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基于飞秒激光时空聚焦技术的三维微纳加工
被引量:
9
1
作者
井晨睿
王朝晖
程亚
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2017年第4期63-75,共13页
介绍飞秒激光时空聚焦技术的基本原理,回顾了该技术在改善飞秒激光加工的分辨率、抑制加工过程中的非线性效应以及提高材料加工质量等方面的应用。重点讨论了脉冲前沿倾斜(PFT)、光强平面倾斜等时空聚焦飞秒激光脉冲的独特光场特性及其...
介绍飞秒激光时空聚焦技术的基本原理,回顾了该技术在改善飞秒激光加工的分辨率、抑制加工过程中的非线性效应以及提高材料加工质量等方面的应用。重点讨论了脉冲前沿倾斜(PFT)、光强平面倾斜等时空聚焦飞秒激光脉冲的独特光场特性及其对材料加工产生的影响。介绍了时空聚焦技术在强场物理领域中的应用,并对该技术的适用范围进行了讨论。最后对该技术的特点和应用进行总结,并指明了未来的研究方向。
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关键词
激
光
光
学
三维微纳加工
时空聚焦技术
加工分辨率
脉冲前沿
倾斜
光强平面倾斜
非互逆直写
非线性
光
电离
原文传递
题名
基于飞秒激光时空聚焦技术的三维微纳加工
被引量:
9
1
作者
井晨睿
王朝晖
程亚
机构
洛阳师范学院物理与电子信息学院
中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室
中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2017年第4期63-75,共13页
基金
国家自然科学基金(11304330)
河南省高等学校重点科研项目(17A140023)
洛阳师范学院国家级培育基金(2015-PYJJ-001)
文摘
介绍飞秒激光时空聚焦技术的基本原理,回顾了该技术在改善飞秒激光加工的分辨率、抑制加工过程中的非线性效应以及提高材料加工质量等方面的应用。重点讨论了脉冲前沿倾斜(PFT)、光强平面倾斜等时空聚焦飞秒激光脉冲的独特光场特性及其对材料加工产生的影响。介绍了时空聚焦技术在强场物理领域中的应用,并对该技术的适用范围进行了讨论。最后对该技术的特点和应用进行总结,并指明了未来的研究方向。
关键词
激
光
光
学
三维微纳加工
时空聚焦技术
加工分辨率
脉冲前沿
倾斜
光强平面倾斜
非互逆直写
非线性
光
电离
Keywords
laser optics
three-dimensional micro- and nano-machining
spatiotemporal focusing technique
fabrication resolution
pulse front tilt
intensity plane tilt
non-reciprocal writing
nonlinear photo ionization
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于飞秒激光时空聚焦技术的三维微纳加工
井晨睿
王朝晖
程亚
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2017
9
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