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一种同时测量平行偏差、倾斜偏差的方法
被引量:
3
1
作者
吴国俊
吴玲玲
+2 位作者
闫亚东
仓玉萍
陈良益
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期2098-2102,共5页
提出了一种仅由接收物镜和CCD构成的接收器,通过物镜位置的调整,可以同时完成平行偏差(平偏)和倾斜偏差(角偏)这两个参量的测量.通过对系统像差的分析,提出了可显著降低物镜像差对测量结果影响的算法.理论和实验数据表明,对于平偏测量...
提出了一种仅由接收物镜和CCD构成的接收器,通过物镜位置的调整,可以同时完成平行偏差(平偏)和倾斜偏差(角偏)这两个参量的测量.通过对系统像差的分析,提出了可显著降低物镜像差对测量结果影响的算法.理论和实验数据表明,对于平偏测量范围为±10 mm、角偏测量范围为±2°、接收物镜焦距为50 mm、CCD尺寸为1/1 .6 inch的系统,平偏测量准确度可达0 .02 mm,角偏测量准确度可达9 .5″.
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关键词
光学测量
光斑接收器
光线追迹
平行偏差(平偏)
倾斜偏差(角偏)
下载PDF
职称材料
题名
一种同时测量平行偏差、倾斜偏差的方法
被引量:
3
1
作者
吴国俊
吴玲玲
闫亚东
仓玉萍
陈良益
机构
中国科学院西安光学精密机械研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期2098-2102,共5页
基金
国家自然科学基金(60337030)资助
文摘
提出了一种仅由接收物镜和CCD构成的接收器,通过物镜位置的调整,可以同时完成平行偏差(平偏)和倾斜偏差(角偏)这两个参量的测量.通过对系统像差的分析,提出了可显著降低物镜像差对测量结果影响的算法.理论和实验数据表明,对于平偏测量范围为±10 mm、角偏测量范围为±2°、接收物镜焦距为50 mm、CCD尺寸为1/1 .6 inch的系统,平偏测量准确度可达0 .02 mm,角偏测量准确度可达9 .5″.
关键词
光学测量
光斑接收器
光线追迹
平行偏差(平偏)
倾斜偏差(角偏)
Keywords
Optical measurement
Beam-spot receiver
Ray trace
Position deviation
Angle deviation
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种同时测量平行偏差、倾斜偏差的方法
吴国俊
吴玲玲
闫亚东
仓玉萍
陈良益
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
3
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