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目标软件迎接MEMS设计的挑战
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作者 于立亭 《光机电信息》 2002年第11期23-24,共2页
在开发各种光学微机电系统(MEMS)的竞争中,恰当选择专门为MEMS设计而开发的软件工具能极大地获益,如节省时间、扩大市场、降低开发费用和降低风险等.光学MEMS可用标准的计算机辅助机械设计(MCAD)方法或者用电子设计自动化(EDA)工具进行... 在开发各种光学微机电系统(MEMS)的竞争中,恰当选择专门为MEMS设计而开发的软件工具能极大地获益,如节省时间、扩大市场、降低开发费用和降低风险等.光学MEMS可用标准的计算机辅助机械设计(MCAD)方法或者用电子设计自动化(EDA)工具进行设计,但MEMS的特殊性,诸如多物理范畴、加工工艺和标定等对当今现有技术提出了严峻的挑战.所以,支持自顶向下设计的软件在快速、精确地MEMS开发中会起关键作用. 展开更多
关键词 光学微机系统 CAD EDA 设计方法
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外参数激励MOEMS扫描镜动力学过程与追踪控制 被引量:1
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作者 王肖伊 王琪 +1 位作者 李赟玺 杨亚非 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第9期135-141,共7页
随着MOEMS扫描镜的发展,其较高的谐振频率及IC兼容的低成本等优点在激光3D图像传感器中应用前景广阔,研究外参数激励MOEMS扫描镜动力学特性与控制问题具有重要的理论和应用价值。从欧拉方程出发,建立静电驱动MOEMS扭转动力学模型,利用四... 随着MOEMS扫描镜的发展,其较高的谐振频率及IC兼容的低成本等优点在激光3D图像传感器中应用前景广阔,研究外参数激励MOEMS扫描镜动力学特性与控制问题具有重要的理论和应用价值。从欧拉方程出发,建立静电驱动MOEMS扭转动力学模型,利用四阶Runge-Kutta算法仿真表明:在外参数指令信号激励下,MOEMS扫描镜扭转状态经历阻尼运动、周期、倍周期和混沌等动力学过程,其中周期运动存在着一个较大的参数控制范围。根据Lyapunov稳定性理论,设计了一种连续混沌系统追踪控制器,使受控的MOEMS扫描镜扭转状态收敛于任意期望的指令信号。实验表明,李萨如图指令信号适用于激光3D图像传感器;几何矢量指令信号适用于激光3D打印系统,理论分析与实验相一致。 展开更多
关键词 激光图像传感器 光学微机系统 振动分析 机器人和机器控制
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一种低成本光通信用MEMS可变光衰减器
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作者 李海军 杨拥军 +3 位作者 王建军 徐永青 郑七龙 陈维友 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1731-1734,共4页
介绍了一种采用新型体硅微机械加工工艺研制的低成本光通信用微机械可变光衰减器.根据光通信系统对可变光衰减器的插入损耗低、动态衰减范围大、响应时间短等技术要求,对器件的机械模型结构和光耦合模型结构进行了分析.测试表明器件的... 介绍了一种采用新型体硅微机械加工工艺研制的低成本光通信用微机械可变光衰减器.根据光通信系统对可变光衰减器的插入损耗低、动态衰减范围大、响应时间短等技术要求,对器件的机械模型结构和光耦合模型结构进行了分析.测试表明器件的动态衰减范围≥50dB,插入损耗≤0.8dB,回波损耗≤-45dB,波长相关损耗≤0.2dB,偏振相关损耗≤0.25dB,响应时间<1ms. 展开更多
关键词 微机 光学微机系统 可变光衰减器 波分复用
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MEMS Test System Based on Virtual Instrument Technology
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作者 胡晓东 栗大超 +2 位作者 郭彤 胡春光 胡小唐 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 2007年第2期88-92,共5页
On account of the multiformity of MEMS devices, it is necessary to integrate with some optical measurement techniques for meeting static and dynamic unit test requirements. In this paper, an automated MEMS test system... On account of the multiformity of MEMS devices, it is necessary to integrate with some optical measurement techniques for meeting static and dynamic unit test requirements. In this paper, an automated MEMS test system is built of some commercially available components and instruments based on virtual instrument technology. The system is integrated with stroboscopic imaging, computer micro-vision, microscopic Mirau phase shifting interferometry, and laser Doppler vibrometer, and is used for the measurement of full-view in-plane and out-of-plane geometric parameters and periodical motions and single spot out-of-plane transient motion. The system configuration and measurement methods are analyzed, and some applications of the measurement of in-plane and out-of-plane dimensions and motions were described. The measurement accuracy of in-plane dimensions and out-of-plane dimensional is better than 0.2 um and 5 nm respectively. The resolution of measuring in-plane and out-of-plane motions is better than 15 nm and 2 nm respectively. 展开更多
关键词 MEMS optical measurement technique stroboscopic imaging virtual instrument dynamic test
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