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用于光学位移传感器的新型数字编码光栅尺的制作(英文) 被引量:1
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作者 王宇 陈火耀 +3 位作者 刘正坤 郑衍畅 洪义麟 付绍军 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期166-170,共5页
介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在(100)硅片上制作母光栅尺,并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料,将母光栅尺复制到硬基底上.实验表明,该工艺可重复性高,复制... 介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在(100)硅片上制作母光栅尺,并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料,将母光栅尺复制到硬基底上.实验表明,该工艺可重复性高,复制光栅尺的衍射效率高于母光栅尺的90%,并能承受航空环境-55℃~70℃的高低温冲击.光栅尺的制作准确度满足传感器的要求,信号响应准确率100%.该方法可对具有准确度高、图形复杂、工作环境恶劣等特点的微纳米结构的制作提供借鉴. 展开更多
关键词 光学位移传感器 编码光栅 复制技术 紫外光刻 全息光刻 光传操纵系统
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基于数字孪生的光学位移台交互控制系统 被引量:2
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作者 徐哲 孙树峰 +8 位作者 张兴波 王茜 张丰云 王萍萍 谢章伟 张羽 刘纪新 孙维丽 曹爱霞 《工程设计学报》 CSCD 北大核心 2023年第2期254-261,共8页
为解决自建激光并行加工实验平台因设备安装位置隐蔽、难以加装辅助装置等而造成实验操作不便、设备运行状态监测困难和交互性差的问题,以实验平台中单个光学位移台为例,利用Unity引擎设计了一种基于数字孪生技术的交互控制系统。该交... 为解决自建激光并行加工实验平台因设备安装位置隐蔽、难以加装辅助装置等而造成实验操作不便、设备运行状态监测困难和交互性差的问题,以实验平台中单个光学位移台为例,利用Unity引擎设计了一种基于数字孪生技术的交互控制系统。该交互控制系统采用MQTT(message queuing telemetry transport,消息队列遥测传输)通信协议,利用服务器中转数据的方式完成跨软件间的信息交互。光学位移台的Kinesis控制软件和Unity引擎中的虚拟控制面板作为MQTT通信中的客户端,共同承担订阅者和发布者的角色。光学位移台的数字孪生模型根据数据信息对物理实体的运动状态进行实时映射,用户通过Kinesis控制软件或虚拟控制面板完成对物理实体和数字孪生模型的同步交互控制。采取引用.dll文件对Kinesis控制软件进行二次开发,调用Kinesis控制软件运动控制类的方法完成对光学位移台的运动控制,并将运动数据变量设置为高精度的float型和decimal型,确保数据精度不丢失。选取10组实际加工数据对交互控制系统运行的延时性、同步性进行测试。结果显示,Kinesis控制软件端数据发布耗时和Unity引擎端数据订阅耗时分别控制在20 ms和10 ms内。所设计的系统能够较好地保证数字孪生模型与物理实体间同步控制的一致性、动作映射的实时性,实现了光学位移台运动状态的可视化监测功能。此外,设置的运动数据类型可满足微米级的信息传递,保证了光学位移台使用时的精度要求;同时虚拟控制面板各功能正常运行,提升了光学位移台控制的便利性。 展开更多
关键词 数字孪生 交互控制 光学位移 运动监测
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一种基于锥镜的光学非接触位移测量的新方法 被引量:1
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作者 张新宝 赵斌 +1 位作者 李柱 刘晓军 《武汉汽车工业大学学报》 CAS 2000年第6期51-54,共4页
介绍了一种基于锥镜 (axicon)的非接触光学位移测量的新方法 ,可用于精密表面和超精密表面的位移测量。其特点是量程较大 ,分辨率高 (最小可至 0 .1μm)。另外 ,该方法可允许被测表面有小角度的倾斜 ,且不受测头与被测表面之间的孔径光... 介绍了一种基于锥镜 (axicon)的非接触光学位移测量的新方法 ,可用于精密表面和超精密表面的位移测量。其特点是量程较大 ,分辨率高 (最小可至 0 .1μm)。另外 ,该方法可允许被测表面有小角度的倾斜 ,且不受测头与被测表面之间的孔径光阑的影响 ,是一种可用于在线光学测量的方法。 展开更多
关键词 光学非接触位移测量 锥镜 精密表面 超精密表面 测量方法
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利用自动网格法测量模型试验位移场 被引量:3
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作者 白义如 任维中 白世伟 《矿山压力与顶板管理》 EI 北大核心 2003年第1期89-91,共3页
借助于模型试验的方法来研究金山店铁矿地下采矿引起地表沉降问题。首次采用自动网格法来测量模型位移场。该试验逼真地模拟地下不同的开采水平引起的地表变形和围岩移动过程。试验结果表明从-2 70 m向下起采为合理方案。
关键词 自动网格法 地表变形 围岩移动 相似比 光学测量位移
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基于光学运动传感器的履带相扑机器人牵引控制系统研究
