涂胶膜厚优化试验与控制方法

针对本公司目前所用RC-550涂胶机,对影响涂胶膜厚的主要参数(胶轮压力、光刻胶粘度和流量以及胶轮转动速度等)进行试验,得出光刻胶涂布的最优化条件,并对如何获得稳定的涂胶膜厚提出合理化建议。