光刻机工作台永磁同步电机伺服控制系统设计

工作台是光刻机的重要部件之一,为了更好地实现直线大行程运动以及准确度的粗定位,本文提出了一种基于DSP的永磁同步电机伺服控制系统。本文结合永磁同步电机各方面良好的性能,详细介绍了控制系统的控制板和驱动板,控制板主要采用了TI公司的电机控制芯片TMS320F2808为控制核心,功率驱动板主要由三相桥式逆变主电路、光耦隔离电路、信号采集电路和保护电路组成。通过实验验证,系统在稳定性、快速性以及准确性上都达到了要求。

大面积液晶面板光刻机新型工作台设计

论述曝光面积可达３３５．６ｍｍ×３５５．６ｍｍ（４″×１４″），套刻精度为±２μｍ，接近式（０～２５μｍ）液晶面版光刻机的新型工作台设计。