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用于光学位移传感器的新型数字编码光栅尺的制作(英文) 被引量:1
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作者 王宇 陈火耀 +3 位作者 刘正坤 郑衍畅 洪义麟 付绍军 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期166-170,共5页
介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在(100)硅片上制作母光栅尺,并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料,将母光栅尺复制到硬基底上.实验表明,该工艺可重复性高,复制... 介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在(100)硅片上制作母光栅尺,并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料,将母光栅尺复制到硬基底上.实验表明,该工艺可重复性高,复制光栅尺的衍射效率高于母光栅尺的90%,并能承受航空环境-55℃~70℃的高低温冲击.光栅尺的制作准确度满足传感器的要求,信号响应准确率100%.该方法可对具有准确度高、图形复杂、工作环境恶劣等特点的微纳米结构的制作提供借鉴. 展开更多
关键词 光学位移传感器 编码光栅 复制技术 紫外光刻 全息光刻 光传操纵系统
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基于光学运动传感器的履带相扑机器人牵引控制系统研究
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作者 Dawid Woroch Pawel Stojaczyk +1 位作者 宋子由 危银涛 《机器人技术与应用》 2013年第6期27-29,共3页
本文介绍一种用于估计相扑机器人摔跤比赛场地表面摩擦极限的技术,并基于此开发了该移动式相扑机器人的牵引控制系统。该测量估计基于机器人的激光光学传感器。在比赛开始之前,机器人需要完成一系列半自动的测试,以确定在不同情形下用... 本文介绍一种用于估计相扑机器人摔跤比赛场地表面摩擦极限的技术,并基于此开发了该移动式相扑机器人的牵引控制系统。该测量估计基于机器人的激光光学传感器。在比赛开始之前,机器人需要完成一系列半自动的测试,以确定在不同情形下用最大的牵引力加速,从而达到以最高的动量撞击对手的目的。 展开更多
关键词 相扑机器人 牵引控制系统 光学位移传感器 位移测量
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心血管介入虚拟手术造影剂显影仿真 被引量:2
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作者 邓子龙 谢叻 +2 位作者 罗买生 蔡佳音 顾力栩 《中国数字医学》 2015年第2期29-31,共3页
心血管介入手术造影剂的使用对肾功能尤其对肾功能不全患者影响较大。在使用心血管介入手术模拟器进行手术培训过程中,造影剂剂量信号的检测是造影剂模拟的关键技术之一。将光学位移传感器用于造影剂注射剂量信号检测,并成功应用于心血... 心血管介入手术造影剂的使用对肾功能尤其对肾功能不全患者影响较大。在使用心血管介入手术模拟器进行手术培训过程中,造影剂剂量信号的检测是造影剂模拟的关键技术之一。将光学位移传感器用于造影剂注射剂量信号检测,并成功应用于心血管介入手术模拟器。通过Windows API提取光学位移传感器位移信息,并进行实验验证基于光学位移传感器的造影剂注射剂量信号检测的可行性。 展开更多
关键词 造影剂 光学位移传感器 心血管介入虚拟手术
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双针表面形貌测量系统的研究 被引量:1
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作者 卢圣凤 谢铁邦 +1 位作者 高咏生 李柱 《计量学报》 CSCD 北大核心 2002年第3期171-173,236,共4页
介绍一种新颖的双针表面形貌测量系统 ,它将光学位移传感器和触针位移传感器巧妙地结合在一起 ,从而具有接触和非接触两种测量手段。与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比 ,它的性能价格比更高 ,应用范围更广。该测量系统已投入实用 ,... 介绍一种新颖的双针表面形貌测量系统 ,它将光学位移传感器和触针位移传感器巧妙地结合在一起 ,从而具有接触和非接触两种测量手段。与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比 ,它的性能价格比更高 ,应用范围更广。该测量系统已投入实用 ,接触测量模式下其垂直测量范围和垂直分辨率分别是 1mm和 10nm ,非接触测量模式下分别是 5 0 0 μm和 3nm。实践证实 ,该系统使用灵活 。 展开更多
关键词 双针表面形貌测量系统 表面特征提取 光学位移传感器 触针位移传感器
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New Optical Triangulation and Digital Image Processing in Measurement
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作者 ZHOU Jian ZHAO Hong +2 位作者 CHEN Wenyi TIAN Feng TAN Yushan(Xi’an Jiaotong University,Xi’an 710049 CHN) 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 1996年第2期103-107,共5页
In this paper,a new direct optical triangulation(DOT) for measuring theout-of-plane displacement is given.In order to state its principle,DOT is used to measure a micro-displacement of a rigid body,and at the same tim... In this paper,a new direct optical triangulation(DOT) for measuring theout-of-plane displacement is given.In order to state its principle,DOT is used to measure a micro-displacement of a rigid body,and at the same time,the method of digital image processing is also given. 展开更多
关键词 Optical Triangulation Displacement Measurement SENSOR Digital Image Processing
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Fast Processing of Optical Fringe Movement in Displacement Sensors Without Using an ADC 被引量:1
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作者 Babar HUSSAIN Taj MUHAMMAD +4 位作者 Muhammad REHAN Haroon AMAN Muhammad ASLAM Masroor IKRAM M. Yasin Akhtar RAJA 《Photonic Sensors》 SCIE EI CAS 2013年第3期241-245,共5页
An interferometer based optical sensor for displacement measurement is reported. This method requires quite simple signal processing as well as least electronic components. Referring to this technique, two photodiodes... An interferometer based optical sensor for displacement measurement is reported. This method requires quite simple signal processing as well as least electronic components. Referring to this technique, two photodiodes spatially shifted by 90 degrees were used. The output of photodiodes was converted into rectangular signals which were extracted in LabVIEW using the data acquisition card without using an analog to digital converters (ADC). We have also processed the signals in C++ after acquiring via parallel port. A Michelson interferometer configuration was used to produce linear fringes for the detection of displacements. The displacement less than 100nm could be measured using this technique. 展开更多
关键词 Fast signal processing optical displacement sensor direction detection Michelson interferometer
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Fiber Cavity Ring-Down Using an Optical Time-Domain Reflectometer
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作者 D. J. PASSOS S. O. SILVA +2 位作者 J. R. A. FERNANDES M. B. MARQUES O. FRAZAO 《Photonic Sensors》 SCIE EI CAS 2014年第4期295-299,共5页
This work presented a demonstration of the potential for a fiber based cavity ring-down (CRD) using an optical time-domain reflectometer (OTDR). The OTDR was used to send the impulses down into about 20km of a sta... This work presented a demonstration of the potential for a fiber based cavity ring-down (CRD) using an optical time-domain reflectometer (OTDR). The OTDR was used to send the impulses down into about 20km of a standard single optical fiber, at the end of which the fiber cavity ring-down was placed. The OTDR measured no appreciable losses, so other CRDs multiplexed could be spliced in parallel along the same optical fiber. To demonstrate the behavior and sensitivity of the proposed configuration, a displacement sensor based on a fiber taper with a diameter of 50 μm was placed inside the fiber loop, and the induced losses were measured on the CRD signal -- a sensitivity of 11.8 + 0.5 μs/mm was achieved. The dynamic range of the sensing head used in this configuration was about 2 mm. Finally, this work was also compared with different works published in the literature. 展开更多
关键词 Optical fiber sensors cavity ring-down OTDR
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