光栅复制拼接光路中入射光角度对拼接误差的影响

设计了一种基于干涉检验法的复制拼接光栅测量光路。针对光栅复制拼接光路中入射光角度难以精确测量的问题,分析了光栅拼接实验中入射光角度对光栅拼接的影响。建立了光栅拼接误差模型,分析了五维拼接误差的容限要求。按照光栅复制拼接光路的要求,设计了一种干涉仪角度调节装置。根据误差模型和拼接光路分析了500mm×500mm大尺寸中阶梯光栅复制拼接光路中入射光角度误差与拼接误差的关系。结果显示:入射光角度误差为1°,拼接光路中绕x轴,y轴的转动误差Δθx,Δθy和沿z轴的位移误差Δz的计算值与实际值之间分别相差0.002 1μrad,0.003 3μrad和0.348 2nm时,引起波前差为2.590 1nm。根据这一计算结果,给出了干涉仪角度调节装置的设计指标,即设置角度调节分度为0.1°时,可满足大尺寸光栅复制拼接要求。

高衍射效率全息光栅的制作与复制工艺研究

本文根据正性光致抗蚀的感光显影特性，推导出了全息光栅沟槽深度公式，分析了影响光栅糟型结构的因素，建立了光栅沟槽模型。并根据论理论制作出了衍射效率高达６５％的 ２４００线／毫米的全息平面反射光栅。本文还介绍了全息光栅复制技术，解决了高质量光栅昂贵的生产成本和大批量生产问题。

复制光栅质量分析

分析了影响复制光栅衍射效率、分辨率及表面质量的因素，并介绍了提高复制光栅质量的方法。

温度对复制光栅衍射波前的影响

本文针对复制光栅过程中 ,温度不稳定造成复制品衍射波前失真的问题进行了分析 ,并通过反复实验确定了复制光栅最佳稳定时间 ,从而提高复制光栅的一次成品率。

基于ABAQUS的计量长光栅精密光刻复制机研究

由于光刻复制属于精密加工,故在工作状态下其对光栅尺摆放平台的平整度具有较高要求。在自重和压紧力作用下,结构会发生自变形,从而影响加工精度。本文以某公司生产的某型号长光栅精密光刻复制机为研究对象,采用数值模拟方法将SolidWork软件建立的三维模型,导入ABAQUS有限元分析软件,并对其结构进行静力与模态分析,在数值模拟结果的基础上,进行结构改进,从而提升整体结构稳定性、以及摆放平台平面的均一性。

PC光学树脂计量圆光栅的制作

为了解决目前计量圆光栅的玻璃基片无法适应振动强度大、冲击力强等恶劣环境的问题,提出了采取新型材料聚碳酸酯(PC)来替代玻璃作为计量圆光栅制作基片的方法。分析了PC光学树脂的透光特性、耐热性和耐化学性能,给出了清洗PC的具体配方;结合现有光刻复制工艺,研制出先胶后铬的新型复制工艺;最后,以PC作为计量圆光栅基片,在蒸镀真空度为1.2×10-3Pa,蒸发距离为150mm的条件下,采用蒸发源质量控制膜厚的镀铬工艺参数,制作出了PC光学树脂基片的计量圆光栅。在45×显微镜下观察光栅线条,结果显示,线条陡直,无龟裂,表明该新型工艺可行,工艺参数正确,为进一步研制以PC光学树脂计量圆光栅为核心元件的精密测角仪器等提供了试验基础。

倾斜入射时光栅衍射光谱的实验观察

本文记述了在实验中使用常规仪器观察到的倾斜入射时光栅衍射光谱的各级谱线,以及随入射角增加时,这些谱线发生变化的具体情况,并试图对观察结果作一些浅近的分析和说明。

不饱和聚酯树脂彩虹片的复制工艺

一、概述不饱和聚酯树脂彩虹片是一种采用特殊浇注工艺由全息金属模板制得的硬质复制光栅(浮雕型全息或刻划光栅),用以制作透射或反射式彩虹灯。它应用光栅衍射原理,可将白光色散成绚丽多彩的衍射图象,从而得到新奇的鲜艳夺目的彩虹装饰效果。灯用彩虹片有透射型和反射型之分。

不饱和聚脂(UP)树脂彩虹片的复制工艺

一、概述UP树脂彩虹片是一种采用特殊浇铸工艺,由全息或刻划光栅金属模板制得的硬质复制光栅(浮雕型),用以制作透射或反射型彩虹灯.它应用光栅衍射原理,可将白光色散成绚丽多彩的衍射图象,从而得到新奇的鲜艳夺目的彩虹装饰效果.灯用彩虹片有透射型和反射型之分,多采用二维正交光栅,以获得较丰富多采的方形辐射状衍射图象.光栅的槽密度一般为200～600条/mm,可产生2～4级衍射光.条纹间距1～5μm,槽深约0.1～0.5μm.槽形为正弦形(全息)或锯凿形(闪耀).复制用金属模板的尺寸约150×150mm,复制的彩虹片厚度为1.0～2.0mm.

