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薄膜厚度测控技术中的物理原理 被引量：6
1
作者 许世军 《物理与工程》 2001年第2期38-41,共4页
针对当前应用较为广泛的各种薄膜厚度测控技术，简明介绍了光电极值法、干 涉法、石英晶体振荡法及椭偏仪法的物理原理及其应用．
关键词 膜厚测控 干涉法 石英晶体振荡法 椭偏仪法 光晶极值法 薄膜技术
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