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激光二维光机扫描系统设计 被引量:1
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作者 屠大维 《光学技术》 CAS CSCD 1998年第5期89-91,共3页
介绍了一种采用八面体转镜与平面摆镜联合实现激光二维光栅轨迹扫描的扫描器,讨论了光学及机构设计中影响扫描精度的因素,及电机频率/相位稳速控制问题,保证了该扫描器的精度和稳定性。
关键词 扫描 精密 光机扫描系统
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