用于光学纳米干涉仪温度控制的多路控温仪

温度变化是影响纳米干涉仪的一个重要的因素。介绍了一种精密的温度控制仪器 ,它以DS162 4为温度传感器 ,利用单片机AT89C5 2进行数据的采集、传送、温度的控制 ,利用数字式电位器实现低成本的模拟量控制方案。标定后可以实现 0 .0 5℃测量精度。这种温度控制仪具有RS2 3 2通用接口 ,能够与上位计算机相连 ,实现温度的长时间测量和远程温度控制 ,利用PC机的计算能力得出被控系统的模型参数。实验表明在 0 .5h内 ,干涉仪达到热平衡 ,温度变化小于 0 .0 5℃。