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准直光束高斯特征对直写光斑强度的影响
被引量:
3
1
作者
刘俭
谭久彬
+1 位作者
赵晨光
单明广
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第12期1627-1630,共4页
通过建立非理想准直光束残余高斯特征的功率密度模型,阐述了光束准直效果与功率密度的关系,借助光束通光比例系数对直写光斑强度分布影响的分析,以光斑主瓣、旁瓣的强度和宽度为主要特征,讨论了直写光斑强度及强度分布与光束准直效果的...
通过建立非理想准直光束残余高斯特征的功率密度模型,阐述了光束准直效果与功率密度的关系,借助光束通光比例系数对直写光斑强度分布影响的分析,以光斑主瓣、旁瓣的强度和宽度为主要特征,讨论了直写光斑强度及强度分布与光束准直效果的变化规律,确定了合理选取激光直写系统中准直扩束比例系数的原则。通过仿真不仅系统阐述了理想准直光束与非理想准直光束所形成的直写光斑形状的差异,还描述了理想准直光束近似计算光斑强度分布时的误差形式,这一结论为激光直写机准直系统设计提供了理论依据。
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关键词
激光物理
激光直写
准直扩束
平面波
光斑强度
主瓣宽度
原文传递
光斑性质对四象限探测器测量精度的影响
被引量:
6
2
作者
程韦
滕艳华
+3 位作者
夏玲燕
薛长国
胡业林
张明旭
《科学技术与工程》
北大核心
2015年第4期239-242,共4页
基于四象限探测器光电探测的工作原理,从理论上详细分析了光斑性质对探测结果的影响,通过数值仿真得出了光斑大小和光斑强度与测量精度的关系。并利用实验平台验证了分析结果,最后提出了几种减小光斑性质对探测结果影响的措施。为估算...
基于四象限探测器光电探测的工作原理,从理论上详细分析了光斑性质对探测结果的影响,通过数值仿真得出了光斑大小和光斑强度与测量精度的关系。并利用实验平台验证了分析结果,最后提出了几种减小光斑性质对探测结果影响的措施。为估算由光斑性质造成的测量误差提供了理论依据,并对实际应用中选择合适激光光源具有一定的指导意义。
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关键词
四象限探测器
光斑
性质
光斑
半径
光斑强度
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职称材料
基于全息存储的激光光束质量研究
3
作者
崔海瑛
《大庆师范学院学报》
2017年第3期30-33,共4页
介绍了光束质量评价体系中光束质量因子,相关度及标准偏差等评价指标,研究了全息存储过程中半导体激光器的光束质量,比较光束经过平面镜以及分光镜之后,光束相关度及标准偏差变化情况,发现光束经过光学器件之后,相关度均下降,标准变差...
介绍了光束质量评价体系中光束质量因子,相关度及标准偏差等评价指标,研究了全息存储过程中半导体激光器的光束质量,比较光束经过平面镜以及分光镜之后,光束相关度及标准偏差变化情况,发现光束经过光学器件之后,相关度均下降,标准变差增大。实时采集了激光光束经过扩束、准直、聚焦之后,光斑强度变化对比图,焦点前光束光斑强度属于高斯型分布,进行存储再现图像信息更清晰、亮度也较大。同时存储介质置于焦点前的存储系统设计也有利于全息存储系统的小型化发展。
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关键词
激光器
光束质量
光斑强度
全息存储
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职称材料
三维高斯拟合激光光强快速衰减算法
被引量:
1
4
作者
陈彬彬
张强
+1 位作者
陆耀东
宋金鹏
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期4-8,共5页
为缩短衰减倍率调整的时间,提高激光参数测试的效率,提出激光光强快速衰减算法。衰减倍率精确调整量由当前衰减倍率和采集到的光斑光强真实的最大灰度值共同决定。当因光电接收器件(CCD)饱和造成采集光斑图像失真时,即衰减倍率过小时,...
