微透镜面形误差影响LD光束准直的研究

采用求解几何光学点列图的办法,针对半导体激光器准直微透镜各种不同的面形误差,用实例分析计算了它们对LD光束准直的影响,从结果可看出中部出现微小偏差的微透镜对LD光束准直效果优于具有其他类型偏差的微透镜,并针对具体情况给微透镜阵列的制作提供参考。