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作者 Dawid Woroch Pawel Stojaczyk +1 位作者 宋子由 危银涛 《机器人技术与应用》 2013年第6期27-29,共3页
本文介绍一种用于估计相扑机器人摔跤比赛场地表面摩擦极限的技术,并基于此开发了该移动式相扑机器人的牵引控制系统。该测量估计基于机器人的激光光学传感器。在比赛开始之前,机器人需要完成一系列半自动的测试,以确定在不同情形下用... 本文介绍一种用于估计相扑机器人摔跤比赛场地表面摩擦极限的技术,并基于此开发了该移动式相扑机器人的牵引控制系统。该测量估计基于机器人的激光光学传感器。在比赛开始之前,机器人需要完成一系列半自动的测试,以确定在不同情形下用最大的牵引力加速,从而达到以最高的动量撞击对手的目的。 展开更多
关键词 相扑机器人 牵引控制系统 光学位移传感器 位移测量
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心血管介入虚拟手术造影剂显影仿真 被引量:2
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作者 邓子龙 谢叻 +2 位作者 罗买生 蔡佳音 顾力栩 《中国数字医学》 2015年第2期29-31,共3页
心血管介入手术造影剂的使用对肾功能尤其对肾功能不全患者影响较大。在使用心血管介入手术模拟器进行手术培训过程中,造影剂剂量信号的检测是造影剂模拟的关键技术之一。将光学位移传感器用于造影剂注射剂量信号检测,并成功应用于心血... 心血管介入手术造影剂的使用对肾功能尤其对肾功能不全患者影响较大。在使用心血管介入手术模拟器进行手术培训过程中,造影剂剂量信号的检测是造影剂模拟的关键技术之一。将光学位移传感器用于造影剂注射剂量信号检测,并成功应用于心血管介入手术模拟器。通过Windows API提取光学位移传感器位移信息,并进行实验验证基于光学位移传感器的造影剂注射剂量信号检测的可行性。 展开更多
关键词 造影剂 光学位移传感器 心血管介入虚拟手术
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双针表面形貌测量系统的研究 被引量:1
7
作者 卢圣凤 谢铁邦 +1 位作者 高咏生 李柱 《计量学报》 CSCD 北大核心 2002年第3期171-173,236,共4页
介绍一种新颖的双针表面形貌测量系统 ,它将光学位移传感器和触针位移传感器巧妙地结合在一起 ,从而具有接触和非接触两种测量手段。与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比 ,它的性能价格比更高 ,应用范围更广。该测量系统已投入实用 ,... 介绍一种新颖的双针表面形貌测量系统 ,它将光学位移传感器和触针位移传感器巧妙地结合在一起 ,从而具有接触和非接触两种测量手段。与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比 ,它的性能价格比更高 ,应用范围更广。该测量系统已投入实用 ,接触测量模式下其垂直测量范围和垂直分辨率分别是 1mm和 10nm ,非接触测量模式下分别是 5 0 0 μm和 3nm。实践证实 ,该系统使用灵活 。 展开更多
关键词 双针表面形貌测量系统 表面特征提取 光学位移传感器 触针位移传感器
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衬底温度对溅射硅基铜膜(Cu/Si)应力的影响研究 被引量:6
8
作者 吴桂芳 宋学平 +2 位作者 刘勇 林伟 孙兆奇 《安徽大学学报(自然科学版)》 CAS 2004年第3期27-32,共6页
薄膜应力的存在是薄膜制备过程中需要认真考虑的普遍问题。本文对溅射硅基铜膜应力受衬底温度的影响进行了讨论。实验中衬底温度分别设定为室温,50℃,100℃,150℃,200℃,250℃。实验表明:衬底温度在50~200℃之间时,铜膜平均应力变化较... 薄膜应力的存在是薄膜制备过程中需要认真考虑的普遍问题。本文对溅射硅基铜膜应力受衬底温度的影响进行了讨论。实验中衬底温度分别设定为室温,50℃,100℃,150℃,200℃,250℃。实验表明:衬底温度在50~200℃之间时,铜膜平均应力变化较小,为-3.920×108Pa,应力差变化也较小。 展开更多
关键词 衬底温度 溅射硅基铜膜 基片温度 微结构 光学位移 薄膜应力 超大规模集成电路
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球体圆度测量中光轴偏移对测量精度影响的实验研究
9
作者 屠明亮 陆惠宗 黄炜 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第4期91-93,97,共4页
为描述光学精密位移传感器测量高端轴承球体圆度过程中,光轴与轴承球体赤道面存在一定的角度时对测量结果的影响,讨论了这种装置的工作原理及可实现的测量精度,从理论上分析了有一定倾斜时测量值与实际值之间的误差,同时通过实验测量,... 为描述光学精密位移传感器测量高端轴承球体圆度过程中,光轴与轴承球体赤道面存在一定的角度时对测量结果的影响,讨论了这种装置的工作原理及可实现的测量精度,从理论上分析了有一定倾斜时测量值与实际值之间的误差,同时通过实验测量,验证了该装置在测量轴承球体时测量误差与倾斜角之间的关系。评估了利用该装置测量高端轴承球体几何量,如圆度等时的精度上限,建立了一套利用精密光学位移传感器测量轴承球体几何量及误差评定的方法。该装置及测量方法可用于生产线上的在线检测。 展开更多
关键词 圆度 光学位移 倾斜误差 快速测量 高精度轴承球体 误差分析
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大顶角等腰劈的等倾干涉原理 被引量:6
10
作者 周国全 祁宁 《物理与工程》 2017年第5期65-70,共6页
依据波动光学关于光的干涉原理,分析和介绍了一种能产生等倾干涉现象的大顶角等腰劈干涉装置,推导并讨论了该干涉结构发生等倾干涉的条件及干涉条纹的分布规律;同时指明等腰劈的等倾干涉原理对于薄膜干涉的相似性或等价性,并讨论了其在... 依据波动光学关于光的干涉原理,分析和介绍了一种能产生等倾干涉现象的大顶角等腰劈干涉装置,推导并讨论了该干涉结构发生等倾干涉的条件及干涉条纹的分布规律;同时指明等腰劈的等倾干涉原理对于薄膜干涉的相似性或等价性,并讨论了其在光学领域可能的应用领域;强调了其对光学干涉的教学研究的辅助作用及内容扩充。 展开更多
