多碱阴极光学信息监控原理研究

本文从光学信息监测和控制两方面阐述了多碱阴极光学信息监控原理。为了实现多碱阴极的成分控制，首先应精确测量多碱阴极的前反射率RF*，背反射率RV*和透过率T*；其次应由不同的n，k值求得多碱阴极的理论反射率RF，RV和透过率T，利用实测值用图解法求得阴极制备过程中的n*，k*和d*；最后，利用n*，k*，d*和RF*（d）与理论计算的n，k，d和RF（d）比较，通过控制蒸发源的蒸发速率使RF*（d）逼近RF（d）。