晶片传输系统中切边探测和预对准技术

介绍投影光刻机设备的晶片传输系统中切边探测和晶片预对准技术。

OSID火灾探测新型技术及其在城市轨道交通中的应用

分析城市轨道交通行业的高大开放空间火灾探测的现状,指出传统火灾探测器的不足,详细阐述高大开放空间成像探测器(OSID)的工作原理和关键技术。OSID采用双波粒子检测、感光元件光学成像、预对准光学成像等多项先进技术,而且支持多发射器-单接收器。将OSID与线型光束感烟火灾探测器和吸气式感烟火灾探测器进行对比,指出OSID的主要优缺点。给出OSID在民用领域和城市轨道交通领域的典型应用,OSID可为城市轨道交通领域的火灾探测提供参考。