关键词 光学干涉 等倾干涉 干涉圆环 等腰劈 光学谐振腔 位移传感
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Study on chronic pancreatitis and pancreatic cancer using MRS and pancreatic juice samples 被引量:9
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作者 Jian Wang Chao Ma +2 位作者 Zhuan Liao Bing Tian Jian-Ping Lu 《World Journal of Gastroenterology》 SCIE CAS CSCD 2011年第16期2126-2130,共5页
AIM:To investigate the markers of pancreatic diseases and provide basic data and experimental methods for the diagnosis of pancreatic diseases.METHODS:There were 15 patients in the present study,among whom 10 had panc... AIM:To investigate the markers of pancreatic diseases and provide basic data and experimental methods for the diagnosis of pancreatic diseases.METHODS:There were 15 patients in the present study,among whom 10 had pancreatic cancer and 5,chronic pancreatitis.In all patients,pancreatic cancer or chronic pancreatitis was located on the head of the p-a-ncrea-s.Pa-thology da-ta-of a-ll p-a-tients wa-s confirmed by biopsy and surgery.Among the 10 patients with pancreatic cancer,3 people had a medical history of longterm alcohol consumption.Of 5 patients with chronic pancreatitis,4 men suffered from alcoholic chronic pancreatitis.Pancreatic juice samples were obtained from patients by endoscopic retrograde cholangiopancreatography.Magnetic resonance spectroscopyn was performed on an 11.7-T scanner (Bruker DRX-500) using Call-Purcell-Meiboom-Gill pulse sequences.The parameters were as follows:spectral width,15 KHz;time domain,64 K;number of scans,512;and acquisition time,2.128 s.RESULTS:The main component of pancreatic juice included leucine,iso-leucine,valine,lactate,alanine,acetate,aspartate,lysine,glycine,threonine,tyrosine,histidine,tryptophan,and phenylalanine.On performing 1D 1H and 2D total correlation spectroscopy,we found a triplet peak at the chemical shift of 1.19 ppm,which only appeared in the spectra of pancreatic juice obtained from patients with alcoholic chronic pancreatitis.This triplet peak was considered the resonance of the methyl of ethoxy group,which may be associated with the metabolism of alcohol in the pancreas.CONCLUSION:The triplet peak,at the chemical shift of 1.19 ppm is likely to be the characteristic metabolite of alcoholic chronic pancreatitis. 展开更多
关键词 Pancreatic juice Pancreatic cancer Chronic pancreatitis Magnetic resonance spectroscopy Magnetic resonance imaging
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关于《验光镜片箱检定规程》的几点建议 被引量:1
12
作者 黄文虎 《中国计量》 2003年第4期29-29,共1页
关键词 《验光镜片箱检定规程》 眼镜计量 镜片 试镜架 计量器具 计量单位 计量检定 光学中心位移
