MEMS光声气体传感器光声腔的研究

光声气体传感器在微量气体探测方面具有许多优势,光声气体传感器的MEMS化可降低成本,提高传感器性能,具有重要的实际意义。依据光声传感器的原理,结合MEMS加工技术,研究制作了一种光声腔,同时,进行了一定的理论模拟,为实现光声气体传感器的MEMS化打下重要基础。

非晶固体光敏传感器技术(下)

全文描述了各种非晶固体光敏传感器技术以及它们的结构、工作原理和应用。本文主要介绍非晶玻璃合金声-光气体传感器、a-Si:H光电传感器及电传感器光纤接口技术。