先进微纳加工与测试平台超净化实验室环境系统设计综述

西湖大学先进微纳加工与测试平台(以下简称“微纳平台”)依托工学院筹建,是西湖大学六个校级科研平台之一,秉承“顶尖、科学、经济”的理念,旨在打造由顶尖实验设备和优秀技术人才组建而成的先进微纳器件加工和微纳结构表征的大型仪器共享服务平台。简述了微纳平台超净化实验室系统工艺设计原则、理念、内容和方案,为后期西湖大学云谷校区的平台建设以及其他高校科研院所的微纳平台建设提供了相关参照。

6S管理方法在微纳加工共享服务平台管理中的应用

大型仪器共享平台是推进高校科学研究的重要设施保障,本文基于浙江大学校级仪器共享服务平台“微纳加工中心”的建设经验,针对微纳加工技术的特殊性及其建立共享服务平台带来的挑战,创新性地引入6S现代企业管理方法,建立了一套完善的共享服务平台管理模式,改善实验环境、清除安全隐患,显著提高了设备使用效率,可为同类共享服务平台的建设和管理提供借鉴和参考。

开放式半导体微纳加工平台的开放管理模式探讨

大型仪器设备共享是节约社会资源的重要手段。该文以上海交通大学先进电子材料与器件校级平台为基础,从实验室环境、设备工艺、物资需求、研究方向、人员等方面系统分析和总结了开放式半导体微纳加工平台的特点,并对实验平台开放所面临的挑战进行了探讨,为开放式半导体微纳加工平台的建设和管理提供借鉴和参考。

面向激光微纳加工的柔性XY平台设计与分析

针对激光微纳加工设备中传统机械式的微位移机构运动方向单一而柔性铰链本身驱动又存在驱动位移小的问题,设计了一种柔性大行程完全解耦的XY微纳运动平台;推导了杠杆位移放大器的放大比率模型,通过粒子群优化算法对运动平台的尺寸进行优化分析。运用ANSYS分析软件,对所设计平台的静力学、动力学性能进行分析。仿真结果表明:该平台具有良好的解耦特性,能够满足机构的两自由度运动解耦要求。

微纳加工与表征开放服务平台建设若干问题的思考

高校公共开放加工实验平台的建设,应围绕国家需求和国家战略,服务前沿科学领域,保障高校承接的国家重大科研项目顺利实施。微纳平台依托高校和试点国家实验室优势学科群,战略任务是"海陆空天一体化光网络",覆盖集成光子学、光子辐射与探测、光电信息存储三个子方向;面向信息光电子领域的信息获取、传输、交换、运算、处理及信息存储等,重点开展核心光电子器件、集成、系统及关键技术的应用基础研究工作;探索改善器件性能与存储新能的新机理,新材料,新结构和新工艺;聚焦可持续提升信息容量的新技术,从根本上解决信息光电子发展过程中卡脖子的关键器件和芯片国产化问题,服务于国家信息领域重大战略需求。

飞秒激光微精细加工技术与MEMS动态测试技术

本文阐述了飞秒激光微精细加工技术的原理特点，在微机械和微光学中的应用，及其在加工研究中取得的一些进展；提出一种基于计算机视觉、显微干涉及激光多普勒的MEMS的动态测试技术，实现MEMS器件平面运动幅度的快速测量、平面和离面运动的测量和离面运动的瞬态测量。

飞秒激光微精细加工技术与MEMS动态测试技术

本文阐述了飞秒激光微精细加工技术的原理特点,在微机械和微光学中的应用,及其在加工研究中取得的一些进展;提出一种基于计算机视觉、显微干涉及激光多普勒的 MEMS 的动态测试技术,实现 MEMS 器件平面运动幅度的快速测量、平面和离面运动的测量和离面运动的瞬态测量。

激光微纳加工领域的代表人物

自1960年激光问世以来,激光制造技术经历了以激光打标、激光表面处理、激光切割、激光打孔和激光焊接等为代表的激光宏观制造技术,以激光精密切割、激光精密钻孔和激光烧蚀等为代表的激光微加工技术,和以激光制备纳米颗粒、激光诱导表面微纳米结构、干涉光刻和近场纳米制造为代表的激光微纳加工技术等多个发展阶段,覆盖了从毫米到纳米等不同的尺度,成为不可或缺的先进制造技术。其中,激光微纳加工技术涉及光学、物理、材料、化学、生物、信息、控制、机械、纳米科技等学科,必将推动制造及相关学科的深入发展,并为航空、能源、集成电路制造、国防、汽车、生物医疗等领域实现跨越式发展提供重要的制造支撑。各国科研工作者纷纷投身于激光微纳加工技术的研究之中,以期用先进的科技力量,改写人类社会的工业文明。作为行业研究中的佼佼者,美国的陆永枫教授、英国的李琳教授、日本的杉冈幸次教授以及我国的钟敏霖教授正以其卓越的科研成就引领着激光微纳加工领域的发展方向。