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741例眼镜瞳距、屈光度及散光轴象的调查分析 被引量:1
13
作者 陈开达 《中国眼镜科技杂志》 1999年第4期47-47,共1页
从最近几年各地对眼镜质量调查的情况看,眼镜的不合格率很高。造成眼镜不合格的主要原因是眼镜配制质量差、其瞳距、屈光度和散光轴象不准。这种低质量的眼镜往往致患者戴镜困难,影响极大。为了进一步了解眼镜质量问题,引起各有关方面... 从最近几年各地对眼镜质量调查的情况看,眼镜的不合格率很高。造成眼镜不合格的主要原因是眼镜配制质量差、其瞳距、屈光度和散光轴象不准。这种低质量的眼镜往往致患者戴镜困难,影响极大。为了进一步了解眼镜质量问题,引起各有关方面的重视,我们用有关资料进行了调查分析。 展开更多
关键词 调查分析 散光轴 不合格率 光学中心位移 允许误差 瞳孔距离 眼镜质量 合格眼镜 瞳距 镜片
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规范眼镜市场质量管理
14
作者 王涓 《中国眼镜科技杂志》 1999年第5期9-9,共1页
目前眼镜市场质量管理,政府主要委托卫生局和技术监督局进行技术上监督管理,两部门应认清职能,配合默契,真正规范我国的眼镜市场的质量管理,切实维护消费者的利益,特别是有利于广大青少年的健康。
关键词 质量管理 眼镜市场 技术部门 矫正屈光不正 卫生部门 合格眼镜 眼镜店 眼镜卫生 监督管理 光学中心位移
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Microscopic Theoretical Calculations of R—Line Thermal Shifts and Broadenings of MgO:Cr^3+
15
作者 MADong-Ping LIUYan-Yun 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2002年第3期373-380,共8页
By taking into account all the irreducible representations and their components in the electron-phonon interaction (EPI) as well as all the levels and the admixtures of basic wavefunctions within d<SUP>3</SUP... By taking into account all the irreducible representations and their components in the electron-phonon interaction (EPI) as well as all the levels and the admixtures of basic wavefunctions within d<SUP>3</SUP> electronic configuration, the values of all the parameters in the expressions of thermal shift (TS) and thermal broadening (TB) due to EPI for the ground level, R level and R line of MgO:Cr<SUP>3+</SUP> have microscopically been evaluated; and then, TS and TB of R line and various contributions to them have uniformly been calculated. The results are in very good agreement with the experimental data. It is found that all the three terms of TS due to EPI are red shifts; the Raman term is the largest one, and the optical-branch term and neighbor-level term are important for TS; the contribution to TS from thermal expansion is blue shift, which is also important. The R-line TS of MgO:Cr<SUP>3+</SUP> comes from the first-order term of EPI. The elastic Raman scattering of acoustic phonons plays a dominant role in R-line TB of MgO:Cr<SUP>3+</SUP>. For both TS and TB, it is very important to take into account all the admixtures of basic wavefunctions within d<SUP>3</SUP> electronic configuration. 展开更多
关键词 crystal fields optical properties thermal shift and broadening electron-phonon interaction thermal expansion
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Optical Fiber Instrument for Single-point Multi-parameter Measurement 被引量:1
16
作者 WANGYu-tian WANGXiao-dong 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2001年第4期221-224,共4页
