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微透镜阵列制作技术研究 被引量:4
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作者 甘代伟 《装备制造技术》 2011年第9期44-45,49,共3页
详细介绍了光刻胶热熔法、光敏玻璃热成型法、离子交换法、飞秒激光酸刻蚀法等4种比较实用的制作微透镜阵列的方法,阐述了其原理,分析了各自的优缺点。
关键词 微透镜阵列 刻胶熔法 光敏玻璃热成型法 离子交换法 飞秒激酸刻蚀法
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