期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
6
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于光栅制造的光刻投影物镜设计
1
作者
任东旭
班楠楠
+1 位作者
孔明旭
李彬
《工具技术》
北大核心
2023年第5期141-144,共4页
光栅尺作为位移传感器被广泛应用在精密测量体系中,随着测量趋于纳米级精度和大量程,对光栅尺的制造精度提出了更高的要求。刻线误差是影响光栅尺制造精度的重要因素,减小刻线误差能够有效提高光栅制造精度。设计了一种大孔径、低畸变...
光栅尺作为位移传感器被广泛应用在精密测量体系中,随着测量趋于纳米级精度和大量程,对光栅尺的制造精度提出了更高的要求。刻线误差是影响光栅尺制造精度的重要因素,减小刻线误差能够有效提高光栅制造精度。设计了一种大孔径、低畸变的投影光刻物镜,并在Zemax光学设计软件中对物镜进行了设计及优化。结果显示,其全视场波像差小于λ/10,MTF>0.6,最大畸变<0.0037%,最大分辨率R=2μm,数值孔径NA=0.15,缩小倍率5×,最大焦深±9.73μm。对其进行公差分析,结果表明,该物镜完全满足提高光栅尺制造精度的需求。
展开更多
关键词
刻线误差
投影光刻物镜
光学设计
光栅制造
下载PDF
职称材料
计量光栅制造综述
被引量:
7
2
作者
汤天瑾
曹向群
林斌
《光学仪器》
2004年第4期62-67,共6页
计量光栅作为一种重要的传感器件,广泛应用于工业生产的诸多领域。系统介绍了计量光栅的种类,重点介绍了国内外光栅制造的主要方法、光栅复制工艺以及衡量光栅质量的基本指标和检测方法。
关键词
计量
光栅
光栅制造
光栅
检测
下载PDF
职称材料
计量光栅的制造和检测方法
3
作者
王志昆
杨栩生
《科技信息》
2009年第23期I0048-I0049,I0073,共3页
计量光栅作为一种精密位移的测量及传感元件广泛应用于计量、数字显示、数字控制等领域,有很高的分辨力。本文介绍了计量光栅的种类,重点介绍了计量光栅制造的主要方法以及衡量计量光栅质量的基本指标和基本检测方法。
关键词
计量
光栅
种类
光栅制造
光栅
检测
下载PDF
职称材料
金属钢带光栅光纤角位移与线位移传感器技术研究
4
作者
史淑华
许兴智
徐重廉
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第S2期78-78,共1页
金属钢带光栅光纤角位移与线位移传感器技术研究史淑华许兴智徐重廉等(北京超精细工程研究所100083)该项目是信息科学自动化领域中的一个重要课题。内容:钢带光栅制造技术;光栅光纤融合技术及用于角位移和线位移测量的基础研...
金属钢带光栅光纤角位移与线位移传感器技术研究史淑华许兴智徐重廉等(北京超精细工程研究所100083)该项目是信息科学自动化领域中的一个重要课题。内容:钢带光栅制造技术;光栅光纤融合技术及用于角位移和线位移测量的基础研究。用于智能加工设备、机器人、石化...
展开更多
关键词
光栅
光纤
传感器技术
角位移
线位移测量
线位移传感器
工程研究
光栅制造
智能加工
基础研究
信息科学
下载PDF
职称材料
瞄准国际先进水平,发展高精度长光栅品种
5
作者
马寿益
董威玲
《精密机床》
1989年第1期44-52,共9页
关键词
光栅
仪
质量管理
光栅制造
下载PDF
职称材料
二维计量型平面光栅的设计
6
作者
袁伟
朱煜
+1 位作者
张鸣
王磊杰
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第19期24-32,共9页
针对二维计量型平面光栅的设计和加工中工艺参数复杂的难点,本文基于电磁波时域有限差分方法,对硅基二维平面光栅的设计仿真进行了探索和研究,并进行了工艺实验验证。围绕平面光栅对衍射效率、衍射效率均衡性等指标的高要求,对不同结构...
