提高非接触式细丝直径测量精度的技术和方法探讨

基于 Fraunhofer衍射和 Babinet原理可以实现用激光作为光源的细丝直径非接触高精度测量 .理论计算和实验表明影响细丝直径测量精度的因素包括 :衍射条纹宽度的测量、入射光波E取向和 CCD的横向移动等 .从 Maxwell方程出发 ,根据被测细丝表面的边界条件求出衍射场 ,从而进一步讨论 E的取向对细丝测量精度的影响 .