基于DSP平台判定光学膜厚监控信号极值

针对光学监控系统(OMS)实际工作中面临监控信号含有噪声分量过大;极值点附近信号不够灵敏两大困难。本文采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波(AKF)对光学膜厚监控信号进行去噪处理;并采用基于电压补偿和设置差分微小阈值δ的极值点判定方法。最后通过DSP开发平台实现上述算法。实验结果表明AKF输出监控信号噪声被明显抑制;最终本文方案判定极值点平均膜厚监控相对误差仅为1.07%。

光学膜厚监控技术

影响光学薄膜器件特性的众多因素中,膜层的折射率和光学厚度是两个最重要的因素。尤其对正在淀积的膜层的折射率精确测量极为困难,膜厚监控便成为了薄膜制备成败的关键。文章介绍了几种典型膜厚监控方法基本工作原理和最新进展。

高精度数字式光学膜厚监控系统

通过对光学膜厚监控系统中光路部分、电路部分以及信号处理部分的噪声分析,设计出频率稳定性良好的斩光器、低噪声光接收电路和具有较强抗噪声性能的数字式锁相放大器,从而显著地提高了系统的精度和稳定性,为提高镀膜成功率和薄膜性能创造了有利的条件。将该系统应用于镀膜系统中,实验结果证实了该系统具有较高的精度和稳定性。

HOM系列高精度光学膜厚监控系统的研制

叙述了新研制的适用于 DWDM窄带滤光片成膜控制的高精度光学膜厚监控系统。该系统在光谱带宽 0 .1 nm条件下 ,暗噪声小于± 0 .0 0 5 % ,性能优于目前的报道。使用它已成功地实现了 1 0 0 GHz,5 0 GHz DWDM窄带滤光片全自动成膜监腔。由其派生出的HOM系列的其他类型光学膜厚监控系统 。

DW DM窄带滤光片用高精度光学膜厚仪

随着信息技术的发展对高密度波分复用（ＤＷＤＭ）滤光片的需要越来越大。而高精度高性能的光学薄膜膜厚监控系统是制备ＤＷＤＭ 滤光片的关键。文中论述了所建立的制备用于１００ＧＨｚ～５０ＧＨｚ ＤＷＤＭ 滤光片的高精度高性能的光学薄膜膜厚监控系统。该系统的波长分辨力为０．１ｎｍ ，重复性精度为±０．０５ｎｍ 。信噪比与温度漂移特性分别为±０．０１％ 和０．０５％ ／ｈ。还论述了该系统的实际实验结果。

激光用高质量减反射膜的制备

激光用减反射膜要求镀膜后的基片可以在激光的输出波长处剩余反射率低于0.1%,从这一要求出发,优化设计了两种不同的膜系,并根据膜系的需求采用了两种不同的监控方法,结果发现,使用光学膜厚控制膜层厚度的精度高,误差小,可以在一定程度上提高成品率.使用光学膜厚控制手段成功地制备出用于激光系统的单点632.8nm处剩余反射率低于0.05%,表面形貌均匀且无较大起伏的优质减反射膜.