甬江实验室:构筑高能级创新平台 厚培新质生产力沃土

宁波甬江科创区核心区,一座由“共享环”串联6栋现代科技风楼宇的建筑群,在春日暖阳下熠熠生辉。“这里是甬江实验室创园,目前在装修,计划今年上半年开始入驻。”甬江实验室创新能力建设部负责人介绍。据悉,甬江实验室分为知园、创园两个园区,总占地面积逾600亩,总建筑面积89万平方米。其中,创园主要为应用研究和验证区,布局了实验室部分研究中心、信息材料与微纳器件制备平台、孵化器等;知园主要是研究区,规划有前瞻研究中心、材料数字化研究中心、分析测试中心等,目前处于地上主体结构建设阶段,预计2025年年底竣工。甬江实验室建设项目也被纳入浙江省科技创新强基领域重大项目。

面向半导体器件的电化学微纳制造技术

由于电化学加工技术无工具磨损、无残余应力、无表层和亚表层损伤和热效应,在先进制造领域具有不可替代的作用.面对超大规模集成电路、微纳机电系统和微纳器件等新兴产业的重大需求,电化学微纳加工技术应运而生.围绕“微纳米尺度空间限域电化学反应”这一关键科学问题,本文将在介绍电化学微纳加工技术的基础上,全面综述具有厦门大学特色的约束刻蚀剂层技术及其在半导体材料加工原理、方法和设备等方面的研究进展.

微纳制造与测量的探索者和践行者——记西安交通大学机械工程学院教授杨树明

激光核聚变装置、卫星用光学系统、大型天文望远镜、医疗影像设备等国家重大工程及国防尖端技术对高精度光学元件具有极大的需求,而光学元件表面质量的好坏则直接影响其长期稳定性、镀膜质量、使用寿命和激光损伤阈值等重要性能指标。光学干涉是表面质量检测最具潜力的方法之一,但是随着加工精度和效率的不断提高.

微型JT制冷机降温实验

采用BF33硼硅玻璃结合光刻、激光刻蚀和熔融键合等工艺制成了以纯氮为工质的微型JT制冷机,外观尺寸(长×宽×厚)为60 mm×9.6 mm×1.2 mm。搭建了微型JT制冷机实验系统,能够为JT制冷机提供稳定的压力工况和高纯工质,并可测得相应压力工况下的温度和工质质量流量数据。降温实验结果表明,当高压和低压分别为10.1 MPa和0.24 MPa时,微型JT制冷机能够获得94.3 K的无负荷制冷温度。制冷温度和工质质量流量保持稳定长达4小时以上。其加工工艺和实验系统方案可靠性得到验证。

2012国防光学计量与测试技术学术研讨会

2012年4月16—20日成都重点议题：★军用光学测量技术★超精密测量与微纳加工技术 ★自由曲面制造与检测技术发起单位：中国航天科工集团科技与质量司

2012国防光学计量与测试技术学术研讨会

2012年4月16-20日成都重点议题：★军用光学测量技术★超精密测量与微纳加工技术★自由曲面制造与检测技术发起单位：中国航天科工集团科技与质量司主办单位：中国宇航学会承办单位：中国宇航学会光电技术专业委员会。

西北工业大学分析测试中心

西北工业大学分祈测试中心(以下简称“中心”正式运行于2018年10月,为学校独立建制的二级机构,是支撑基础研究、人才培养、高层次人才引肓和国际合作交流的校级公共平台,同时也面向社会进行分析检测、科学研究和技术咨询等。中心设备“前沿高端、国际一流”。2017-2018年两期建设设备资产8000余万元,以高端先进大型设备为主(百万元以上设备14套),中端通用大型设备为辅(20余套),形成显微电镜分析、结构物性表征、微纳制造、力学测试等多个完整测试体系。

新型能源器件的激光微纳加工研究进展

随着科学技术的不断发展,新型能量转化和存储器件的研究受到了科学工作者的广泛关注,有望减小人类社会对化石燃料的依赖,构建全球能源新格局。激光具有能量密度高、空间分辨率高、可定制性强等特点,在先进功能材料的开发和新型能源器件的微纳结构构建方面具有独特的作用。概述了激光在新型能源器件和相关先进材料领域的研究进展,其中新型能源器件主要包括超级电容器、可充电电池、太阳能电池、水汽自发发电器件等;先进材料领域的研究进展涉及器件电极的激光微纳加工、材料的激光改性和功能化、器件结构的激光微结构构建、柔性能源器件制备等。最后,对激光在新型能源器件领域的相关研究进行了总结和展望。

微纳结构超精密加工及其应用研究--香港理工大学杜雪教授

微纳结构拥有诸多优异特性,具有广阔的发展前景,广泛应用于光学、摩擦学、界面科学、生物医学、材料科学等领域。香港理工大学工业及系统工程学系超精密加工技术国家重点实验室杜雪教授长期从事微纳结构超精密加工及其应用研究,提出一系列先进加工技术和工艺,取得多项创新科研成果。

自然的灵感“偶遇”先进制造技术

大自然是世界上最伟大的'设计师'和'工程师',经过数亿年的进化,自然界的生物通过自身功能结构的不断演变和优化,展示了独特的生物特性.出淤泥而不染的荷叶、阳光下五彩斑斓的彩蝶、擅长攀岩的壁虎脚、广角侦察的蜻蜓复眼,这一系列巧夺天工的设计和制造均出自大自然之手.人类对这些生物功能的好奇与神往,驱使研究者对这些功能独特的生物材料展开了细致的研究,并逐渐揭开了自然界生物材料神秘的'面纱',研究证实微纳尺度的多级结构被认为是产生上述独特功能的关键.如今,人们已经对各类生物材料的微纳结构与化学组成有了很深的认识。