为缩短衰减倍率调整的时间,提高激光参数测试的效率,提出激光光强快速衰减算法。衰减倍率精确调整量由当前衰减倍率和采集到的光斑光强真实的最大灰度值共同决定。当因光电接收器件(CCD)饱和造成采集光斑图像失真时,即衰减倍率过小时,由于激光光斑的光强通常满足高斯分布,通过对光斑图像进行处理,去除饱和部分光强信息,对剩余部分光强信息利用最小二乘法进行三维高斯拟合,还原出激光光斑光强的真实分布并获得最大灰度值;当衰减倍率过大时,根据采集光斑图像可以直接获得当前最大灰度值,最后通过计算获得最佳的衰减倍率调整值,实现了激光光强快速准确的调整。算法的有效性通过步进电机带动的双轮可变衰减器及CCD配合得到验证。
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关键词
高斯拟合
快速衰减
光斑强度
激光参数测量
衰减器
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职称材料
题名
准直光束高斯特征对直写光斑强度的影响
被引量:
3
1
作者
刘俭
谭久彬
赵晨光
单明广
机构
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第12期1627-1630,共4页
文摘
通过建立非理想准直光束残余高斯特征的功率密度模型,阐述了光束准直效果与功率密度的关系,借助光束通光比例系数对直写光斑强度分布影响的分析,以光斑主瓣、旁瓣的强度和宽度为主要特征,讨论了直写光斑强度及强度分布与光束准直效果的变化规律,确定了合理选取激光直写系统中准直扩束比例系数的原则。通过仿真不仅系统阐述了理想准直光束与非理想准直光束所形成的直写光斑形状的差异,还描述了理想准直光束近似计算光斑强度分布时的误差形式,这一结论为激光直写机准直系统设计提供了理论依据。
关键词
激光物理
激光直写
准直扩束
平面波
光斑强度
主瓣宽度
Keywords
laser physics
laser photolithography
collimator and extender
plane wave
spot intensity
major lobe width
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
光斑性质对四象限探测器测量精度的影响
被引量:
6
2
作者
程韦
滕艳华
夏玲燕
薛长国
胡业林
张明旭
机构
安徽理工大学电气与信息工程学院
安徽理工大学材料科学与工程学院
中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室
出处
《科学技术与工程》
北大核心
2015年第4期239-242,共4页
基金
国家自然科学基金项目(11127201
11202001和11472006)
国家级大学生创新创业训练计划项目(201310361059和AH201310361115)资助
文摘
基于四象限探测器光电探测的工作原理,从理论上详细分析了光斑性质对探测结果的影响,通过数值仿真得出了光斑大小和光斑强度与测量精度的关系。并利用实验平台验证了分析结果,最后提出了几种减小光斑性质对探测结果影响的措施。为估算由光斑性质造成的测量误差提供了理论依据,并对实际应用中选择合适激光光源具有一定的指导意义。
关键词
四象限探测器
光斑
性质
光斑
半径
光斑强度
Keywords
four quadrant detector spot properties spot radius light spot intensity
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
基于全息存储的激光光束质量研究
3
作者
崔海瑛
机构
大庆师范学院机电工程学院
出处
《大庆师范学院学报》
2017年第3期30-33,共4页
基金
大庆市指导性科技计划项目(zd-2016-007)
文摘
介绍了光束质量评价体系中光束质量因子,相关度及标准偏差等评价指标,研究了全息存储过程中半导体激光器的光束质量,比较光束经过平面镜以及分光镜之后,光束相关度及标准偏差变化情况,发现光束经过光学器件之后,相关度均下降,标准变差增大。实时采集了激光光束经过扩束、准直、聚焦之后,光斑强度变化对比图,焦点前光束光斑强度属于高斯型分布,进行存储再现图像信息更清晰、亮度也较大。同时存储介质置于焦点前的存储系统设计也有利于全息存储系统的小型化发展。
关键词
激光器
光束质量
光斑强度
全息存储
分类号
O438.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
三维高斯拟合激光光强快速衰减算法
被引量:
1
4
作者
陈彬彬
张强
陆耀东
宋金鹏
机构
北京光电技术研究所
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期4-8,共5页
文摘
为缩短衰减倍率调整的时间,提高激光参数测试的效率,提出激光光强快速衰减算法。衰减倍率精确调整量由当前衰减倍率和采集到的光斑光强真实的最大灰度值共同决定。当因光电接收器件(CCD)饱和造成采集光斑图像失真时,即衰减倍率过小时,由于激光光斑的光强通常满足高斯分布,通过对光斑图像进行处理,去除饱和部分光强信息,对剩余部分光强信息利用最小二乘法进行三维高斯拟合,还原出激光光斑光强的真实分布并获得最大灰度值;当衰减倍率过大时,根据采集光斑图像可以直接获得当前最大灰度值,最后通过计算获得最佳的衰减倍率调整值,实现了激光光强快速准确的调整。算法的有效性通过步进电机带动的双轮可变衰减器及CCD配合得到验证。
关键词
高斯拟合
快速衰减
光斑强度
激光参数测量
衰减器
Keywords
Gaussian fitting
fast attenuation
laser intensity
measurement of laser parameters
attenuator
分类号
TN24 [电子电信—物理电子学]
TN911.73 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
准直光束高斯特征对直写光斑强度的影响
刘俭
谭久彬
赵晨光
单明广
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
3
原文传递
2
光斑性质对四象限探测器测量精度的影响
程韦
滕艳华
夏玲燕
薛长国
胡业林
张明旭
《科学技术与工程》
北大核心
2015
6
下载PDF
职称材料
3
基于全息存储的激光光束质量研究
崔海瑛
《大庆师范学院学报》
2017
0
下载PDF
职称材料
4
三维高斯拟合激光光强快速衰减算法
陈彬彬
张强
陆耀东
宋金鹏
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
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