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LIGA技术在先进模具制造中的应用
被引量:
1
1
作者
伊福廷
张菊芳
《模具工程》
2006年第7期72-75,共4页
LIGA技术自其发明和公开报道已有十几年的发展历史,已在世界各地发展起来,带动和激发了微机电系统——MEMS(Microelectromechanical System)加工热潮。经过十几年的努力,LIGA技术日已成熟,在很多领域内得到了应用。LIGA技术以大...
LIGA技术自其发明和公开报道已有十几年的发展历史,已在世界各地发展起来,带动和激发了微机电系统——MEMS(Microelectromechanical System)加工热潮。经过十几年的努力,LIGA技术日已成熟,在很多领域内得到了应用。LIGA技术以大高宽比结构和加工厚度著称,结构高宽比可达100以上,结构厚度可在1毫米以上,是其他任何加工技术所不能够相比的。这一优越的加工能力为在微机械制造中发挥作用,提供了坚实的技术基础。该技术的目标就是制造模具,用于注塑和模压工艺过程中所需要的金属模具。通过对该技术以及北京同步辐射的LIGA技术发展现状和应用的介绍。希望对同仁有所帮助。共同推进该技术在模具制造领域内的应用。
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关键词
微机械
LIGA
技术
微细加工
技术
先进模具技术
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职称材料
题名
LIGA技术在先进模具制造中的应用
被引量:
1
1
作者
伊福廷
张菊芳
机构
中科院高能物理研究所同步辐射室
出处
《模具工程》
2006年第7期72-75,共4页
基金
本项目得到国家自然科学基金(项目批准号:50375150)支持.
文摘
LIGA技术自其发明和公开报道已有十几年的发展历史,已在世界各地发展起来,带动和激发了微机电系统——MEMS(Microelectromechanical System)加工热潮。经过十几年的努力,LIGA技术日已成熟,在很多领域内得到了应用。LIGA技术以大高宽比结构和加工厚度著称,结构高宽比可达100以上,结构厚度可在1毫米以上,是其他任何加工技术所不能够相比的。这一优越的加工能力为在微机械制造中发挥作用,提供了坚实的技术基础。该技术的目标就是制造模具,用于注塑和模压工艺过程中所需要的金属模具。通过对该技术以及北京同步辐射的LIGA技术发展现状和应用的介绍。希望对同仁有所帮助。共同推进该技术在模具制造领域内的应用。
关键词
微机械
LIGA
技术
微细加工
技术
先进模具技术
分类号
TG76 [金属学及工艺—刀具与模具]
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
LIGA技术在先进模具制造中的应用
伊福廷
张菊芳
《模具工程》
2006
1
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职称材料
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