双光学灵敏杠杆法内径尺寸测量原理的研究

针对高效便捷精确测量内径尺寸的问题,该文提出双光杠杆法测量内径尺寸原理,采用两块反射镜形成双光学灵敏杠杆的方法,通过CCD相机采集移动的衍射光斑图像,实现将测头的移动转换为CCD相机上光斑的移动,从而测得内径尺寸。结合反射定律,通过解析几何的办法建立双光学灵敏杠杆法测量内径尺寸的数学模型,并计算两反射镜小角度旋转的21×21种组合情况下内径尺寸的计算结果。根据所建立模型计算设计测头A、测头B分辨力为0.1μm,可较好地满足微米级的测量需求。该原理性研究为双光杆法内径尺寸测量装置的研制提供理论基础。

巧妙使用万工显附件——光学灵敏杠杆

万能工具显微镜是被广泛使用的光学计量仪器。我厂利用自制的灵敏杠杆测头解决了万工显上影像法和轴切法难以测量的零件,保证了加工质量。现举例如下。

光学灵敏杠杆法测量工件同轴度

同轴度(同心度)测量是工件检测中的常见位置参数,而某些特殊工件的同轴度利用常规方法却无法检测。本文对特殊工件的同轴度检测提供了一种新的方法,并建立了相应的数学模型。利用光学灵敏杠杆深入普通探针无法探测的间隙,测出两圆柱位置,通过数学模型计算出同轴度,经实验比较,该检测方法准确、可靠。

步距规的校准方法

介绍几种步距规的校准方法。其中利用一台60年代进口的Leitz万能测量机(UMM)与激光干涉仪结合对步距规进行校准,其测量不确定度可达U=(0.3+1×10-6l)μm,k=2,对我国一些计量技术机构实验室充分拓展现有设备功能提出一个新的思路。

万能测量机校准步距规示值的测量不确定度分析

用60年代德国产的Leitz万能测量机(UMM)与激光干涉仪组合成激光长度测量系统对步距规进行校准,分析其不确定度的来源,并进行评定。

环规内径的测量及不确定度的评定

本文介绍在万能工具显微镜上用光学灵敏杠杆测量圆柱环规内径的方法,并对该测量方法的不确定度进行分析评定。

环规内径尺寸的不确定度评定

圆柱环规是极限量规的一种，用于控制工件极限尺寸的定值量具。高精度的圆柱环规是校准内径千分尺，内径量表等测量内尺寸量具的标准。万能工具显微镜是一种多用途的两坐标光学机械式测量仪器，它的测量范围较大，坐标定位精度较高，在万能工具显微镜上用光学灵敏杠杆测量圆柱环规内径，由于其瞄准、定位精度较高，且操作比较方便，因此是常用的测量方法之一。此种方法属于接触法绝对测量。

用万能工具显微镜测量环规内径尺寸的方法

本文介绍了用万能工具显微镜测量环规内径尺寸的测量原理、测量方法以及测量时的注意事项。

弧形工件的测量

介绍一种采用万能工具显微镜附件-光学灵敏杠杆测量弧形工件的方法,并对此方法进行了不确定度评定。实验证明,此方法切实可行。此方法操作简单,不仅解决了特殊工件的测量,还可推广应用到其他测量中。