光刻磁盘伺服码形技术

利用半导体精微集成技术，将现有多相伺服码转化为磁盘光刻伺服图形，这种伺服编码形式能够反映磁头位置编码磁化翻转，供磁头快速定位、跟踪、找道、读出伺服信息，进一步提高了磁盘的道密度。

磁盘伺服图形光刻机主轴稳速系统设计

叙述了影响磁盘伺服图形光刻机主轴转速误差主要来源 ,分析了主轴稳速系统是实现光刻机均匀刻录不可缺少的重要环节 。

磁盘伺服图形光刻机主轴稳速系统设计

该文叙述了影响磁盘伺服图形光刻机主轴转速误差的主要来源,分析了主轴稳速系统是实现光刻机均匀刻录不可缺少的重要环节,提出了提高主轴稳速精度具体设计方案。