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面向制造的光学面形超精密测量技术研究进展
被引量:
5
1
作者
陈善勇
薛帅
+2 位作者
熊玉朋
彭小强
戴一帆
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2023年第3期167-180,共14页
超精密测量是光学制造的前提。高精度的光学面形测量仍然遵循零位检验原则,计算机生成全息图(CGH)是自由曲面等复杂面形零位检验所必需的补偿器。为此,面向制造过程,重点论述CGH补偿检验原理及其衍射级次的鬼像干扰、投影畸变校正、测...
超精密测量是光学制造的前提。高精度的光学面形测量仍然遵循零位检验原则,计算机生成全息图(CGH)是自由曲面等复杂面形零位检验所必需的补偿器。为此,面向制造过程,重点论述CGH补偿检验原理及其衍射级次的鬼像干扰、投影畸变校正、测量不确定度与绝对检验问题,探讨CGH补偿检验的局限与应对方法。针对制造过程中产生的动态演变局部大误差的测量难题,论述子孔径拼接测量、自适应补偿干涉测量方法,探讨加工原位干涉测量进展。最后,从超高精度测量与溯源、混合光学零件的宏微跨尺度测量、自主可控面形测量仪器及其原位集成三个方面对光学面形测量技术发展进行展望。
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关键词
测量
超精密测量
零位检验
光学面形计量
光学
自由曲
面
计算机生成全息图
原文传递
题名
面向制造的光学面形超精密测量技术研究进展
被引量:
5
1
作者
陈善勇
薛帅
熊玉朋
彭小强
戴一帆
机构
国防科技大学智能科学学院装备综合保障技术重点实验室
超精密加工技术湖南省重点实验室
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2023年第3期167-180,共14页
基金
国家自然科学基金(51975578,51991371)。
文摘
超精密测量是光学制造的前提。高精度的光学面形测量仍然遵循零位检验原则,计算机生成全息图(CGH)是自由曲面等复杂面形零位检验所必需的补偿器。为此,面向制造过程,重点论述CGH补偿检验原理及其衍射级次的鬼像干扰、投影畸变校正、测量不确定度与绝对检验问题,探讨CGH补偿检验的局限与应对方法。针对制造过程中产生的动态演变局部大误差的测量难题,论述子孔径拼接测量、自适应补偿干涉测量方法,探讨加工原位干涉测量进展。最后,从超高精度测量与溯源、混合光学零件的宏微跨尺度测量、自主可控面形测量仪器及其原位集成三个方面对光学面形测量技术发展进行展望。
关键词
测量
超精密测量
零位检验
光学面形计量
光学
自由曲
面
计算机生成全息图
Keywords
measurement
ultraprecision measurement
null test
optical surface metrology
freeform optical surfaces
computer generated hologram
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
面向制造的光学面形超精密测量技术研究进展
陈善勇
薛帅
熊玉朋
彭小强
戴一帆
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2023
5
原文传递
已选择
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参考文献
引证文献
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