反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状与展望

反射式微光机电系统是微光机电系统中的重要组成部分,近年来得到了较快的发展。介绍了反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状和最新进展。根据反射式微光机电系统的分类,列举了一些具有代表性的反射式MOEMS器件。简要介绍了反射式MOEMS的加工工艺;阐述了反射式MOEMS的应用领域;展望了发展前景。

微型光机电系统

微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）与光器件融合于一体的微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）成为ＭＥＭＳ研究的一个重要方向，它将会给光器件的发展带来新的飞跃，而光系统因无需力的输出，正是ＭＥＭＳ的一个理想的应用领域。本文主要介绍几种有突破性的、具有可动部件的微型光机电系统，最后提出一种新型的微光学开关。

微型光机电系统及其制作

微型光机电系统 (MOEMS)是将微光学、微电子和微机械系统结合发展出一种新型、宽广的应用领域 ,从早期的分立光学元件与电子电路向独立完整的光学系统发展。阐述了实现MOEMS的 2种技术手段 :光波导和微型光学平台的原理、制作工艺和关键技术 ,在此基础上概要介绍了几种典型的MOEMS系统。最后对其的发展作了展望。

基于三维微光机电系统光开关的研究

主要对基于三维微光机电系统(MEMS)的光开关结构进行研究,分析一种新型结构紧凑、高可靠性、大容量的光开关结构,并与常规结构的三维微光机电系统的光开关进行对比,在保证设计参数不变的情况下,保证系统全连接的情况下,可以减少微镜的最大偏转角,从而实现快速的光路切换,并且采用静电梳状微致动器能进一步降低工作电压,实现低功耗和快速的交叉连接,并对系统设计需注意的事项进行分析。

面向EVCC电子全尺寸测量光机电系统研究

随着工业化自动化趋势的发展,机器视觉在物体尺寸测量和定位中做好概念更新,利用机器视觉创建图像来构建现实模型,以此来创建现实世界,当前电子行业与热门的智能手机、通讯、平板电脑以及笔记本电脑有着息息相关的关系,以EVCC电动汽车充电通信控制器产品为例,做好测量需求的逐一确定,满足测物全尺寸管控技术的应用,提高全尺寸测量光机电系统的运行质量和效率。

采用CCD技术的微型光机电系统光开关测试方法

在研制基于微型光机电系统技术的光电器件过程中,需要精确测定器件在给定驱动条件下的运动情况。在对制作完成的光开关进行性能测试时,由于微型光机电系统光开关的几何尺寸的限制,如果要准确测定光开关微反射镜的运动位移,将会有一定的困难。提出了一种采用线阵CCD技术的光学测量方法,实现了对光开关悬臂梁在驱动电压作用下的旋转角度的精确测量。通过理论推导得到了悬臂梁扭转角度与可测量物理量的关系,通过求解方程得到了各个物理量的数值选择对于测量结果的影响,并且给定了测量时各个物理量的参考值。通过实验测量,误差小于10%,表明这是一种具有实际意义的测量方案。

基于微型光机电系统扫描镜技术的激光散斑抑制方法

激光固有的时间和空间相干性,造成的散斑现象成为实现激光显示技术的瓶颈。针对激光显示的消散斑问题,提出了一种基于微型光机电系统(MOEMS)扫描镜技术的散斑抑制方法,并设计了一种简单的二维扫描镜结构,为开发非运动式、小体积、低功耗、高速低成本电调制的MOEMS,实现对激光散斑的抑制,标准化消相干器件的工艺的开发和规模化生产技术提供了参考。

基于单片机控制的光机电一体化系统的发展现状及设计分析

如今,社会发展十分快速,我国经济水平逐渐提高,科学技术得到更好的发展,光学与机械电机工程开始融合,促进了光机电一体化的发展,并在众多领域中得到了广泛运用。基于此,文章概述了单片机的应用领域和控制功能,以及光机电一体化的概念、发展历程,分析了光机电一体化在职业院校实训的发展现状,并对单片机控制的光机电一体化系统进行设计,以供职业院校的从业人员参考。

光机电微系统概论(上)

1.前言空间并行性、高速性、非接触性等都非常好的光技术,在图像、存储、光通信、测量等领域发挥了很大作用。本专集推出了以超大规模集成电路(LSI)制造技术为基础、应用立体微加工技术“微机械加工”的光微系统。

光机电一体化系统在机械工程中的应用

光机电一体化技术作为一种新兴技术,在机械工程领域中迅速得到了广泛应用,其能改善生产质量,加快机械工程的工作效率,增强机械工程的功能,扩大机械工程的应用范围,使之向着智能化的方向发展。文章重点针对光机电一体化系统在机械工程中的应用进行了探讨。

光机电微系统概论(下)

