期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
激光三角扫描法检测微刻槽
被引量:
2
1
作者
王彦勋
孙宏凯
牛连杰
《计量技术》
2002年第6期11-13,共3页
本文介绍一种激光三角扫描法微刻槽检测系统。该系统以激光三角法为基础 ,采用激光光斑能量细分方法 ,有效地解决了激光三角法由于光斑直径过大而引起的横向分辨力不足的问题 ,并容易做到微型化 。
关键词
激光三角扫描法
检测
光束束径
光点细分
微刻槽
刻蚀
电子工业
下载PDF
职称材料
基于激光莫尔信号精密定位装置的精度提高
2
作者
周礼中
古桥秀夫
内田悦行
《工业仪表与自动化装置》
2001年第6期49-50,58,共3页
为提高基于激光莫尔信号精密装置的定位精度 ,本文探讨了激光束束径与激光莫尔信号的依存关系 ,给出了与光栅衍射缝隙条数相对应的最小激光束束径的大小。
关键词
激光莫尔信号
激
光束束径
定位精度
超大规模集成电路
定位装置
下载PDF
职称材料
题名
激光三角扫描法检测微刻槽
被引量:
2
1
作者
王彦勋
孙宏凯
牛连杰
机构
河北建筑工程学院
出处
《计量技术》
2002年第6期11-13,共3页
文摘
本文介绍一种激光三角扫描法微刻槽检测系统。该系统以激光三角法为基础 ,采用激光光斑能量细分方法 ,有效地解决了激光三角法由于光斑直径过大而引起的横向分辨力不足的问题 ,并容易做到微型化 。
关键词
激光三角扫描法
检测
光束束径
光点细分
微刻槽
刻蚀
电子工业
分类号
TH744.5 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
基于激光莫尔信号精密定位装置的精度提高
2
作者
周礼中
古桥秀夫
内田悦行
机构
扬州大学教务处
日本爱知工业大学情报工学科
出处
《工业仪表与自动化装置》
2001年第6期49-50,58,共3页
文摘
为提高基于激光莫尔信号精密装置的定位精度 ,本文探讨了激光束束径与激光莫尔信号的依存关系 ,给出了与光栅衍射缝隙条数相对应的最小激光束束径的大小。
关键词
激光莫尔信号
激
光束束径
定位精度
超大规模集成电路
定位装置
Keywords
Laser moire signals
Diameter of laser beam
Alignment accuracy
分类号
TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光三角扫描法检测微刻槽
王彦勋
孙宏凯
牛连杰
《计量技术》
2002
2
下载PDF
职称材料
2
基于激光莫尔信号精密定位装置的精度提高
周礼中
古桥秀夫
内田悦行
《工业仪表与自动化装置》
2001
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部