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非晶硅光位敏探测器的开发
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作者 杜开瑛 杨熹 +3 位作者 伍红跃 冯良桓 周心明 邱上源 《四川大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1993年第2期189-193,共5页
以横向光伏效应为工作模式,采用全非晶硅的Pin结构,研制了一维可见光波段的光位敏探测器(PSD_s).测试结果表明,该探测器的光位敏度可达9.7mV/mm,光讯号—位移的线性探测区占有效探测总面积的65％,而最大有效光敏面积约为2cm^2.
关键词 非晶硅 探测器 光位敏度
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