针对二维计量型平面光栅的设计和加工中工艺参数复杂的难点,本文基于电磁波时域有限差分方法,对硅基二维平面光栅的设计仿真进行了探索和研究,并进行了工艺实验验证。围绕平面光栅对衍射效率、衍射效率均衡性等指标的高要求,对不同结构、槽深和占空比下二维光栅偏振衍射效率受到的影响和变化规律进行了探索。仿真和实验结果表明,在占空比45.0%~46.7%附近,随着槽深增大,S偏振衍射效率逐渐减小,P偏振衍射效率逐渐增大;光栅槽深在260 nm附近时,不同偏振衍射效率可以达到平衡,带圆角的梯台结构光栅模型与实际工艺结果相近,衍射效率和偏振衍射均衡性等符合设计要求。仿真结果与实际工艺结果基本一致,表明其精度满足要求,大幅度提高了平面光栅设计和加工的效率。
展开更多
关键词
光栅
设计
光栅
仿真
光栅制造
衍射
光栅
衍射效率
原文传递
题名
基于光栅制造的光刻投影物镜设计
1
作者
任东旭
班楠楠
孔明旭
李彬
机构
中原工学院机电学院
出处
《工具技术》
北大核心
2023年第5期141-144,共4页
基金
国家自然科学基金(51905558,51975599)。
文摘
光栅尺作为位移传感器被广泛应用在精密测量体系中,随着测量趋于纳米级精度和大量程,对光栅尺的制造精度提出了更高的要求。刻线误差是影响光栅尺制造精度的重要因素,减小刻线误差能够有效提高光栅制造精度。设计了一种大孔径、低畸变的投影光刻物镜,并在Zemax光学设计软件中对物镜进行了设计及优化。结果显示,其全视场波像差小于λ/10,MTF>0.6,最大畸变<0.0037%,最大分辨率R=2μm,数值孔径NA=0.15,缩小倍率5×,最大焦深±9.73μm。对其进行公差分析,结果表明,该物镜完全满足提高光栅尺制造精度的需求。
关键词
刻线误差
投影光刻物镜
光学设计
光栅制造
Keywords
line error
projection lithography objective
optical design
grating manufacture
分类号
TG806 [金属学及工艺—公差测量技术]
TH74 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
计量光栅制造综述
被引量:
7
2
作者
汤天瑾
曹向群
林斌
机构
浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心
出处
《光学仪器》
2004年第4期62-67,共6页
文摘
计量光栅作为一种重要的传感器件,广泛应用于工业生产的诸多领域。系统介绍了计量光栅的种类,重点介绍了国内外光栅制造的主要方法、光栅复制工艺以及衡量光栅质量的基本指标和检测方法。
关键词
计量
光栅
光栅制造
光栅
检测
Keywords
metrologic gratings
manufactacture of gratings
calibration of gratings
分类号
TB212.1 [一般工业技术—工程设计测绘]
下载PDF
职称材料
题名
计量光栅的制造和检测方法
3
作者
王志昆
杨栩生
机构
云南国防工业职业技术学院
出处
《科技信息》
2009年第23期I0048-I0049,I0073,共3页
文摘
计量光栅作为一种精密位移的测量及传感元件广泛应用于计量、数字显示、数字控制等领域,有很高的分辨力。本文介绍了计量光栅的种类,重点介绍了计量光栅制造的主要方法以及衡量计量光栅质量的基本指标和基本检测方法。
关键词
计量
光栅
种类
光栅制造
光栅
检测
分类号
TH741.6 [机械工程—光学工程]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
金属钢带光栅光纤角位移与线位移传感器技术研究
4
作者
史淑华
许兴智
徐重廉
机构
北京超精细工程研究所
出处
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第S2期78-78,共1页
文摘
金属钢带光栅光纤角位移与线位移传感器技术研究史淑华许兴智徐重廉等(北京超精细工程研究所100083)该项目是信息科学自动化领域中的一个重要课题。内容:钢带光栅制造技术;光栅光纤融合技术及用于角位移和线位移测量的基础研究。用于智能加工设备、机器人、石化...
关键词
光栅
光纤
传感器技术
角位移
线位移测量
线位移传感器
工程研究
光栅制造
智能加工
基础研究
信息科学
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
瞄准国际先进水平,发展高精度长光栅品种
5
作者
马寿益
董威玲
出处
《精密机床》
1989年第1期44-52,共9页
关键词
光栅
仪
质量管理
光栅制造
分类号
F425.3 [经济管理—产业经济]
下载PDF
职称材料
题名
二维计量型平面光栅的设计
6
作者
袁伟
朱煜
张鸣
王磊杰
机构
清华大学机械工程系
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第19期24-32,共9页
文摘
针对二维计量型平面光栅的设计和加工中工艺参数复杂的难点,本文基于电磁波时域有限差分方法,对硅基二维平面光栅的设计仿真进行了探索和研究,并进行了工艺实验验证。围绕平面光栅对衍射效率、衍射效率均衡性等指标的高要求,对不同结构、槽深和占空比下二维光栅偏振衍射效率受到的影响和变化规律进行了探索。仿真和实验结果表明,在占空比45.0%~46.7%附近,随着槽深增大,S偏振衍射效率逐渐减小,P偏振衍射效率逐渐增大;光栅槽深在260 nm附近时,不同偏振衍射效率可以达到平衡,带圆角的梯台结构光栅模型与实际工艺结果相近,衍射效率和偏振衍射均衡性等符合设计要求。仿真结果与实际工艺结果基本一致,表明其精度满足要求,大幅度提高了平面光栅设计和加工的效率。
关键词
光栅
设计
光栅
仿真
光栅制造
衍射
光栅
衍射效率
Keywords
grating design
grating simulation
grating manufacturing
diffraction grating
diffraction efficiency
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于光栅制造的光刻投影物镜设计
任东旭
班楠楠
孔明旭
李彬
《工具技术》
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
2
计量光栅制造综述
汤天瑾
曹向群
林斌
《光学仪器》
2004
7
下载PDF
职称材料
3
计量光栅的制造和检测方法
王志昆
杨栩生
《科技信息》
2009
0
下载PDF
职称材料
4
金属钢带光栅光纤角位移与线位移传感器技术研究
史淑华
许兴智
徐重廉
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997
0
下载PDF
职称材料
5
瞄准国际先进水平,发展高精度长光栅品种
马寿益
董威玲
《精密机床》
1989
0
下载PDF
职称材料
6
二维计量型平面光栅的设计
袁伟
朱煜
张鸣
王磊杰
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部