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微透镜阵列制作技术研究
被引量:
4
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作者
甘代伟
《装备制造技术》
2011年第9期44-45,49,共3页
详细介绍了光刻胶热熔法、光敏玻璃热成型法、离子交换法、飞秒激光酸刻蚀法等4种比较实用的制作微透镜阵列的方法,阐述了其原理,分析了各自的优缺点。
关键词
微透镜阵列
光
刻胶
热
熔法
光敏玻璃热成型法
离子交换法
飞秒激
光
酸刻蚀法
下载PDF
职称材料
题名
微透镜阵列制作技术研究
被引量:
4
1
作者
甘代伟
机构
陕西国防工业职业技术学院
出处
《装备制造技术》
2011年第9期44-45,49,共3页
文摘
详细介绍了光刻胶热熔法、光敏玻璃热成型法、离子交换法、飞秒激光酸刻蚀法等4种比较实用的制作微透镜阵列的方法,阐述了其原理,分析了各自的优缺点。
关键词
微透镜阵列
光
刻胶
热
熔法
光敏玻璃热成型法
离子交换法
飞秒激
光
酸刻蚀法
Keywords
Microlens array
Melting photoresist method
photosensitive glass thermoforming method method
ion exchange method
femtosecond laser with acid etching method
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
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作者
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1
微透镜阵列制作技术研究
甘代伟
《装备制造技术》
2011
4
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