基于光斑位置传感器的长导轨准直系统

为了检测长导轨的直线度,采用激光作为参考基准线,将2维光斑位置传感器作为光电转换器件。当固定在导轨滑块上的2维光斑位置传感器沿着导轨移动时,光斑的位置数据会通过蓝牙模块传输到终端上,输入位置信息之后,软件会自动绘制出导轨的2维直线度曲线。结果表明,计算出激光偏角带来的误差远小于1μm;通过高精度位移平台,实验验证了系统的精度可达到3.4μm;实际使用中,检测了7.2m的长导轨,取得了长导轨的直线度数据,重复精度可达5μm。这一结果对长导轨直线度测量的研究是有帮助的。

高精度二维激光测角装置的设计与实现

为了实现二维微小角度的精度测量,采用了激光准直测角技术,并利用二维(面阵列)CCD或CMS器件作为光斑位置传感器,自动捕捉反射光斑位置,自动解算二维角度值。而选用线阵CCD光斑位置传感器,可提高测量速度、测量范围和精度。进行了理论分析和实验验证,取得了满意结果,具有工程应用价值。