彩色PDP光刻工艺的优化理论和设计

提出了用有效时差优化彩色PDP光刻工艺参数的理论和优化设计方法 ,并用实例说明了该理论的实用性。

基于数字全息的玻璃微加工形貌测量

利用数字全息显微技术对玻璃微加工中微结构的形貌进行了高精度测量,基于马赫-曾德离轴显微干涉系统记录微结构的数字全息图,用混合重建算法和行列扫描法解包裹提取高精度的相位分布,进而构建微结构的形貌,并计算了深度。对平凸球形微透镜进行了形貌仿真与测量,验证了该方法的可行性。用二氧化碳激光器对载玻片表面进行光刻微加工,定量分析了不同光刻参数对玻璃微结构的形貌及深度的影响,以及加工热影响区引起的重凝高度对加工质量的影响。结果表明,光刻深度随着激光功率的增大而增大,随着打标速度的减小而增大,Q频较小时深度较大。这有助于指导玻璃的精细加工。