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针对直接驱动系统的光栅/编码器
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作者 Braasch Jan 刘逊 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2004年第4期88-90,共3页
关键词 机床 直接驱动系统 光栅/编码器 直线电动机 扭矩电动机
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海德汉技术讲座 第2讲 针对直接驱动系统的光栅/编码器
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《机械工人(冷加工)》 2004年第6期86-88,共3页
直线电动机和扭矩电动机在半导体和电子工业中已经得到了广泛的应用。近年来在机床行业的应用也在不断增长。直接驱动系统拥有低摩擦、维护简单和高效率等优点。
关键词 机床 直接驱动系统 光栅/编码器 直线电动机 扭矩电动机
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Design and performance test of a two-axis fast steering mirror driven by piezoelectric actuators 被引量:4
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作者 方楚 郭劲 +3 位作者 杨国庆 姜振华 徐新行 王挺峰 《Optoelectronics Letters》 EI 2016年第5期333-336,共4页
A novel design of a two-axis fast steering mirror(FSM) with piezoelectric actuators is proposed for incoherent laser beam combination. The mechanical performance of the FSM is tested. The results show that the tilting... A novel design of a two-axis fast steering mirror(FSM) with piezoelectric actuators is proposed for incoherent laser beam combination. The mechanical performance of the FSM is tested. The results show that the tilting range of the mirror is about 4 mrad, and the 1st-order resonance frequency is about 250 Hz. A self-designed grating encoder is taken as the sensor, which ensures the optimal precision of 10 μrad. The novel mechanical design can meet the requirement of engineering in incoherent laser beam combination. 展开更多
关键词 mirror piezoelectric grating steering encoder requirement scanner absolute elliptical inertia
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