4.4.光集成化想要超越光波导为基本的所谓光集成电路(IC)的极限,只有期待于自由度比较大的立体结构的光集成化。将采用沉积多晶硅制作的菲涅尔透镜和衍射光栅等光学元件像图6所示那样竖立在基板上,按原样把设置在防振台上的光学实验装置缩小,这样。

2014全国光电技术与光机电系统学术会议 征文通知

中国光学学会光电技术专业委员会和中国仪器仪表学会光机电技术与系统集成分会将于2014年10月下旬在南京联合主办“2014全国光电技术与光机电系统学术会议”。热忱欢迎从事光电技术、光学工程、激光与光电子学和光机电仪器等领域的科学研究人员和工程技术人员参加会议并积极投稿，大会将为每位作者提供学术交流的机会。会议还将邀请工作在科研第一线的院士和知名学者参加会议，并为大家做邀请报告。

2014全国光电技术与光机电系统学术会议征文通知

中国光学学会光电技术专业委员会和中国仪器仪表学会光机电技术与系统集成分会将于2014年10月下旬在南京联合主办“2014全国光电技术与光机电系统学术会议”。热忱欢迎从事光电技术、光学工程、激光与光电子学和光机电仪器等领域的科学研究人员和工程技术人员参加会议并积极投稿,大会将为每位作者提供学术交流的机会。会议还将邀请工作在科研第一线的院士和知名学者参加会议,并为大家做邀请报告。

2014全国光电技术与光机电系统学术会议(征文通知)

中国光学学会光电技术专业委员会和中国仪器仪表学会光机电技术与系统集成分会将于2014年10月下旬在南京联合主办“2014全国光电技术与光机电系统学术会议”。热诚欢迎从事光电技术、光学工程、激光与光电子学和光机电仪器等领域的科学研究人员和工程技术人员参加会议并积极投稿，大会将为每位作者提供学术交流的机会。会议还将邀请工作在科研第一线的院士和知名学者参加会议，并为大家做邀请报告。

基于N:N网络的光机电一体化实训装置改造

为改善学校电气自动化专业实训教学条件,开发出符合学校教学实际的实训装置,形成集基础实验、验证实验、技能实操和设计创新为一体的实训系统。介绍了实训装置改造的基本思想、改造内容以及具体改造的实现过程。利用N:N网络改造光机电一体化实训装置,将机械手单元作为主站,上料单元、分拣单元作为两个从站。通过装置训练可使学生掌握PLC及其功能模块应用技术、电气控制技术、变频器技术、传感器技术、触摸屏及组态技术等工业控制技术。

浅谈THJDQG-1型光机电气一体化人机界面制作

通过与同事探讨研究,使用EV5000软件制作THJDQG-1型光机电气一体化人机界面,进而掌握EV5000触摸屏软件。

基于数字微镜阵列的协同目标跟踪系统设计

针对多镜头目标跟踪系统协同性差及单镜头系统目标跟踪观测过程中视场小、无法实现宽视场跟踪的现状,设计了能同时实现宽视场跟踪窄视场局部目标检测的协同跟踪系统。该系统基于数字微镜阵列高反射率、高性能视场分割的特点。验证实验中,宽窄视场分割系统实现了50ms的协同成像周期;窄视场像中心调整系统不超过2%的绝对位置误差,为局部目标光束中心难以与窄视场成像系统视轴重合问题的解决提供了实验依据。

光谱仪的微型化及其应用

和传统光谱仪相比,微型光谱仪的分辨率较低,但由于它体较小、价格便宜等优点广泛应用于许多测量、控制领域。讨论了微型光谱仪结构特点、关键技术和发展趋势;对多种微型光谱仪的工作原理和相应的工艺流程做了较为详细的总结;结合国内微型光机电系统制作工艺,分析了几类微型光谱仪的制作难点及其设计方案的可行性。探讨了在分辨率要求不太高的情况下微型光谱仪的多个潜在应用领域。

非硅基底1×4微机电系统光开关

设计研制了一种小体积、低成本、可扩展的低电压非硅基底 1× 4微机电系统光开关。开关单元由电磁驱动 ,微反射镜绕直径 10 0 μm转轴转动 ,驱动电压为 5V ,开关时间小于 2ms,插入损耗小于 0 .84dB ,具有断电自锁功能。器件构造工艺采用微细电火花加工技术。用有限元法分析受力和磁场 ,进行结构优化设计 。

混合集成微型光纤光谱仪的实验测定

文中简述了所研制微型光谱仪的基本原理和基本结构,并对该微型光谱仪进行了实验测试和标定。在实验中采用汞灯作为测试所用的光源,分别使用不同芯径和数值孔径的光纤作为光输入元件,实验结果表明该光谱仪具有很好的线性度,在采用50μm的多模光纤时,光谱分辨率可达13.8nm,在采用9μm的单模光纤时分辨率可以达到5.5nm。