A novel kind of optical fiber instrument for two channel measurement of temperature and displacement was developed. Four channel quartz fiber optics were employed to measure two channel signals of temperature and disp... A novel kind of optical fiber instrument for two channel measurement of temperature and displacement was developed. Four channel quartz fiber optics were employed to measure two channel signals of temperature and displacement simultaneously, and the operating efficiency of this instrument was greatly improved. 展开更多
关键词 Fiber optics TEMPERATURE DISPLACEMENT
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New Optical Triangulation and Digital Image Processing in Measurement
17
作者 ZHOU Jian ZHAO Hong +2 位作者 CHEN Wenyi TIAN Feng TAN Yushan(Xi’an Jiaotong University,Xi’an 710049 CHN) 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 1996年第2期103-107,共5页
In this paper,a new direct optical triangulation(DOT) for measuring theout-of-plane displacement is given.In order to state its principle,DOT is used to measure a micro-displacement of a rigid body,and at the same tim... In this paper,a new direct optical triangulation(DOT) for measuring theout-of-plane displacement is given.In order to state its principle,DOT is used to measure a micro-displacement of a rigid body,and at the same time,the method of digital image processing is also given. 展开更多
关键词 Optical Triangulation Displacement Measurement SENSOR Digital Image Processing
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关于验光镜片检定的探讨
18
作者 赵绍秀 《中国计量》 2002年第7期43-43,共1页
关键词 国家标准 光学中心位移 检测 配镜 验光镜片 检定
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驻马店市市售眼镜卫生质量监测
19
作者 李永华 谢秀璟 +2 位作者 刘开莲 赵芸华 吕晓峰 《河南预防医学杂志》 1996年第6期373-374,共2页
驻马店市市售眼镜卫生质量监测李永华,谢秀,刘开莲,赵芸华,吕晓峰目前,眼屈光不正的矫治仍以配眼镜为主要解决途径。眼镜质量,尤其是卫生质量的优劣与矫正效果及配戴者的身体健康有着极其重要的关系。为了解当地眼镜的卫生质量状... 驻马店市市售眼镜卫生质量监测李永华,谢秀,刘开莲,赵芸华,吕晓峰目前,眼屈光不正的矫治仍以配眼镜为主要解决途径。眼镜质量,尤其是卫生质量的优劣与矫正效果及配戴者的身体健康有着极其重要的关系。为了解当地眼镜的卫生质量状况,我所于1995年对驻马店市辖区... 展开更多
关键词 眼镜卫生 驻马店市 质量监测 光学中心位移 卫生质量 质量监督管理 驻马店地区 外观质量 检眼镜 质量状况
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基于光纤光栅传感与视频位移计技术的运营期铁路隧道结构安全监测
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作者 李俊 张鼎博 +3 位作者 张訢炜 张家瑞 姚瑞煦 范斌斌 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2023年第23期169-177,共9页
铁路已成为我国交通运输的大动脉,地理条件的多样性使得铁路隧道分布较多。针对铁路隧道的结构安全监测方式诸多,然而传统的监测方式均存在一定的局限性。基于当前研究热点——光学传感,将精度优良、经济可行性较高的光学视频位移计和... 铁路已成为我国交通运输的大动脉,地理条件的多样性使得铁路隧道分布较多。针对铁路隧道的结构安全监测方式诸多,然而传统的监测方式均存在一定的局限性。基于当前研究热点——光学传感,将精度优良、经济可行性较高的光学视频位移计和光纤布拉格光栅传感技术有机结合,应用于运营期铁路隧道的安全监测。通过分析静态、通车等情况下的监测数据,结合仿真模型,初步探讨光学传感应用于运营期铁路隧道监测的可行性,旨在为相关工程技术研究提供参考和借鉴。 展开更多
关键词 光学传感 光学视频位移 光纤光栅传感 隧道监测 仿真模型
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