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光学镀膜宽带膜厚监控系统 被引量:21
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作者 刘晓元 黄云 +1 位作者 周宁平 龙兴武 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期23-27,共5页
针对过去的宽带膜厚监控法必须依赖镀制前设定的目标透射率 (反射率 )的固有缺陷 ,提出了在蒸镀过程中及时拟合出所镀层的膜厚、色散系数 (折射率 )等参数 ,并据此不断修正目标透射率 (反射率 )的设想 ,从而从根本上克服过去的宽带膜厚... 针对过去的宽带膜厚监控法必须依赖镀制前设定的目标透射率 (反射率 )的固有缺陷 ,提出了在蒸镀过程中及时拟合出所镀层的膜厚、色散系数 (折射率 )等参数 ,并据此不断修正目标透射率 (反射率 )的设想 ,从而从根本上克服过去的宽带膜厚监控法的固有缺陷。建立了基于修正膜层目标光谱特性的宽带膜厚监控系统 ,阐述了它的结构和工作原理。进行了稳定性实验及一系列镀膜监控实验 ,实验结果表明 ,该系统透射率的重复测量精度优于 2‰ ,膜厚监控精度较高 ,重复性好 ,各层的终点膜厚判定精度优于 1 %。 展开更多
关键词 光学薄膜 镀膜 膜厚监测 宽带膜厚监控系统
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薄膜滤光片淀积过程实时光学监控系统 被引量:2
2
作者 林宇翔 章岳光 +1 位作者 顾培夫 唐晋发 《光学仪器》 2004年第2期105-108,共4页
介绍了一种薄膜制造实时光学监控系统,对监控系统的组成及各个模块的功能和工作原理进行分析。系统由计算机对信号进行采集、分析和判断,根据膜层的不同特点采取相应的监控方式,可以对各种规整和非规整膜系进行监控,自动开闭蒸发源挡板。
关键词 薄膜滤光片 淀积 光学监控 实时监控系统 光学薄膜 膜厚控制
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光学薄膜制作过程自动监控系统的研究 被引量:3
3
作者 张会林 《红外》 CAS 2001年第10期11-16,共6页
1研究背景和意义 随着现代科学技术的飞速发展,光学薄膜器件得到了越来越广泛的应用,从人造卫星到现在的光纤通信,其中都有起着重要作用的光学薄膜器件.同时,随着用户要求的提高,对光学薄膜制作精度的要求也越来越高.而光学薄膜的制作... 1研究背景和意义 随着现代科学技术的飞速发展,光学薄膜器件得到了越来越广泛的应用,从人造卫星到现在的光纤通信,其中都有起着重要作用的光学薄膜器件.同时,随着用户要求的提高,对光学薄膜制作精度的要求也越来越高.而光学薄膜的制作是一个涉及到许多学科的复杂过程,受到不同材料、不同工艺以及一些突发因素的影响.以往的镀膜工作在很大的程度上是凭经验来进行的.因此,如何通过对其中的一些主要因素的自动控制来提高薄膜制作的效率,减轻镀膜工作者的劳动强度,提高光学器件的光谱性能,一直是光学薄膜制作过程中的焦点问题.利用计算机技术来自动监控光学薄膜器件的制作过程,可以大大提高光学薄膜器件制作的重复性和制作精度.因此,开展红外光学薄膜过程的自动监控系统的研究是项非常有意义的工作. 展开更多
关键词 光学薄膜 制作过程 自动监控系统 发展趋势 计算机 镀膜
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用于建筑工程安全监控的红外热像仪光学系统设计 被引量:1
4
作者 王玮超 《红外》 CAS 2020年第10期37-43,共7页
由于我国幅员辽阔,不同地域的环境温度差别巨大。为满足建筑工程安全监控用红外热像仪的环境适应性要求,采用了折射/衍射混合光学被动无热化设计方式。通过对不同红外光学材料透镜的光焦度进行合理分配,设计了一种能够在-55~70℃范围内... 由于我国幅员辽阔,不同地域的环境温度差别巨大。为满足建筑工程安全监控用红外热像仪的环境适应性要求,采用了折射/衍射混合光学被动无热化设计方式。通过对不同红外光学材料透镜的光焦度进行合理分配,设计了一种能够在-55~70℃范围内工作、视场为24.1°×19.4°的小型化非制冷红外成像光学系统。该系统的工作波段为8~12μm,F数为1.0。设计结果表明,系统结构简单、体积小且成像良好,在空间频率42 1p/mm处的光学调制传递函数(Modulation Transfer Function, MTF)值大于0.3,可以满足应用需求。 展开更多
