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误差均化的拼接技术 被引量:9
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作者 李国培 于瀛洁 陈明仪 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第6期561-564,共4页
利用相关拼接技术实现光学波面检测 ,可以用较小的测量口径实现较大面积的测量 ,并保持高的测量精度、高的空间分辨率和系统的低成本。获得高精度的子孔径波面分布和有效的拼接方法是这一技术的关键。最简单的两两拼接的方法由于在拼接... 利用相关拼接技术实现光学波面检测 ,可以用较小的测量口径实现较大面积的测量 ,并保持高的测量精度、高的空间分辨率和系统的低成本。获得高精度的子孔径波面分布和有效的拼接方法是这一技术的关键。最简单的两两拼接的方法由于在拼接过程中存在误差积累 ,对全孔径拼接精度有很大的影响。采用误差均化的拼接方法 ,要求所有拼接区中相差值的平方和同时达到最小。从本质上看 ,这是一种并行算法。给出了在平面直角坐标系下误差均化拼接的数学模型和求解方法 ,进行了计算机仿真。 展开更多
关键词 光学波面检测 拼接技术 误差均化
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拼接干涉测量技术 被引量:1
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作者 于瀛洁 李国培 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期608-612,共5页
利用相关拼接技术实现光学波面检测 ,可以用较小的测量口径实现较大面积的测量 ,并保持高的测量精度、高的空间分辨率和系统的低成本。获得高精度的子孔径波面分布和有效的拼接方法是这一技术的关键。简述了采用相移技术测量子孔径波面... 利用相关拼接技术实现光学波面检测 ,可以用较小的测量口径实现较大面积的测量 ,并保持高的测量精度、高的空间分辨率和系统的低成本。获得高精度的子孔径波面分布和有效的拼接方法是这一技术的关键。简述了采用相移技术测量子孔径波面的关键技术。两个子孔径之间的拼接是比较容易的 ,但采用两两拼接的方法会有很大的误差累积。因此采用了具有误差均化作用的拼接方法 ,该方法本质上是一种并行的方法。文中简述了该拼接方法的数学模型和求解方法。 展开更多
关键词 光学波面检测 子孔径测量技术 相关拼接技术 空间分辨率 干涉仪
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