余内应力减小的原因。
关键词
纳米压痕法
兆声辅助
电铸
微电铸器件
Keywords
nanoindentation
megasonic-assisted electroforming
micro electroforming devices
分类号
TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
大面积金属网板模具的制造
被引量:
1
5
作者
杜立群
肖海涛
张希
温义奎
于洋
关发龙
钟波
机构
大连理工大学
大连理工大学
江苏博睿光电有限公司
出处
《模具制造》
2021年第4期66-69,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(51975103)。
文摘
利用UV-LIGA工艺制造了一款总体尺寸为60×60mm×300μm.深宽比为6、开孔率高达93%的金属铢网板模具。该网板具有面积大、厚度大及开孔率高等特点。在电铸过程中,为降低大面积网板铸层中的残余应力,采用了兆声辅助微电铸的方法。去胶释放后微细网板结构未出现翘曲变形、分层等问题,满足使用要求。本文研究表明:兆声辅助微电铸方法是制造大面积、大厚度、低应力金属微器件的一种有效方法。
关键词
金属网板
UV-LIGA
兆声辅助
残余应力
微电铸
Keywords
metal mesh
UV-LIGA
megasonic-asted
residual stress
microelectroforming
分类号
TG659 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
兆声功率密度对同轴兆声辅助喷射电沉积镍的影响
翟科
周丰
梁勇康
马仕豪
李腾楠
杜立群
《电镀与涂饰》
CAS
北大核心
2024
0
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职称材料
2
同轴兆声辅助射流电解加工工艺研究
翟科
李腾楠
马仕豪
梁勇康
杜立群
《电加工与模具》
北大核心
2024
0
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职称材料
3
光学元件兆声辅助化学刻蚀工艺参数优化
王洪祥
李成福
周岩
袁志刚
徐曦
钟波
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
3
下载PDF
职称材料
4
基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究
杜立群
赵文君
翟科
杜成权
魏壮壮
姬学超
《电加工与模具》
2019
0
下载PDF
职称材料
5
大面积金属网板模具的制造
杜立群
肖海涛
张希
温义奎
于洋
关发龙
钟波
《模具制造》
2021
1
下载PDF
职称材料
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