关键词 建筑工程 监控 红外热像仪 光学系统
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用以健康监控的微型光学传感系统
5
作者 孙震宏 《生命科学仪器》 2009年第5期47-51,共5页
家庭健康监控是现代医疗的一个新兴领域,其目的主要在于监控老年人的机体功能,改善老年人的日常生活质量。一套完整的健康监控系统可以粗略地包括传感器、信号处理单元和通讯单元等功能模块。由于兼具灵敏和便于微型化的特点,光学传感... 家庭健康监控是现代医疗的一个新兴领域,其目的主要在于监控老年人的机体功能,改善老年人的日常生活质量。一套完整的健康监控系统可以粗略地包括传感器、信号处理单元和通讯单元等功能模块。由于兼具灵敏和便于微型化的特点,光学传感系统逐渐成为研发的焦点,本文中我们将重点讨论两类光学传感系统:(a)以脉搏血氧计为代表的非侵入式光学传感系统;(b)以微型谐振器为例的用于体液检测的光学传感系统。这两个研究领域的目标都是希望能利用现有的半导体和集成化领域的工程技术来实现微型化、便携式、低成本的传感系统。 展开更多
关键词 健康监控系统 光学传感系统 脉搏血氧计 微型谐振器 硅CMOS工艺 波导
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用光学系统监控薄膜应力
6
作者 高国龙 《红外》 CAS 1999年第9期43-43,共1页
在淀积薄膜时测量其应力,对于获取当今高性能器件所要求的光学、电子和机械特性是很重要的。控制应力的程度可能是个难题,然而制备过程的任何阶段都可能发生不理想的应力变化,这种应力变化却会导致性能降低、互连失灵以及薄膜脱层。
关键词 光学系统 薄膜应力 监控
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生物体光学监控系统的开发
7
作者 田代英夫 江涛 《红外》 CAS 2000年第11期26-33,共8页
1 前言 二十一世纪的医疗要求能做到以下两点:减轻患者对疾病的担忧和痛苦的所谓个人负担;把药剂等引起的环境污染控制到最小限度的所谓社会负担。认为光技术是达到这个目标的极有效手段。因为光可以毫无痛苦地传送到生物体中。
关键词 生物体 光学监控系统 光诊断
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基于以太网的光学玻璃池炉 熔炼生产线温度监控系统
8
作者 李文龙 《自动化信息》 2005年第9期56-58,共3页
本文介绍了以太网通信技术在圯学玻璃池炉熔炼生产线上进行工艺参数采集和监控的可行性,以及在公司池炉熔炼生产线的具体应用。
关键词 以太网 温度 监控 温度监控系统 玻璃池炉 生产线 熔炼 光学 参数采集 通信技术
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双相正交数字相敏检波方案在光学监控中的应用与仿真 被引量:1
9
作者 赵汝进 马孜 +1 位作者 姚远程 何长涛 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期232-235,共4页
提出了采用双相正交数字相敏检波(DPSD)方案设计数字锁相放大器(DLIA)代替传统模拟锁相放大器,并应用到了真空镀膜光学监控系统(OMS)中。针对信噪比(SNRI)和相位延时对方案进行了仿真分析。结果证实了双相正交PSD方案的可行性。由于在... 提出了采用双相正交数字相敏检波(DPSD)方案设计数字锁相放大器(DLIA)代替传统模拟锁相放大器,并应用到了真空镀膜光学监控系统(OMS)中。针对信噪比(SNRI)和相位延时对方案进行了仿真分析。结果证实了双相正交PSD方案的可行性。由于在输入信号采样频率一定时,OMS精度和实时性之间存在矛盾关系,所以应尽量提高输入信号采样频率以获得高的SNRI。在DLIA中采用低阶滤波器和较高截止频率还可以减轻输出波形过冲效应的影响。 展开更多
关键词 薄膜光学 数字锁相放大(DLIA) 光学监控系统(oms) 相敏检波(PSD)
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三值光计算机监控系统的内外存交互机制 被引量:1
10
作者 宋凯 严丽平 《计算机工程与设计》 北大核心 2015年第12期3418-3423,共6页
