大数值孔径(NA=0.55)变倍率极紫外光刻投影物镜偏振像差高精度检测方法

提出了一种严格的非线性成像测量大数值孔径(NA=0.55)变倍率极紫外光刻(EUVL)投影物镜偏振像差的方法。首先在变倍率极紫外(EUV)严格矢量成像模型基础上,通过建立偏振像差与空间像频谱的非线性关系,得到非线性超定方程组,并提出一种同步旋转测量的方法,通过构建和训练深度神经网络算法求解严格非线性超定方程组,实现了EUV投影物镜偏振像差琼斯光瞳的高精度快速测量。仿真结果表明,测量精度达到了10^(-4)λ(λ为波长)量级,该技术将支撑3~7 nm技术节点EUVL质量的在线监控。