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荷电粒子光柱成象系统中空间电荷象差之解析计算
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作者 蒋欣荣 克鲁特 《光子学报》 EI CAS CSCD 1996年第6期506-513,共8页
本文首先讨论粒子光学柱成象系统中空间电荷象差的概念,然后提出用梯形束元作为同时计算空间电荷象差、几何象差、色差和衍射象差的统一模型;最后,在此模型基础上推导并提出了所有计算成象系统中空间电荷象差的解析表达式。
关键词 荷电粒子 光柱成象系统 空间电荷象差
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