提出一种三值光计算机专用的文件格式TOC文件,建立三值光学计算机端,进行有限内存和海量外存间交换TOC文件内容的技术。描述TOC文件的相关操作方法,介绍三值光计算机监控系统的内存储器管理机制和TOC文件中的操作数调入内存的策略。该... 提出一种三值光计算机专用的文件格式TOC文件,建立三值光学计算机端,进行有限内存和海量外存间交换TOC文件内容的技术。描述TOC文件的相关操作方法,介绍三值光计算机监控系统的内存储器管理机制和TOC文件中的操作数调入内存的策略。该技术可有效解决三值光计算机融入高性能计算时出现的大量数据和有限内存之间的矛盾。内外存交互机制的实验验证了该方案正确、可行且有效。 展开更多
关键词 三值光学计算机 监控系统 运算请求 TOC文件 内外存交互
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结构光法在液位监控系统中的应用
11
作者 党开放 孔兵 +1 位作者 周瑞祥 林廷圻 《自动化仪表》 CAS 北大核心 2002年第10期10-13,共4页
针对超声液面检测技术中存在的问题介绍了激光结构光法的测量原理、计算公式和应用特点。结合应用实例具体叙述了液面监控和自动调节系统的结构、组成部分 ,系统工作原理 ,液位计算方法和阀门开闭控制 。
关键词 结构光法 液位监控系统 光学测量 化工生产
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四光束镀膜监控系统
12
作者 许世军 任小玲 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1031-1036,共6页
针对通用镀膜仪膜厚监控的稳定性、精度和自动化程度不高的状况,研究了一套新的光电控制分析系统。设计了基于双频调制的四光束光电测试系统,采用双锁相电路和复合滤波的综合数字处理系统进行膜厚监控信号处理,并通过控制分析系统实现... 针对通用镀膜仪膜厚监控的稳定性、精度和自动化程度不高的状况,研究了一套新的光电控制分析系统。设计了基于双频调制的四光束光电测试系统,采用双锁相电路和复合滤波的综合数字处理系统进行膜厚监控信号处理,并通过控制分析系统实现自动监控。测试结果经方差分析后表明:反映膜厚控制重复性的膜厚标准偏差<0.55%;信噪比达到1 000;数码显示值的线性度非常高,反射率的数码显示分辨极限为0.02%;系统静态漂移的线性程度很高,漂移率<1.95%/h,静态稳定性优于通用系统2倍。提出的系统极大地提高了光学薄膜厚度监控系统的静态、动态稳定性、信噪比以及膜厚控制精度。 展开更多
关键词 薄膜光学 膜厚监控系统 四光束 双锁相电路 复合滤波 稳定性 精度
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基于自适应卡尔曼滤波的光学监控信号处理
13
作者 赵汝进 马孜 +1 位作者 姚远程 何长涛 《光学仪器》 2006年第4期83-87,共5页
针对光学监控系统(OM S)实际工作环境的复杂性,导致监控信号中存在不稳定量测噪声,采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波(AKF)对光学膜厚监控信号进行去噪处理。建立了针对非线性OM S的AKF模型,仿真分析中针对存在突变信噪比(SNR)的输入... 针对光学监控系统(OM S)实际工作环境的复杂性,导致监控信号中存在不稳定量测噪声,采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波(AKF)对光学膜厚监控信号进行去噪处理。建立了针对非线性OM S的AKF模型,仿真分析中针对存在突变信噪比(SNR)的输入信号设置相应AKF初始参数使滤波性能达到最优。结果表明自AKF输出监控信号精度明显优于常规卡尔曼滤波;同时利用AKF输出监控信号判读反射率极值点对应膜厚,最终理论膜厚监控误差<2nm。 展开更多
关键词 薄膜 自适应卡尔曼滤波(AKF) 光学监控系统 信噪比
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镀膜监控系统性能的分析
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作者 黄钉劲 黄献松 +1 位作者 弥谦 韩军 《西安工业学院学报》 2003年第3期228-233,共6页
 介绍了一种用光电技术及数据采集技术对国产镀膜设备进行数字化改造的系统,阐述了其前端信号调理电路、数据采集卡的工作方式,信号处理及频谱分析的程序.对该系统所作大量的实验证明了新系统大大提高了设备对膜层厚度的控制精度.