塑料表面浮雕光栅的复制及其光学特性

光栅作为一种重要的光学器件,不断小型化、商品化的发展趋势要求其制造技术应具有快速批量生产的特点。本文报道了一种以熔融石英光栅为模板,采用传统模压成型技术在光学塑料表面复制浮雕光栅的方法,实现了光栅的高效批量生产,并对复制出来的塑料浮雕光栅进行了光学特性分析。测试了不同温度下复制的塑料浮雕光栅衍射光斑图样、衍射效率和衍射级次的强度分布,重点研究了温度对复制浮雕光栅性能的影响,分析了不同温度下模板材料和光学塑料的热膨胀系数与复制光栅常数之间的关系。将批量复制出的塑料浮雕光栅和模板光栅进行实验比较,结果表明在最佳工艺参数条件下,批量复制出的塑料浮雕光栅与模板光栅相比,光栅常数偏差小于1%,衍射效率偏差小于5%,衍射特性与模板光栅基本一致。

高精度微结构聚合物光栅的复制技术

光栅复制是降低光栅制造成本,提高产量的一条有效途径。研究了利用紫外压印技术复制微结构光栅的方法。使用玻璃基底矩形浮雕结构的微结构光栅作为母光栅,给出了利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)制作光栅模具和在光敏聚合物材料上复制微结构光栅的详细过程。经过优化工艺条件,成功地复制了一系列不同周期和开口比的微结构光栅,测试了复制光栅和母光栅的衍射图像和0级与±1级的衍射强度,结果表明,复制光栅和母光栅的衍射图像与光强分布基本一致。

云纹干涉制栅新技术

本文介绍了两种新的光栅复制技术,它们具有快速、高质量、低成本、操作简单、使用方便、不需特殊仪器等特点.该技术从我国一般力学实验室条件出发,解决了试件栅制作困难,其中漆栅方法可极大地缩短云纹干涉方法的实验周期,该技术也为光栅测试技术的广泛应用提供了方便.

云纹干涉法在线复制变形光栅技术研究

介绍了一种云纹干涉法现场转移高密度光栅的新工艺 ,将现场转移光栅与实验室测量有机结合起来 ,同时得到物体变形的面内U、V位移场。从理论上分析讨论该方法的可行性及误差 ,通过实验验证该方法与传统云纹干涉法具有相同的灵敏度和量程 。

紫外刻划光栅母版及二代版衍射特性的模拟与分析

运用微分理论对刻线密度为1200 lp/mm的紫外刻划光栅母版及其二代复制版的衍射特性做了模拟,指出了二者之间存在的差异,并与测试结果做了对照。数值模拟表明,紫外刻划光栅二代复制版的衍射特性与其母版略有不同,原因是光栅槽形发生了改变,分别给出了采用多项式拟合槽形函数和傅里叶级数拟合槽形函数的方法。此理论分析方法为澄清光栅复制工艺中的争议完善翻版技术以及寻找提高紫外光栅衍射效率的途径提供了很好的理论参考依据。

有关衍射光栅的一些问题

高中物理课本(甲种本)光的衍射一节中介绍了衍射光栅。书中说:“常用的透射光栅是在玻璃片上刻有许多等宽而又等间距的平行刻痕,其中刻痕是不透光的部分。”这句话对不知道光栅刻划过程的学生来说是不太好理解的。光栅有两种。一种叫透射光栅,它是先将光学玻璃加工成光学平面(叫光栅毛坯)然后把它直接装在光栅刻划机上刻划。在光栅刻划机上,光栅毛坯作间歇进给运动,每次移动一个刻线间距。而用金刚石做成的刻刀在垂直于光栅毛坯的进给方向上作往复刻划和抬刀、落刀运动。这样最终在光栅毛坯这个透明媒质上刻有了许多等宽而又等间距的平行刻痕(也称为刻槽)。

连续旋转光栅测角仪

本文叙述用来校正标准化试验室和工业用参考角度基准的测角系统。测角仪的工作范围为360°,计量不确定度为0.05″。本文还分析了角度量规和多面棱体的计量问题,并附计量结果表。