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EDA
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《电子设计应用》 2005年第12期143-144,共2页
KLA—TENCOR DesignScan设计检测方案面向光刻挑战;Cirrus Logic为CS4961XX系列添加图形编程工具。
关键词 KLA—TENCOR公司 芯片 光刻制程工艺 参数化设计 在线检测
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