关键词 监控系统 数据采集 光学薄膜 镀制厚度 接口电路 A/D转换器 系统结构 软件设计
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基于光学体表监控和X射线透视影像的膈肌运动自动跟踪 被引量:2
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作者 谭翔 戴振晖 +6 位作者 何强 张白霖 朱琳 蔡春雅 杨耕 简婉薇 王学涛 《中国医学物理学杂志》 CSCD 2022年第12期1453-1459,共7页
目的:基于直线加速器的光学体表监控系统和X射线透视影像利用人工智能构建膈肌顶点运动的自动跟踪模型。方法:同步采集7例肝肿瘤患者胸腹部的光学体表运动信息和千伏级X射线透视影像,选取其中3例患者数据利用主成分分析与偏最小二乘回... 目的:基于直线加速器的光学体表监控系统和X射线透视影像利用人工智能构建膈肌顶点运动的自动跟踪模型。方法:同步采集7例肝肿瘤患者胸腹部的光学体表运动信息和千伏级X射线透视影像,选取其中3例患者数据利用主成分分析与偏最小二乘回归结合的方法计算不同体表感兴趣区域与膈肌运动的相关系数,选择相关系数最大的体表感兴趣区域作为光学体表监控区。首先,使用全卷积网络模型自动识别透视图像中膈肌顶点的位置;再利用随机森林方法建立体表与膈肌顶点运动的关联模型,基于体表运动信息实时预测膈肌顶点运动轨迹;最后,把自动跟踪的膈肌顶点位置与放疗医生手动勾画位置进行对比,以评估模型精度。结果:3例患者的体表感兴趣区域与膈肌运动的平均相关系数在前后(AP)方向最高达到(0.73±0.01)mm,上下(SI)方向最高达到(0.88±0.01)mm。自动跟踪模型预测结果与手动勾画位置的平均绝对误差和均方根误差SI方向分别为(3.09±0.79)mm和(3.89±0.89)mm,AP方向分别为(1.42±0.43)mm和(1.78±0.46)mm。结论:体表呼吸运动与体内膈肌运动是相关的,在放疗过程中基于光学体表运动信息可以实时跟踪体内膈肌顶点运动,该技术可用于胸腹部肿瘤放疗期间膈肌附近肿瘤的实时及无创运动管理。 展开更多
关键词 膈肌跟踪 人工智能 光学体表监控系统 透视影像
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光学精密镀膜和干蚀刻工艺监控技术新进展
16
作者 Dr.Simon E +1 位作者 Hicks(供稿) 付小会(整理) 《应用光学》 CAS CSCD 2006年第4期297-297,共1页
关键词 监控技术 蚀刻工艺 镀膜 光学 工艺监控 监控系统 公司 腐蚀
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用001摄像头DIY个人监控系统
17
作者 周琦琦 《电子世界》 2004年第5期12-12,14,共2页
关键词 摄像头 个人监控系统 光学镜头 硬盘监控录像 001集团
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京晨科技的NVRmini监控系统现具有ImmerVisionEnables360°功能
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《卫视传媒》 2010年第12期12-12,共1页
2010年6月3日,360°全景镜头的发明者兼三维光学技术的全球专家ImmerVision今天宣布,CCTV与网络视频监控解决方案的全球领先供应商之一京晨科技股份有限公司(NUU0Inc)的NASNVRmini监控系统已经获得ImmerVisionEnables认证。
关键词 监控系统 科技 功能 网络视频监控 光学技术 CCTV 发明者 供应商
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光学镜头类专利申请审查和申请
19
作者 毛文峰 《中国科技信息》 2023年第4期11-15,共5页
近年来,光学镜头(或光学系统),特别是小型化的光学镜头,得到了飞速发展,单单电子消费品领域的智能手机,对光学镜头的需求量就成几何倍数的增长,智能手机不仅需要具备前置和后置两个摄像头,其后置摄像头也从原来的单一镜头,向双摄、三摄... 近年来,光学镜头(或光学系统),特别是小型化的光学镜头,得到了飞速发展,单单电子消费品领域的智能手机,对光学镜头的需求量就成几何倍数的增长,智能手机不仅需要具备前置和后置两个摄像头,其后置摄像头也从原来的单一镜头,向双摄、三摄甚至更多摄像头转变。更不用说近年来逐渐普及的车载影像,从单一的行车记录仪和倒车影像,向全车360°监控发展。另外,监控摄像头也从原来商业化的监控应用,走进千家万户。这一系列的变化,都促使光学镜头类的专利申请量呈几何级数的增长。 展开更多
关键词 光学镜头 多摄像头 监控摄像头 行车记录仪 智能手机 电子消费品 专利申请 光学系统
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光纤通信系统用减反膜的研究 被引量:5
20
作者 张晓晖 丁双红 《海军工程大学学报》 CAS 2003年第3期23-26,共4页
针对WDM光纤通信系统对具有极高透过率的光学薄膜元件的需要,系统地研究了增透膜的设计与镀制.采用统计实验求总极值法和Powell最小二乘法相结合的多级优化方法编制程序,完成了以BK7玻璃为基底的增透膜的膜系设计,采用多种监控方法完成... 针对WDM光纤通信系统对具有极高透过率的光学薄膜元件的需要,系统地研究了增透膜的设计与镀制.采用统计实验求总极值法和Powell最小二乘法相结合的多级优化方法编制程序,完成了以BK7玻璃为基底的增透膜的膜系设计,采用多种监控方法完成了此类非规整膜系的镀制实验.测试结果表明,采用变过正量极值法监控非规整膜系的镀制,可精确控制各层膜的光学厚度,获得在1550nm波段附近具有很高透过率的光学薄膜元件. 展开更多
关键词 光纤通信系统 减反膜 光学薄膜元件 非规整膜系设计 透过率 镀制方法 晶振监控 极值法监控 二氧化硅
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